Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2013
• Main Authors: Погребняк, А.Д., Krause-Rehberg, R., Купчишин, А.И., Дробышевская, А.А., Иващенко, В.И., Шипиленко, А.П., Колесников, Д.А., Ердыбаева, Н.К.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111758
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением / А.Д. Погребняк, R. Krause-Rehberg, А.И. Купчишин, А.А. Дробышевская, В.И. Иващенко, А.П. Шипиленко, Д.А. Колесников, Н.К. Ердыбаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 2. — С. 134-139. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Представлены оригинальные результаты, полученные с помощью методов медленного пучка позитронов, рентгеновского микроанализа, РОР, РЭМ с ЭДС, АСМ, а также измерения нанотвердости, модуля упругости наноструктурных покрытий из Ti-Si-N, осажденных катодным вакуумно-дуговым испарителем, до и после отжига...