Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана

Представлены новые результаты по исследованию наноструктуры сверхтвердых покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана методами просвечивающей и растровой электронной микроскопии. Покрытия получены вакуумно–дуговым способом, с приложением к подложке импульсного потенциала смещения в услов...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2011
Hauptverfasser: Шулаев, В.М., Запорожец, М.А., Васильев, А.Л.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Schriftenreihe:Вопросы атомной науки и техники
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111703
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана / В.М. Шулаев, М.А. Запорожец, А.Л. Васильев // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 200-206. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine