Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана

• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Шулаев, В.М., Запорожец, М.А., Васильев, А.Л.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Schriftenreihe: Вопросы атомной науки и техники
• Schlagworte: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111703
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана / В.М. Шулаев, М.А. Запорожец, А.Л. Васильев // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 200-206. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Представлены новые результаты по исследованию наноструктуры сверхтвердых покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана методами просвечивающей и растровой электронной микроскопии. Покрытия получены вакуумно–дуговым способом, с приложением к подложке импульсного потенциала смещения в условиях однонаправленного роста по механизму «плазма–твердое тело». Покрытия имели двухуровневую структуру. Микроструктура покрытий являлась клиновидно-столбчатой с четко выраженной текстурой типа (111). Методом высокоразрешающей электронной микроскопии впервые выявлено, что на наноуровне структура покрытий является доменной. Размеры доменов варьировались в диапазоне 2…10 нм.