Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства
Методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB₂-TiSi₂, получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07 при твердости Н = 15,3 ГПа, что обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111756 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства / Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, И.С. Торяник, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, А.А. Дробышевская, А.Ю. Кропотов, Г.Н. Толмачева, С.А. Клименко, П.В. Турбин, С.В. Литовченко, Д.А. Колесников // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 2. — С. 144-147. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862715203352788992 |
|---|---|
| author | Азаренков, Н.А. Береснев, В.М. Торяник, И.С. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Дробышевская, А.А. Кропотов, А.Ю. Толмачева, Г.Н. Клименко, С.А. Турбин, П.В. Литовченко, С.В. Колесников, Д.А. |
| author_facet | Азаренков, Н.А. Береснев, В.М. Торяник, И.С. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Дробышевская, А.А. Кропотов, А.Ю. Толмачева, Г.Н. Клименко, С.А. Турбин, П.В. Литовченко, С.В. Колесников, Д.А. |
| citation_txt | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства / Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, И.С. Торяник, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, А.А. Дробышевская, А.Ю. Кропотов, Г.Н. Толмачева, С.А. Клименко, П.В. Турбин, С.В. Литовченко, Д.А. Колесников // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 2. — С. 144-147. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB₂-TiSi₂, получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07 при твердости Н = 15,3 ГПа, что обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование таких покрытий в качестве диффузионных барьеров как в виде самостоятельных элементов, так и в качестве контактирующего слоя в многослойных износостойких покрытиях.
Методом магнетронного розпилення мішені, що складається з AlN-TiB₂-TiSi₂, отримані покриття зі значенням індексу в’язкопластичності 0,07 при твердості Н = 15,3 ГПа, що забезпечує високі демпфуючі властивості такого покриття, при цьому аморфноподібна структура представляє перспективним застосування таких покриттів в якості дифузійних бар’єрів як самостійних елементів, та і в якості контактуючого шару в багатошарових зносостійких покриттях.
By magnetron sputtering of target consisting of AlN-TiB₂-TiSi₂ the coatings with value of the index viscoplastic 0,07 at a hardness of H = 15,3 GPa were obtained that provides high damping properties of the coating, and amorphous like structure makes promising the use of these coatings as diffusion barriers in the form of independent elements, and as a contacting layer in multilayer wear resistant coatings.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:56:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111756 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:56:24Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Азаренков, Н.А. Береснев, В.М. Торяник, И.С. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Дробышевская, А.А. Кропотов, А.Ю. Толмачева, Г.Н. Клименко, С.А. Турбин, П.В. Литовченко, С.В. Колесников, Д.А. 2017-01-14T10:21:17Z 2017-01-14T10:21:17Z 2013 Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства / Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, И.С. Торяник, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, А.А. Дробышевская, А.Ю. Кропотов, Г.Н. Толмачева, С.А. Клименко, П.В. Турбин, С.В. Литовченко, Д.А. Колесников // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 2. — С. 144-147. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111756 621.715.539.376 Методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB₂-TiSi₂, получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07 при твердости Н = 15,3 ГПа, что обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование таких покрытий в качестве диффузионных барьеров как в виде самостоятельных элементов, так и в качестве контактирующего слоя в многослойных износостойких покрытиях. Методом магнетронного розпилення мішені, що складається з AlN-TiB₂-TiSi₂, отримані покриття зі значенням індексу в’язкопластичності 0,07 при твердості Н = 15,3 ГПа, що забезпечує високі демпфуючі властивості такого покриття, при цьому аморфноподібна структура представляє перспективним застосування таких покриттів в якості дифузійних бар’єрів як самостійних елементів, та і в якості контактуючого шару в багатошарових зносостійких покриттях. By magnetron sputtering of target consisting of AlN-TiB₂-TiSi₂ the coatings with value of the index viscoplastic 0,07 at a hardness of H = 15,3 GPa were obtained that provides high damping properties of the coating, and amorphous like structure makes promising the use of these coatings as diffusion barriers in the form of independent elements, and as a contacting layer in multilayer wear resistant coatings. Работа выполнялась авторами в рамках госбюджетных НИР 0110U001257 и 0110U001259, финансируемых Министерством образования и науки, молодежи и спорта Украины. Часть работы выполнена на диагностическом оборудовании в Центре коллективного пользования научным оборудованием БелГУ «Диагностика структуры и свойства наноматериалов» (г. Белгород) в рамках госконтракта №16 55211 7087 при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации. Авторы признательны сотрудникам кафедры материалов реакторостроения и физических технологий физико-технического факультета Харьковского национального университета им. В.Н. Каразина за критические замечания и пожелания. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства Іонно-плазмове покриття системи AlN-TiB₂-TiSi₂, отримання та властивості Ion-plasma coating AlN-TiB₂-TiSi₂ systems, obtaining and properties Article published earlier |
| spellingShingle | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства Азаренков, Н.А. Береснев, В.М. Торяник, И.С. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Дробышевская, А.А. Кропотов, А.Ю. Толмачева, Г.Н. Клименко, С.А. Турбин, П.В. Литовченко, С.В. Колесников, Д.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства |
| title_alt | Іонно-плазмове покриття системи AlN-TiB₂-TiSi₂, отримання та властивості Ion-plasma coating AlN-TiB₂-TiSi₂ systems, obtaining and properties |
| title_full | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства |
| title_fullStr | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства |
| title_full_unstemmed | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства |
| title_short | Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства |
| title_sort | ионно-плазменное покрытие системы aln-tib₂-tisi₂, получение и свойства |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111756 |
| work_keys_str_mv | AT azarenkovna ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT beresnevvm ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT torânikis ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT pogrebnâkad ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT sobolʹov ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT drobyševskaâaa ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT kropotovaû ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT tolmačevagn ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT klimenkosa ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT turbinpv ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT litovčenkosv ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT kolesnikovda ionnoplazmennoepokrytiesistemyalntib2tisi2polučenieisvoistva AT azarenkovna íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT beresnevvm íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT torânikis íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT pogrebnâkad íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT sobolʹov íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT drobyševskaâaa íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT kropotovaû íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT tolmačevagn íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT klimenkosa íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT turbinpv íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT litovčenkosv íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT kolesnikovda íonnoplazmovepokrittâsistemialntib2tisi2otrimannâtavlastivostí AT azarenkovna ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT beresnevvm ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT torânikis ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT pogrebnâkad ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT sobolʹov ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT drobyševskaâaa ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT kropotovaû ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT tolmačevagn ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT klimenkosa ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT turbinpv ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT litovčenkosv ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties AT kolesnikovda ionplasmacoatingalntib2tisi2systemsobtainingandproperties |