Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System

As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni₄N, Ni₃N, and Ni₂N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Металлофизика и новейшие технологии
Дата:2015
Автор: Shalaev, R.V.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111892
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System / R. V. Shalaev // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 509-519. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111892
record_format dspace
spelling Shalaev, R.V.
2017-01-15T14:24:09Z
2017-01-15T14:24:09Z
2015
Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System / R. V. Shalaev // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 509-519. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
1024-1809
PACS: 52.40.Hf, 61.05.cp, 68.35.Dv, 68.37.Ps, 68.55.Nq, 81.07.Bc, 81.15.Gh
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111892
As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni₄N, Ni₃N, and Ni₂N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration of nitrogen in the buffer gas.
Показано, що магнетронне розпорошення є ефективним для синтези різноманітних наноструктурних фаз нітриду ніклю (твердий розчин Нітроґену у ніклі, Ni₄N, Ni₃N та Ni₂N). Визначено закономірності утворення наноколонарних або ґлобулярних плівкових структур системи Ni—N залежно від концентрації азоту у буферному газі.
Показано, что магнетронное распыление эффективно для синтеза различных наноструктурных фаз нитрида никеля (твёрдый раствор азота в никеле, Ni₄N, Ni₃N и Ni₂N). Определены закономерности образования наноколонарных или глобулярных плёночных структур системы Ni—N в зависимости от концентрации азота в буферном газе.
en
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Металлические поверхности и плёнки
Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
Газофазний синтез плівкових структур системи Ni—N
Газофазный синтез плёночных структур системы Ni—N
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
spellingShingle Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
Shalaev, R.V.
Металлические поверхности и плёнки
title_short Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_full Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_fullStr Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_full_unstemmed Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_sort gas-phase synthesis of film structures of ni—n system
author Shalaev, R.V.
author_facet Shalaev, R.V.
topic Металлические поверхности и плёнки
topic_facet Металлические поверхности и плёнки
publishDate 2015
language English
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Газофазний синтез плівкових структур системи Ni—N
Газофазный синтез плёночных структур системы Ni—N
description As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni₄N, Ni₃N, and Ni₂N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration of nitrogen in the buffer gas. Показано, що магнетронне розпорошення є ефективним для синтези різноманітних наноструктурних фаз нітриду ніклю (твердий розчин Нітроґену у ніклі, Ni₄N, Ni₃N та Ni₂N). Визначено закономірності утворення наноколонарних або ґлобулярних плівкових структур системи Ni—N залежно від концентрації азоту у буферному газі. Показано, что магнетронное распыление эффективно для синтеза различных наноструктурных фаз нитрида никеля (твёрдый раствор азота в никеле, Ni₄N, Ni₃N и Ni₂N). Определены закономерности образования наноколонарных или глобулярных плёночных структур системы Ni—N в зависимости от концентрации азота в буферном газе.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111892
citation_txt Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System / R. V. Shalaev // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 509-519. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT shalaevrv gasphasesynthesisoffilmstructuresofninsystem
AT shalaevrv gazofazniisintezplívkovihstruktursisteminin
AT shalaevrv gazofaznyisintezplenočnyhstruktursistemynin
first_indexed 2025-12-07T18:07:56Z
last_indexed 2025-12-07T18:07:56Z
_version_ 1850873873926455296