Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials
In the model of nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion a formula for intrinsic stress in multi-component material deposited from mixed beam of differently charged ions in modes of DC and pulse bias potentials is derived. Calculation of intrinsic stress σ depending on bias potential U in coati...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111764 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.A. Kozionov, V.E. Strelnitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 149-153. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862657537543766016 |
|---|---|
| author | Kalinichenko, A.I. Kozionov, S.A. Strelnitskij, V.E. |
| author_facet | Kalinichenko, A.I. Kozionov, S.A. Strelnitskij, V.E. |
| citation_txt | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.A. Kozionov, V.E. Strelnitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 149-153. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In the model of nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion a formula for intrinsic stress in multi-component material deposited from mixed beam of differently charged ions in modes of DC and pulse bias potentials is derived. Calculation of intrinsic stress σ depending on bias potential U in coating Cr-Al-N deposited from mixed ion beam Cr(50%)Al(50%) is executed at different modes and substrate temperatures T₀. It is shown that maximum of σ(U) in pulse bias potential mode shifts towards higher U as compared with DC mode whereas increase of T₀ leads to opposite effect.
У рамках моделі нелокального термопружного піка низькоенергетичного іона отримана формула для внутрішніх напружень у багатокомпонентному матеріалі, що осаджується зі змішаного пучка різнозаряджених іонів у режимах постійного й імпульсного потенціалів. Проведено розрахунок залежності внутрішніх напружень σ від потенціалу зміщення U у покритті Cr-Al-N, що осаджується зі змішаного потоку Cr(50%)Al(50%) іонів при різних режимах і температурах осадження T₀. Показано. що в режимі імпульсного потенціалу максимум кривої σ(U) зміщується у бік більших значень U, у порівнянні з режимом постійного потенціалу. Підвищення T₀ веде до зворотного ефекту.
В рамках модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в многокомпонентном материале, осаждаемом из смешанного пучка разнозаряженных ионов в режимах постоянного и импульсного потенциалов. Проведен расчет зависимости внутренних напряжений σ от потенциала смещения U в покрытии Cr-Al-N, осаждаемом из смешанного потока Cr(50%)Al(50%) ионов при различных режимах и температурах осаждения T₀. Показано, что в режиме импульсного потенциала максимум кривой σ(U) смещается в сторону больших значений U, по сравнению с режимом постоянного потенциала. Повышение T₀ ведет к обратному эффекту.
|
| first_indexed | 2025-12-02T06:42:06Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111764 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-02T06:42:06Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Kalinichenko, A.I. Kozionov, S.A. Strelnitskij, V.E. 2017-01-14T10:35:54Z 2017-01-14T10:35:54Z 2016 Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.A. Kozionov, V.E. Strelnitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 149-153. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Dq, 81.15.Jj https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111764 In the model of nonlocal thermoelastic peak of low-energy ion a formula for intrinsic stress in multi-component material deposited from mixed beam of differently charged ions in modes of DC and pulse bias potentials is derived. Calculation of intrinsic stress σ depending on bias potential U in coating Cr-Al-N deposited from mixed ion beam Cr(50%)Al(50%) is executed at different modes and substrate temperatures T₀. It is shown that maximum of σ(U) in pulse bias potential mode shifts towards higher U as compared with DC mode whereas increase of T₀ leads to opposite effect. У рамках моделі нелокального термопружного піка низькоенергетичного іона отримана формула для внутрішніх напружень у багатокомпонентному матеріалі, що осаджується зі змішаного пучка різнозаряджених іонів у режимах постійного й імпульсного потенціалів. Проведено розрахунок залежності внутрішніх напружень σ від потенціалу зміщення U у покритті Cr-Al-N, що осаджується зі змішаного потоку Cr(50%)Al(50%) іонів при різних режимах і температурах осадження T₀. Показано. що в режимі імпульсного потенціалу максимум кривої σ(U) зміщується у бік більших значень U, у порівнянні з режимом постійного потенціалу. Підвищення T₀ веде до зворотного ефекту. В рамках модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в многокомпонентном материале, осаждаемом из смешанного пучка разнозаряженных ионов в режимах постоянного и импульсного потенциалов. Проведен расчет зависимости внутренних напряжений σ от потенциала смещения U в покрытии Cr-Al-N, осаждаемом из смешанного потока Cr(50%)Al(50%) ионов при различных режимах и температурах осаждения T₀. Показано, что в режиме импульсного потенциала максимум кривой σ(U) смещается в сторону больших значений U, по сравнению с режимом постоянного потенциала. Повышение T₀ ведет к обратному эффекту. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials Формування внутрішніх напружень у багатокомпонентних покриттях, що осаджуються в режимах, постійного й імпульсного потенціалів зміщення Формирование внутренних напряжений в многокомпонентных покрытиях, осаждаемых в режимах постоянного и импульсного потенциалов смещения Article published earlier |
| spellingShingle | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials Kalinichenko, A.I. Kozionov, S.A. Strelnitskij, V.E. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_alt | Формування внутрішніх напружень у багатокомпонентних покриттях, що осаджуються в режимах, постійного й імпульсного потенціалів зміщення Формирование внутренних напряжений в многокомпонентных покрытиях, осаждаемых в режимах постоянного и импульсного потенциалов смещения |
| title_full | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_fullStr | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_full_unstemmed | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_short | Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_sort | intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of dc and pulse bias potentials |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111764 |
| work_keys_str_mv | AT kalinichenkoai intrinsicstressformationinmulticomponentcoatingsproducedbyplasmaiondepositioninmodesofdcandpulsebiaspotentials AT kozionovsa intrinsicstressformationinmulticomponentcoatingsproducedbyplasmaiondepositioninmodesofdcandpulsebiaspotentials AT strelnitskijve intrinsicstressformationinmulticomponentcoatingsproducedbyplasmaiondepositioninmodesofdcandpulsebiaspotentials AT kalinichenkoai formuvannâvnutríšníhnapruženʹubagatokomponentnihpokrittâhŝoosadžuûtʹsâvrežimahpostíinogoiímpulʹsnogopotencíalívzmíŝennâ AT kozionovsa formuvannâvnutríšníhnapruženʹubagatokomponentnihpokrittâhŝoosadžuûtʹsâvrežimahpostíinogoiímpulʹsnogopotencíalívzmíŝennâ AT strelnitskijve formuvannâvnutríšníhnapruženʹubagatokomponentnihpokrittâhŝoosadžuûtʹsâvrežimahpostíinogoiímpulʹsnogopotencíalívzmíŝennâ AT kalinichenkoai formirovanievnutrennihnaprâženiivmnogokomponentnyhpokrytiâhosaždaemyhvrežimahpostoânnogoiimpulʹsnogopotencialovsmeŝeniâ AT kozionovsa formirovanievnutrennihnaprâženiivmnogokomponentnyhpokrytiâhosaždaemyhvrežimahpostoânnogoiimpulʹsnogopotencialovsmeŝeniâ AT strelnitskijve formirovanievnutrennihnaprâženiivmnogokomponentnyhpokrytiâhosaždaemyhvrežimahpostoânnogoiimpulʹsnogopotencialovsmeŝeniâ |