Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2013
• Main Authors: Азаренков, Н.А., Береснев, В.М., Торяник, И.С., Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Дробышевская, А.А., Кропотов, А.Ю., Толмачева, Г.Н., Клименко, С.А., Турбин, П.В., Литовченко, С.В., Колесников, Д.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111756
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB₂-TiSi₂, получение и свойства / Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, И.С. Торяник, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, А.А. Дробышевская, А.Ю. Кропотов, Г.Н. Толмачева, С.А. Клименко, П.В. Турбин, С.В. Литовченко, Д.А. Колесников // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 2. — С. 144-147. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB₂-TiSi₂, получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07 при твердости Н = 15,3 ГПа, что обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование...