Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана
Представлены новые результаты по исследованию наноструктуры сверхтвердых покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана методами просвечивающей и растровой электронной микроскопии. Покрытия получены вакуумно–дуговым способом, с приложением к подложке импульсного потенциала смещения в услов...
Saved in:
| Date: | 2011 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Series: | Вопросы атомной науки и техники |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111703 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана / В.М. Шулаев, М.А. Запорожец, А.Л. Васильев // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 200-206. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |