Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2013
• Автори: Азаренков, Н.А., Береснев, В.М., Торяник, И.С., Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Дробышевская, А.А., Кропотов, А.Ю., Толмачева, Г.Н., Клименко, С.А., Турбин, П.В., Литовченко, С.В., Колесников, Д.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
• Теми: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111756
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства / Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, И.С. Торяник, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, А.А. Дробышевская, А.Ю. Кропотов, Г.Н. Толмачева, С.А. Клименко, П.В. Турбин, С.В. Литовченко, Д.А. Колесников // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 2. — С. 144-147. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB₂-TiSi₂, получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07 при твердости Н = 15,3 ГПа, что обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование таких покрытий в качестве диффузионных барьеров как в виде самостоятельных элементов, так и в качестве контактирующего слоя в многослойных износостойких покрытиях. Методом магнетронного розпилення мішені, що складається з AlN-TiB₂-TiSi₂, отримані покриття зі значенням індексу в’язкопластичності 0,07 при твердості Н = 15,3 ГПа, що забезпечує високі демпфуючі властивості такого покриття, при цьому аморфноподібна структура представляє перспективним застосування таких покриттів в якості дифузійних бар’єрів як самостійних елементів, та і в якості контактуючого шару в багатошарових зносостійких покриттях. By magnetron sputtering of target consisting of AlN-TiB₂-TiSi₂ the coatings with value of the index viscoplastic 0,07 at a hardness of H = 15,3 GPa were obtained that provides high damping properties of the coating, and amorphous like structure makes promising the use of these coatings as diffusion barriers in the form of independent elements, and as a contacting layer in multilayer wear resistant coatings.