Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2016
• Автори: Glushko, P.I., Yevsiukov, A.I., Ghuravlyov, А.Yu., Hovanskiy, N.А., Khizhnyak, D.A., Shirokov, B.M., Shijan, А.V.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
• Теми: Физика и технология конструкционных материалов
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111748
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods / P.I. Glushko, A.I. Yevsiukov, А.Yu. Ghuravlyov, N.А. Hovanskiy, D.A. Khizhnyak, B.M. Shirokov, А.V. Shijan // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 108-111. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.

A thermodynamic analysis of the temperature dependence of the isobaric-isothermal potential processes of rhenium, tungsten and their compositions from a mixture of a metal fluorides with molecular and atomic hydrogen is provided. The dependence of the deposition rate of tungsten and tungsten-rhenium alloys executed by plasma chemical and gas-phase methods on the substrate temperature, to power fed into discharge and the ratio of initial reagents is studied. Проведено термодинамічний аналіз температурної залежності ізобарно-ізотермічного потенціалу процесів отримання ренію, вольфраму і сплавів на їх основі з суміші фторидів металів з молекулярним і атомарним воднем. Досліджено залежність швидкості осадження вольфраму і вольфрам-ренієвих сплавів газофазним і плазмохімічним методами від температури підкладки, що вкладена в розряд потужності, і співвідношення вихідних реагентів. Проведено дослідження швидкості осадження W і W-Re-сплавів, що отримані газофазним і плазмохімічним методами, залежно від співвідношення H₂:MeF₆. Проведен термодинамический анализ температурной зависимости изобарно-изотермического потенциала процессов получения рения, вольфрама и сплавов на их основе из смеси фторидов металлов с молекулярным и атомарным водородом. Исследованы зависимости скорости осаждения вольфрама и вольфрам-рениевых сплавов газофазным и плазмохимическим методами от температуры подложки, вкладываемой в разряд мощности, и соотношения исходных реагентов. Проведено исследование скорости осаждения W и W-Re-сплавов, полученных газофазным и плазмохимическим методами, в зависимости от соотношения H₂:MeF₆.