Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods
A thermodynamic analysis of the temperature dependence of the isobaric-isothermal potential processes of rhenium, tungsten and their compositions from a mixture of a metal fluorides with molecular and atomic hydrogen is provided. The dependence of the deposition rate of tungsten and tungsten-rhenium...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111748 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods / P.I. Glushko, A.I. Yevsiukov, А.Yu. Ghuravlyov, N.А. Hovanskiy, D.A. Khizhnyak, B.M. Shirokov, А.V. Shijan // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 108-111. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862575666997755904 |
|---|---|
| author | Glushko, P.I. Yevsiukov, A.I. Ghuravlyov, А.Yu. Hovanskiy, N.А. Khizhnyak, D.A. Shirokov, B.M. Shijan, А.V. |
| author_facet | Glushko, P.I. Yevsiukov, A.I. Ghuravlyov, А.Yu. Hovanskiy, N.А. Khizhnyak, D.A. Shirokov, B.M. Shijan, А.V. |
| citation_txt | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods / P.I. Glushko, A.I. Yevsiukov, А.Yu. Ghuravlyov, N.А. Hovanskiy, D.A. Khizhnyak, B.M. Shirokov, А.V. Shijan // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 108-111. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | A thermodynamic analysis of the temperature dependence of the isobaric-isothermal potential processes of rhenium, tungsten and their compositions from a mixture of a metal fluorides with molecular and atomic hydrogen is provided. The dependence of the deposition rate of tungsten and tungsten-rhenium alloys executed by plasma chemical and gas-phase methods on the substrate temperature, to power fed into discharge and the ratio of initial reagents is studied.
Проведено термодинамічний аналіз температурної залежності ізобарно-ізотермічного потенціалу процесів отримання ренію, вольфраму і сплавів на їх основі з суміші фторидів металів з молекулярним і атомарним воднем. Досліджено залежність швидкості осадження вольфраму і вольфрам-ренієвих сплавів газофазним і плазмохімічним методами від температури підкладки, що вкладена в розряд потужності, і співвідношення вихідних реагентів. Проведено дослідження швидкості осадження W і W-Re-сплавів, що отримані газофазним і плазмохімічним методами, залежно від співвідношення H₂:MeF₆.
Проведен термодинамический анализ температурной зависимости изобарно-изотермического потенциала процессов получения рения, вольфрама и сплавов на их основе из смеси фторидов металлов с молекулярным и атомарным водородом. Исследованы зависимости скорости осаждения вольфрама и вольфрам-рениевых сплавов газофазным и плазмохимическим методами от температуры подложки, вкладываемой в разряд мощности, и соотношения исходных реагентов. Проведено исследование скорости осаждения W и W-Re-сплавов, полученных газофазным и плазмохимическим методами, в зависимости от соотношения H₂:MeF₆.
|
| first_indexed | 2025-11-26T12:57:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111748 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-26T12:57:24Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Glushko, P.I. Yevsiukov, A.I. Ghuravlyov, А.Yu. Hovanskiy, N.А. Khizhnyak, D.A. Shirokov, B.M. Shijan, А.V. 2017-01-14T09:54:26Z 2017-01-14T09:54:26Z 2016 Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods / P.I. Glushko, A.I. Yevsiukov, А.Yu. Ghuravlyov, N.А. Hovanskiy, D.A. Khizhnyak, B.M. Shirokov, А.V. Shijan // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 108-111. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111748 539:2:538:975 A thermodynamic analysis of the temperature dependence of the isobaric-isothermal potential processes of rhenium, tungsten and their compositions from a mixture of a metal fluorides with molecular and atomic hydrogen is provided. The dependence of the deposition rate of tungsten and tungsten-rhenium alloys executed by plasma chemical and gas-phase methods on the substrate temperature, to power fed into discharge and the ratio of initial reagents is studied. Проведено термодинамічний аналіз температурної залежності ізобарно-ізотермічного потенціалу процесів отримання ренію, вольфраму і сплавів на їх основі з суміші фторидів металів з молекулярним і атомарним воднем. Досліджено залежність швидкості осадження вольфраму і вольфрам-ренієвих сплавів газофазним і плазмохімічним методами від температури підкладки, що вкладена в розряд потужності, і співвідношення вихідних реагентів. Проведено дослідження швидкості осадження W і W-Re-сплавів, що отримані газофазним і плазмохімічним методами, залежно від співвідношення H₂:MeF₆. Проведен термодинамический анализ температурной зависимости изобарно-изотермического потенциала процессов получения рения, вольфрама и сплавов на их основе из смеси фторидов металлов с молекулярным и атомарным водородом. Исследованы зависимости скорости осаждения вольфрама и вольфрам-рениевых сплавов газофазным и плазмохимическим методами от температуры подложки, вкладываемой в разряд мощности, и соотношения исходных реагентов. Проведено исследование скорости осаждения W и W-Re-сплавов, полученных газофазным и плазмохимическим методами, в зависимости от соотношения H₂:MeF₆. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods Осадження W і W-Re-сплавів газофазним і плазмохімічним методами Осаждение W и W-Re-сплавов газофазным и плазмохимическим методами Article published earlier |
| spellingShingle | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods Glushko, P.I. Yevsiukov, A.I. Ghuravlyov, А.Yu. Hovanskiy, N.А. Khizhnyak, D.A. Shirokov, B.M. Shijan, А.V. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods |
| title_alt | Осадження W і W-Re-сплавів газофазним і плазмохімічним методами Осаждение W и W-Re-сплавов газофазным и плазмохимическим методами |
| title_full | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods |
| title_fullStr | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods |
| title_full_unstemmed | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods |
| title_short | Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods |
| title_sort | deposition of w and w-re alloys by gas-phase and plasma chemical methods |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111748 |
| work_keys_str_mv | AT glushkopi depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods AT yevsiukovai depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods AT ghuravlyovayu depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods AT hovanskiyna depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods AT khizhnyakda depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods AT shirokovbm depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods AT shijanav depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods AT glushkopi osadžennâwíwresplavívgazofaznimíplazmohímíčnimmetodami AT yevsiukovai osadžennâwíwresplavívgazofaznimíplazmohímíčnimmetodami AT ghuravlyovayu osadžennâwíwresplavívgazofaznimíplazmohímíčnimmetodami AT hovanskiyna osadžennâwíwresplavívgazofaznimíplazmohímíčnimmetodami AT khizhnyakda osadžennâwíwresplavívgazofaznimíplazmohímíčnimmetodami AT shirokovbm osadžennâwíwresplavívgazofaznimíplazmohímíčnimmetodami AT shijanav osadžennâwíwresplavívgazofaznimíplazmohímíčnimmetodami AT glushkopi osaždeniewiwresplavovgazofaznymiplazmohimičeskimmetodami AT yevsiukovai osaždeniewiwresplavovgazofaznymiplazmohimičeskimmetodami AT ghuravlyovayu osaždeniewiwresplavovgazofaznymiplazmohimičeskimmetodami AT hovanskiyna osaždeniewiwresplavovgazofaznymiplazmohimičeskimmetodami AT khizhnyakda osaždeniewiwresplavovgazofaznymiplazmohimičeskimmetodami AT shirokovbm osaždeniewiwresplavovgazofaznymiplazmohimičeskimmetodami AT shijanav osaždeniewiwresplavovgazofaznymiplazmohimičeskimmetodami |