Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту

Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту

Результати дослідження розмірних залежностей електропровідности свіжоосаджених в умовах надвисокого вакууму плівок золота нанометрової товщини кількісно описано з використанням сучасних теорій квантового розмірного ефекту в плівках металів. Показано, що одержані експериментальні дані найкраще узгодж...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Металлофизика и новейшие технологии
Datum:2015
Hauptverfasser: Бігун, Р.І., Гаврилюх, В.М., Стасюк, З.В., Леонов, Д.С.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Schlagworte:
Электронные структура и свойства
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111811
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту / Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 3. — С. 317-326. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111811
record_format dspace
spelling Бігун, Р.І.
Гаврилюх, В.М.
Стасюк, З.В.
Леонов, Д.С.
2017-01-14T20:39:13Z
2017-01-14T20:39:13Z
2015
Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту / Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 3. — С. 317-326. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.
1024-1809
PACS: 72.10.Fk, 73.23.Ad, 73.25.+i, 73.50.Bk, 73.61.At, 81.15.Kk, 85.40.Xx
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111811
Результати дослідження розмірних залежностей електропровідности свіжоосаджених в умовах надвисокого вакууму плівок золота нанометрової товщини кількісно описано з використанням сучасних теорій квантового розмірного ефекту в плівках металів. Показано, що одержані експериментальні дані найкраще узгоджуються з розрахунковими залежностями теорій, які враховують особливості морфології реальних плівок металів.
Результаты исследования размерных зависимостей удельной электропроводимости свежеосаждённых плёнок золота нанометровой толщины в условиях сверхвысокого вакуума количественно описаны с использованием современных теорий квантового размерного эффекта в плёнках металлов. Полученные размерные зависимости удельной проводимости плёнок золота хорошо согласуются с расчётными зависимостями теоретических моделей, учитывающих особенности морфологии поверхности реальных плёнок металлов.
Size dependences of electrical conductivity of quench-condensed Au films on substrate surface under ultra-high vacuum conditions are quantitatively described within the scope of the contemporary theories of quantum size effects. As shown, the experimental data have the best agreement with theoretical calculations, which take into account the peculiarities of surface morphology of real metal films.
uk
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Электронные структура и свойства
Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
Моделирование размерных зависимостей электропроводности ультратонких плёнок золота на основе теорий квантового размерного эффекта
Simulation of Size Dependences of Electrical Conductivity of Ultrathin Gold Films on the Basis of Quantum Dimensional Effect
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
spellingShingle Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
Бігун, Р.І.
Гаврилюх, В.М.
Стасюк, З.В.
Леонов, Д.С.
Электронные структура и свойства
title_short Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
title_full Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
title_fullStr Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
title_full_unstemmed Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
title_sort моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
author Бігун, Р.І.
Гаврилюх, В.М.
Стасюк, З.В.
Леонов, Д.С.
author_facet Бігун, Р.І.
Гаврилюх, В.М.
Стасюк, З.В.
Леонов, Д.С.
topic Электронные структура и свойства
topic_facet Электронные структура и свойства
publishDate 2015
language Ukrainian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Моделирование размерных зависимостей электропроводности ультратонких плёнок золота на основе теорий квантового размерного эффекта
Simulation of Size Dependences of Electrical Conductivity of Ultrathin Gold Films on the Basis of Quantum Dimensional Effect
description Результати дослідження розмірних залежностей електропровідности свіжоосаджених в умовах надвисокого вакууму плівок золота нанометрової товщини кількісно описано з використанням сучасних теорій квантового розмірного ефекту в плівках металів. Показано, що одержані експериментальні дані найкраще узгоджуються з розрахунковими залежностями теорій, які враховують особливості морфології реальних плівок металів. Результаты исследования размерных зависимостей удельной электропроводимости свежеосаждённых плёнок золота нанометровой толщины в условиях сверхвысокого вакуума количественно описаны с использованием современных теорий квантового размерного эффекта в плёнках металлов. Полученные размерные зависимости удельной проводимости плёнок золота хорошо согласуются с расчётными зависимостями теоретических моделей, учитывающих особенности морфологии поверхности реальных плёнок металлов. Size dependences of electrical conductivity of quench-condensed Au films on substrate surface under ultra-high vacuum conditions are quantitatively described within the scope of the contemporary theories of quantum size effects. As shown, the experimental data have the best agreement with theoretical calculations, which take into account the peculiarities of surface morphology of real metal films.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111811
citation_txt Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту / Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 3. — С. 317-326. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT bígunrí modelûvannârozmírnihzaležnosteielektroprovídnostíulʹtratonkihplívokzolotanaosnovíteoríikvantovogorozmírnogoefektu
AT gavrilûhvm modelûvannârozmírnihzaležnosteielektroprovídnostíulʹtratonkihplívokzolotanaosnovíteoríikvantovogorozmírnogoefektu
AT stasûkzv modelûvannârozmírnihzaležnosteielektroprovídnostíulʹtratonkihplívokzolotanaosnovíteoríikvantovogorozmírnogoefektu
AT leonovds modelûvannârozmírnihzaležnosteielektroprovídnostíulʹtratonkihplívokzolotanaosnovíteoríikvantovogorozmírnogoefektu
AT bígunrí modelirovanierazmernyhzavisimosteiélektroprovodnostiulʹtratonkihplenokzolotanaosnoveteoriikvantovogorazmernogoéffekta
AT gavrilûhvm modelirovanierazmernyhzavisimosteiélektroprovodnostiulʹtratonkihplenokzolotanaosnoveteoriikvantovogorazmernogoéffekta
AT stasûkzv modelirovanierazmernyhzavisimosteiélektroprovodnostiulʹtratonkihplenokzolotanaosnoveteoriikvantovogorazmernogoéffekta
AT leonovds modelirovanierazmernyhzavisimosteiélektroprovodnostiulʹtratonkihplenokzolotanaosnoveteoriikvantovogorazmernogoéffekta
AT bígunrí simulationofsizedependencesofelectricalconductivityofultrathingoldfilmsonthebasisofquantumdimensionaleffect
AT gavrilûhvm simulationofsizedependencesofelectricalconductivityofultrathingoldfilmsonthebasisofquantumdimensionaleffect
AT stasûkzv simulationofsizedependencesofelectricalconductivityofultrathingoldfilmsonthebasisofquantumdimensionaleffect
AT leonovds simulationofsizedependencesofelectricalconductivityofultrathingoldfilmsonthebasisofquantumdimensionaleffect
first_indexed 2025-11-27T05:40:53Z
last_indexed 2025-11-27T05:40:53Z
_version_ 1850802755330899968
fulltext 317 PACS numbers:72.10.Fk, 73.23.Ad,73.25.+i,73.50.Bk,73.61.At,81.15.Kk, 85.40.Xx Моделювання розмірних залежностей електропровідности ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов * Львівський національний університет ім. Івана Франка, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна *Технічний центр НАН України, вул. Покровська, 13, 04070 Київ, Україна Результати дослідження розмірних залежностей електропровідности сві- жоосаджених в умовах надвисокого вакууму плівок золота нанометрової товщини кількісно описано з використанням сучасних теорій квантового розмірного ефекту в плівках металів. Показано, що одержані експеримен- тальні дані найкраще узгоджуються з розрахунковими залежностями тео- рій, які враховують особливості морфології реальних плівок металів. Результаты исследования размерных зависимостей удельной электропро- водимости свежеосаждённых плёнок золота нанометровой толщины в условиях сверхвысокого вакуума количественно описаны с использовани- ем современных теорий квантового размерного эффекта в плёнках метал- лов. Полученные размерные зависимости удельной проводимости плёнок золота хорошо согласуются с расчётными зависимостями теоретических моделей, учитывающих особенности морфологии поверхности реальных плёнок металлов. Size dependences of electrical conductivity of quench-condensed Au films on substrate surface under ultra-high vacuum conditions are quantitatively de- scribed within the scope of the contemporary theories of quantum size effects. As shown, the experimental data have the best agreement with theoretical cal- culations, which take into account the peculiarities of surface morphology of real metal films. Ключові слова: тонкі металеві плівки, напівпровідникові підшари суба- томної товщини, поверхневе та зерномежове розсіяння. (Отримано 25 грудня 2014 р.; остаточн. варіант– 15 січня 2015 р.) Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2015, т. 37, № 3, сс. 317—326 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2015 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 318 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, З. В. СТАСЮК, Д. С. ЛЕОНОВ 1. ВСТУП Одним з перспективних напрямів розвитку плівкових технологій є розроблення методик приготування ультратонких (товщиною в де- кілька нанометрів) електрично суцільних металевих плівок, вико- ристання яких в електроніці дозволить суттєво зменшити лінійні розміри елементів мікросхем, тим самим збільшить їх щільність на поверхні інтеґральних схем та підвищить швидкодію системи. Фо- рмування плівки металу на поверхні діелектричної підкладки роз- починається з появи окремих зародків кристалізації, які не конта- ктують між собою, і лише при деякій критичній товщині плівка стає електрично суцільною з омічною провідністю. Суттєвого зме- ншення цієї критичної товщини можна досягнути за допомогою сумісного використання двох методів, які дозволяють зменшити розмір зародків кристалізації металу, шляхом конденсації пари ме- талу на охолоджену до низької температури підкладку (as- deposition) [1] та попереднього нанесення на підкладку підшарів субатомної товщини поверхнево-активних матеріялів (сурфактант- них підшарів) [2], що запобігають коалесценції зародків кристалі- зації. З іншого боку, проблемою сучасних досліджень ультратонких плівок металів є необхідність створення послідовних, надійних те- оретичних підходів, придатних кількісно описати електричні влас- тивості ультратонких плівок металів. Для плівок відносно великих товщин (d  10—15 нм) існують надійні теорії квазикласичного (гео- метричного) розмірного ефекту, в яких враховано всі можливі до- даткові механізми релаксації носіїв струму в плівці металу, зокре- ма поверхневе та зерномежове розсіювання та розсіювання, обумо- влене існуванням макроскопічних неоднорідностей поверхні (дета- льний аналіз згаданих моделей подано в огляді [3]). В ультратонких електрично суцільних плівках (товщиною в декілька нанометрів) мають виявлятися квантово-розмірні явища, що в принципі може обумовлювати появу осциляцій кінетичних коефіцієнтів при зміні товщини плівки d, подібно як це спостерігалось у плівках напівме- талів [4]. Більшість сучасних теорій квантового розмірного ефекту в плів- ках металів побудовано на припущенні, що в ультратонких плівках металів реалізується лише механізм релаксації носіїв струму – по- верхневе розсіювання (умова балістичного перенесення заряду), а внесок об’ємного розсіювання нехтовно малий. Наслідками такого підходу є відхилення від Матіссенового правила, суть якого полягає в адитивності всіх статичних процесів розсіювання носіїв струму, та складність переходу від опису чисто балістичного перенесення заряду до квазикласичного перенесення в реальній плівці відносно МОДЕЛЮВАННЯ РОЗМІРНИХ ЗАЛЕЖНОСТЕЙ ПРОВІДНОСТИ ПЛІВОК Au 319 більших товщин. Короткий аналіз згаданих теорій виконано в [5, 6] при описі розмірних змін електропровідности плівок золота. Там також відзначено, що деякі труднощі теорій [7—11] подолано в мо- делі [12—14]. В [15] запропоновано новий підхід до розв’язку даної проблеми, що базується на Больцманновому наближенні. В роботі показано, що флуктуації межі плівки металу частково змінюють енергетичний спектр вільних електронів в ультратонкій плівці, тим самим впливають на умови розсіювання носіїв струму в режимі квантового перенесення заряду. В межах розвинутої моделі розра- ховано розмірну залежність питомої електропровідности плівки з врахуванням особливостей морфології поверхні плівки та ступеня об’ємної досконалости шару. У даній роботі проаналізовано прида- тність теорій [7—14] та запропонованої в [15] теорії для кількісного опису електропровідности плівок золота, нанесених в умовах над- високого вакууму на чисту поверхню скла та на поверхню сурфак- тантних підшарів ґерманію різної товщини. 2. ОСОБЛИВОСТІ МЕТОДИКИ ЕКСПЕРИМЕНТУ, ОБ’ЄКТИ ДОСЛІДЖЕННЯ Приготування і дослідження плівок здійснювали в умовах надвисо- кого вакууму при тиску залишкових газів не вищому за 10 7 Па у ві- дпаяних скляних експериментальних приладах. У цілому методика досліджень аналогічна методикам, які використовувались у попере- дніх роботах авторів при дослідженні плівок золота [5, 16, 17]. Фор- мування плівок здійснювали за допомогою методики «замороженої конденсації» (‘quench condensed’), яка полягає в напорошенні мате- ріялів з швидкостями конденсації не вищими за 0,01—0,02 нм/с на охолоджені до низьких температур (у нашому випадку температура зрідженого азоту 78 К) підкладки. Згідно з сучасними уявленнями про згаданий тип конденсації, температура підкладки при нанесенні плівки повинна бути не вищою за 0,1 температури плавлення мате- ріялу [18], що відповідає зоні І класифікації режимів нанесення плівок металів з пари термічно випаруваного матеріялу [19]. Особ- ливою характеристикою цього режиму є одержання дрібнокриста- лічних зразків, що обумовлено практично відсутньою поверхневою рухливістю атомів металу після контакту з підкладкою. В якості пі- дкладки в наших роботах використовувалось добре знегазоване три- валим (до 40 годин) прогрівом у вакуумі при температурі біля 400С оплавлене поліроване скло, що виключає можливість взаємодії ато- мів металу з адсорбованими поверхнею підкладки атомами чи моле- кулами хімічно активних речовин. Як сурфактантне покриття, що послаблює коалесценцію зародків кристалізації металу, використо- вували аморфні підшари ґерманію масовою товщиною до 4 нм. Згід- но з [20], у початковій стадії конденсації золота на попередньо нане- 320 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, З. В. СТАСЮК, Д. С. ЛЕОНОВ сений на підкладку ґерманій, утворюється аморфна фаза металу, що зумовлено виникненням ковалентних зв’язків між атомами золота та ґерманію. Однак при деякій критичній товщині d0 плівка золота переходить у дрібнокристалічний стан (при товщині підшару Ge 4 нм для плівки Au d0  1,8 нм), і надалі при зростанні товщини плів- ки золота має місце ріст плівки шар за шаром з лінійними розміра- ми кристалітів у площині, паралельній підкладці, незалежними від товщини плівки металу (принаймні до товщин 10 нм). В згаданому діяпазоні товщин діяметер ґранул D лежить у межах (10D21) нм. Відпал плівок золота при кімнатній температурі не призводить до зміни розмірів кристалітів. Структурні зміни спостерігались при відпалі плівок Au при t200 с [20]. Згадані СТМ-дослідження вико- нано безпосередньо у вакуумному приладі при тиску газів, нижчому за 10 6 Па. Виконані нами структурні дослідження реалізовано при кімнатній температурі з плівками, переміщеними з вакуумного приладу в пристрій для СТМ-досліджень. Визначені таким чином характеристики лінійних розмірів кристалітів добре узгоджуються з даними [20], принаймні, для плівок золота, нанесених на підшар ґерманію масовою товщиною 4 нм. Згадані вище лінійні розміри кристалітів зберігаються для плівок золота нанесених на підшар ґе- рманію до товщин 45—50 нм. 3. ОБГОВОРЕННЯ РЕЗУЛЬТАТІВ ДОСЛІДЖЕННЯ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТИ ПЛІВОК ЗОЛОТА На рисунку 1 наведено розмірні залежності питомого опору  плі- вок золота щойно нанесених на чисту поверхню скла та на поверх- ню підшарів ґерманію різної товщини. Виміри виконано за двозон- довою методикою з використанням приладу В7-34А та комутатора для здійснення почергового вимірювання електропровідности декі- лькох плівок, що наносились на підшари ґерманію різної товщини. Результати вимірювань безпосередньо записувались у пам’ять комп’ютера. Використання комутатора забезпечило короткотрива- ле вимірювання опору, і тим самим дозволило уникнути відпалу плівок внаслідок протікання через них вимірювального струму. З даних, наведених на рисунку, видно, що наявність підшару ґерма- нію на скляній підкладці сприяє появі провідности плівок золота при товщинах менших за товщину плівки, при якій з’являється електропровідність у плівках Au, нанесених на чисту поверхню скла. Очевидним є також те, що питома провідність плівок відносно великої товщини, нанесених на чисту поверхню, є вищою за прові- дність плівок, нанесених на підшари ґерманію. Причиною такої ві- дмінности є вплив підшару ґерманію, який приводить до росту кри- сталітів менших розмірів, ніж у випадку плівок, нанесених на чис- МОДЕЛЮВАННЯ РОЗМІРНИХ ЗАЛЕЖНОСТЕЙ ПРОВІДНОСТИ ПЛІВОК Au 321 ту поверхню скла. Зокрема, в плівках, нанесених на чисту поверх- ню скла, середній розмір кристалітів D20 нм, а у плівках, нанесе- них на підшар ґерманію товщиною 2 нм – D15 нм. Наведені на рис. 1 залежності (d) в діяпазоні товщин d10 нм можна кількісно описати за допомогою квазикласичних теорій Фу- кса—Зондгаймера, Намби та Тельє—Тоссе—Пішар [3], використавши як підгінні параметри наступні величини: 1/ – питома про- відність плівки безмежної товщини,  – середня довжина вільного пробігу носіїв струму в тонкій плівці за умови дифузного відбиван- ня носіїв струму поверхнями плівки, h – середня амплітуда повер- хневих неоднорідностей, розрахована з використанням моделі На- мби. Внаслідок виконаного розрахунку одержано величини згада- них параметрів, наведені у таблиці. У таблиці також присутня ве- личина dc – перколяційна товщина плівки, знайдена шляхом ліне- аризації залежностей опору плівок R від товщини d. Згідно з перко- ляційною теорією [21], у плівці товщиною dс з’являється перший канал металічної провідности. Реальна плівка стає електрично су- цільною з чисто металевим характером електропровідности при то- вщинах порядку d(1,5—2)dс. Величини, наведені в таблиці, вико- ристано для подальших розрахунків з використанням теорій кван- тового розмірного ефекту. На рисунках 2—4 показано результати зіставлення експеримен- тальних розмірних залежностей питомої електропровідности (d) плівок золота, свіжонанесених при Т78 К відповідно на чисту по- верхню скла та на поверхню скла, попередньо покриту підшарами Рис. 1. Розмірні залежності питомого опору свіжонанесених плівок золота при T78 К, осаджених на чисту скляну підкладку (1) та підкладку, по- передньо покриту шаром ґерманію з масовою товщиною 1 нм (5), 2 нм (4), 3 нм (3) та 4 нм (2). 322 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, З. В. СТАСЮК, Д. С. ЛЕОНОВ ґерманію масовою товщиною 1 нм та 4 нм, з розрахунковими зале- жностями, одержаними за допомогою виразів теорій квантового ро- змірного ефекту [715]. Процедура здійснення подібних розрахун- ків детально описана в [6, 15]. Зауважимо, що надійний кількісний опис кінетичних коефіцієн- тів за допомогою теорій [7—15] можливий лише для суцільних плі- вок. Тому, слід сподіватись, що добре узгодження експерименталь- них залежностей з теоретичними повинно спостерігатись для плі- вок золота, нанесених на чисту поверхню скла при товщинах плівок d більших за 10—12 нм, а для плівок, нанесених на підшар ґерманію масовою товщиною 4 нм, при d5—6 нм. Аналіз даних, наведених на рис. 2—4, показує, що теорії [1214] і [15] достатньо добре описують залежності (d) для широких діяпа- ТАБЛИЦЯ. Параметри перенесення заряду в плівках золота, свіжонане- сених при Т78 К на чисту поверхню скла та поверхню підшарів ґерма- нію різної товщини. Товщина підшару Ge, нм , 10 7 Омм , нм h, нм dc, нм 0 1,01 10 5,1 5,6 1 1,20 9 2,4 3,6 2 1,31 9 2,2 3,4 3 1,40 8 1,7 3,0 4 1,51 7,6 1,5 2,8 Рис. 2. Розмірні залежності питомої провідности свіжонанесеної на чисту скляну підкладку плівки золота при Т78 К: маркери – експеримента- льні дані), суцільні криві – теоретичні апроксимації моделями [15] (1), [7, 8] (2), [9] (3), [10, 11] (4), [12—14] (5). МОДЕЛЮВАННЯ РОЗМІРНИХ ЗАЛЕЖНОСТЕЙ ПРОВІДНОСТИ ПЛІВОК Au 323 зонів товщин плівок, починаючи з близьких післяперколяційних товщин (d2dc) і до ділянки товщин, що відповідають квазикласи- чному режиму перенесення заряду (d15 нм). Теоретичні криві, побудовані на основі цих теорій, плавно переходять у залежності, передбачені теоріями квазикласичного геометричного розмірного ефекту. Рис. 3. Розмірні залежності питомої провідности плівки золота, свіжона- несеної на підшар ґерманію товщиною 1 нм при Т78 К: маркери – екс- периментальні дані, суцільні криві – теоретичні апроксимації моделями [15] (1), [7, 8] (2), [9] (3), [10, 11] (4), [12—14] (5). Рис. 4. Розмірні залежності питомої провідности плівки золота, свіжона- несеної на підшар ґерманію товщиною 4 нм при Т78 К: маркери – екс- периментальні дані, суцільні криві – теоретичні апроксимації моделями [15] (1), [7, 8] (2), [9] (3), [10, 11] (4), [12—14] (5). 324 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, З. В. СТАСЮК, Д. С. ЛЕОНОВ Очевидним є також факт, що найкраще зіставлення результатів розрахунку за цими теоріями з експериментальними даними має місце в плівках, нанесених на підшар ґерманію, макроскопічна ше- рсткість поверхні яких найменша. Деяке неузгодження між результатами розрахунків, виконаних у межах теорій [12—14] i [15], виникає при оцінці параметрів шерс- ткости поверхні. В [15] характеристикою шерсткости поверхні плі- вки є величина, що має сенс середнього відхилу  локальної товщи- ни плівки від товщини d пласкопаралельного шару. Цю величину з достатнім ступенем точности можна вважати рівною половині амп- літуди поверхневих неоднорідностей h (величини, розрахованої на основі моделі Намби; наведено у табл.). Згідно з виконаною оцін- кою, величина  змінюється від 2,4 нм для плівок Au, нанесених на чисту поверхню скла, до 0,85 нм для плівок, нанесених на по- верхню підшару ґерманію масовою товщиною 4 нм. Цей діяпазон зміни параметра шерсткости поверхні задовільно узгоджується з результатами розрахунків на основі моделі Намби та результатами СТМ-досліджень плівок, виконаних нами в [18, 20]. У моделі [12— 14] величина середньоквадратичної амплітуди поверхневих неод- норідностей виявилась атомного масштабу (від 0,13 до 0,3 наномет- рів) для плівок золота, нанесених на поверхню підшарів ґерманію різної товщини, та дещо вищою (0,8 нм) для плівок, нанесених на чисту поверхню скла. Цей результат не узгоджується з даними, одержаними при прямому вивченні шерсткости плівок за допомо- гою СТМ. На відміну від теорій [12—15], теорії [7—11], побудовані на основі чисто квантово-механічного підходу без врахування існування пе- рехідної ділянки товщин, в межах якої є як балістичне, так і ква- зикласичне перенесення заряду, виявилися непридатними для охоплення широкого діяпазону товщин плівок, і тому за їх допомо- гою опис (d) можливий лише для вузьких ділянок значень d. При- кладом цього є теорія [10, 11], яка добре описує близьку до степене- вої залежність залишкової провідности плівок золота від товщини d в області малих товщин [15], однак виявилась абсолютно непридат- ною для пояснення провідности плівок у діяпазоні товщин плівок, в якому існує квазикласичне перенесення заряду. 3. ВИСНОВКИ 1. В роботі підтверджено придатність теорій квантового розмірного ефекту, запропонованих в [12—14] та [15] для кількісного опису роз- мірних залежностей питомої електропровідности суцільних дрібно- кристалічних плівок золота в діяпазоні товщин, що відповідають режимам як квантового, так і квазикласичного перенесення заряду. 2. Параметри макроскопічної шерсткости поверхні плівок Au, ви- МОДЕЛЮВАННЯ РОЗМІРНИХ ЗАЛЕЖНОСТЕЙ ПРОВІДНОСТИ ПЛІВОК Au 325 значені з використанням виразів теорії [15], добре узгоджуються з результатами експериментального дослідження поверхні плівок за допомогою СТМ. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. R. C. Dynes, J. P. Garno, and J. M. Rowell, Phys. Rev. Lett., 40, No. 7: 479 (1978). 2. K. Schroder and Zhang Le, phys. status solidi (b), 183: k5 (1994). 3. З. В. Стасюк, А. І. Лопатинський, Фізика і хімія твердого тіла, 2, № 4: 521 (2001). 4. В. Б. Сандомирский, ЖЭТФ, 52, № 1: 158 (1967). 5. М. Д. Бучковська, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металофиз. новейшие технол., 35, № 12: 1659 (2013). 6. А. П. Шпак, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Ю. А. Куницький, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 8, вип. 2: 339 (2010). 7. Z. Tesanovic, M. Jaric, and S. Maekawa, Phys. Rev. B, 57, No. 21: 2760 (1986). 8. Z. Tesanovic, Solid State Phys., 20, No. 6: L829 (1987). 9. N. Trivedi and N. W. Ashcroft, Phys. Rev. B, 38, No. 17: 12298 (1988). 10. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett., 62, No. 11: 1302 (1989). 11. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B, 43, No. 14: 11581 (1991). 12. L. Sheng, D. Y. Xing, and Z. D. Wang, Phys. Rev. B, 51, No. 11: 7325 (1995). 13. R. Munoz, G. Vida, G. Kremer, L. Moraga, and C. Arenas, J. Phys.: Condensed Matter, 11: 299 (1999). 14. R. Munoz, A. Concha, F. Mora, and R. Espejo, Phys. Rev. B, 61, No. 7: 4514 (2000). 15. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Металофиз. новейшие технол., 36, № 6: 723 (2014). 16. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Металофиз. новейшие технол., 30, № 6: 827 (2008). 17. Р. І. Бігун, М.  Д. Бучковська, В.  М. Гаврилюх, О.  Є. Кравченко, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металофиз. новейшие технол., 36, № 4: 531 (2014). 18. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Phys. Rev. B, 58, No. 11: 7347 (1998). 19. C. R. Grovenor, H. T. Hentzell, and D. A. Smith, Acta Metall., 32, No. 5: 773 (1984). 20. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Acta Metall., 46, No. 13: 4549 (1998). 21. K. H. Han, Z. S. Lim, and Sung-Ik Lee, Physica B: Condensed Matter, 167: 185 (1990). REFERENCES 1. R. C. Dynes, J. P. Garno, and J. M. Rowell, Phys. Rev. Lett., 40, No. 7: 479 (1978). 2. K. Schroder and Zhang Le, phys. status solidi (b), 183: k5 (1994). 3. Z. V. Stasyuk and A. I. Lopatyns’kyy, Fizyka i Khimiya Tverdogo Tila, 2, No. 4: 521 (2001) (in Ukrainian). 326 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, З. В. СТАСЮК, Д. С. ЛЕОНОВ 4. V. B. Sandomirskiy, ZhETF, 52, No. 1: 158 (1967) (in Russian). 5. M. D. Buchkovska, R. I. Bihun, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Меtallofiz. Noveishie Tekhnol., 35, No. 12: 1659 (2013) (in Ukrainian). 6. A. P. Shpak, R. I. Bigun, Z. V. Stasyuk, and Yu. A. Kunitsky, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 8, Iss. 2: 339 (2010) (in Ukrainian). 7. Z. Tesanovic, M. Jaric, and S. Maekawa, Phys. Rev. B, 57, No. 21: 2760 (1986). 8. Z. Tesanovic, Solid State Phys., 20, No. 6: L829 (1987). 9. N. Trivedi and N. W. Ashcroft, Phys. Rev. B, 38, No. 17: 12298 (1988). 10. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett., 62, No. 11: 1302 (1989). 11. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B, 43, No. 14: 11581 (1991). 12. L. Sheng, D. Y. Xing, and Z. D. Wang, Phys. Rev. B, 51, No. 11: 7325 (1995). 13. R. Munoz, G. Vida, G. Kremer, L. Moraga, and C. Arenas, J. Phys.: Condensed Matter, 11: 299 (1999). 14. R. Munoz, A. Concha, F. Mora, and R. Espejo, Phys. Rev. B, 61, No. 7: 4514 (2000). 15. R. І. Bіhun and Z. V. Stasyuk, Меtallofiz. Noveishie Tekhnol., 36, No. 6: 723 (2014) (in Ukrainian). 16. R. І. Bіhun and Z. V. Stasyuk, Меtallofiz. Noveishie Tekhnol., 30, No. 6: 827 (2008) (in Ukrainian). 17. R. I. Bigun, M. D. Buchkovska, V. M. Havrilyukh, O. E. Kravchenko, Z. V. Stasyuk, and D.  S. Leonov, Мetallofiz. Noveishie Tekhnol., 36, No. 4: 531 (2014) (in Ukrainian). 18. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Phys. Rev. B, 58, No. 11: 7347 (1998). 19. C. R. Grovenor, H. T. Hentzell, and D. A. Smith, Acta Metall., 32, No. 5: 773 (1984). 20. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Acta Metall., 46, No. 13: 4549 (1998). 21. K. H. Han, Z. S. Lim, and Sung-Ik Lee, Physica B: Condensed Matter, 167: 185 (1990). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <FEFF0054006900650074006f0020006e006100730074006100760065006e0069006100200070006f0075017e0069007400650020006e00610020007600790074007600e100720061006e0069006500200064006f006b0075006d0065006e0074006f0076002000410064006f006200650020005000440046002c0020006b0074006f007200e90020007300610020006e0061006a006c0065007001610069006500200068006f0064006900610020006e00610020006b00760061006c00690074006e00fa00200074006c0061010d00200061002000700072006500700072006500730073002e00200056007900740076006f00720065006e00e900200064006f006b0075006d0065006e007400790020005000440046002000620075006400650020006d006f017e006e00e90020006f00740076006f00720069016500200076002000700072006f006700720061006d006f006300680020004100630072006f00620061007400200061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610020006e006f0076016100ed00630068002e> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <FEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006f006d002000640075002000760069006c006c00200073006b006100700061002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400200073006f006d002000e400720020006c00e4006d0070006c0069006700610020006600f60072002000700072006500700072006500730073002d007500740073006b00720069006600740020006d006500640020006800f600670020006b00760061006c0069007400650074002e002000200053006b006100700061006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006b0061006e002000f600700070006e00610073002000690020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00630068002000730065006e006100720065002e> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Ähnliche Einträge