Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System

As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni₄N, Ni₃N, and Ni₂N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Металлофизика и новейшие технологии
Datum:2015
1. Verfasser: Shalaev, R.V.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111892
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System / R. V. Shalaev // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 509-519. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862716932797497344
author Shalaev, R.V.
author_facet Shalaev, R.V.
citation_txt Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System / R. V. Shalaev // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 509-519. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Металлофизика и новейшие технологии
description As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni₄N, Ni₃N, and Ni₂N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration of nitrogen in the buffer gas. Показано, що магнетронне розпорошення є ефективним для синтези різноманітних наноструктурних фаз нітриду ніклю (твердий розчин Нітроґену у ніклі, Ni₄N, Ni₃N та Ni₂N). Визначено закономірності утворення наноколонарних або ґлобулярних плівкових структур системи Ni—N залежно від концентрації азоту у буферному газі. Показано, что магнетронное распыление эффективно для синтеза различных наноструктурных фаз нитрида никеля (твёрдый раствор азота в никеле, Ni₄N, Ni₃N и Ni₂N). Определены закономерности образования наноколонарных или глобулярных плёночных структур системы Ni—N в зависимости от концентрации азота в буферном газе.
first_indexed 2025-12-07T18:07:56Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111892
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1024-1809
language English
last_indexed 2025-12-07T18:07:56Z
publishDate 2015
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
record_format dspace
spelling Shalaev, R.V.
2017-01-15T14:24:09Z
2017-01-15T14:24:09Z
2015
Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System / R. V. Shalaev // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 509-519. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
1024-1809
PACS: 52.40.Hf, 61.05.cp, 68.35.Dv, 68.37.Ps, 68.55.Nq, 81.07.Bc, 81.15.Gh
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111892
As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni₄N, Ni₃N, and Ni₂N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration of nitrogen in the buffer gas.
Показано, що магнетронне розпорошення є ефективним для синтези різноманітних наноструктурних фаз нітриду ніклю (твердий розчин Нітроґену у ніклі, Ni₄N, Ni₃N та Ni₂N). Визначено закономірності утворення наноколонарних або ґлобулярних плівкових структур системи Ni—N залежно від концентрації азоту у буферному газі.
Показано, что магнетронное распыление эффективно для синтеза различных наноструктурных фаз нитрида никеля (твёрдый раствор азота в никеле, Ni₄N, Ni₃N и Ni₂N). Определены закономерности образования наноколонарных или глобулярных плёночных структур системы Ni—N в зависимости от концентрации азота в буферном газе.
en
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Металлические поверхности и плёнки
Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
Газофазний синтез плівкових структур системи Ni—N
Газофазный синтез плёночных структур системы Ni—N
Article
published earlier
spellingShingle Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
Shalaev, R.V.
Металлические поверхности и плёнки
title Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_alt Газофазний синтез плівкових структур системи Ni—N
Газофазный синтез плёночных структур системы Ni—N
title_full Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_fullStr Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_full_unstemmed Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_short Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System
title_sort gas-phase synthesis of film structures of ni—n system
topic Металлические поверхности и плёнки
topic_facet Металлические поверхности и плёнки
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111892
work_keys_str_mv AT shalaevrv gasphasesynthesisoffilmstructuresofninsystem
AT shalaevrv gazofazniisintezplívkovihstruktursisteminin
AT shalaevrv gazofaznyisintezplenočnyhstruktursistemynin