Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
The features of the physical mechanisms of controlled ion-plasma formation of the new functional nanomaterials are investigated. The technological regimes of formation of functional nanostructured materials under combined impact of several plasma sources are investigated; the structural and electric...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111893 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 499-508. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111893 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Rudenko, E.M. Korotash, I.V. Polotskiy, D.Y. Osipov, L.S. Dyakin, M.V. Prikhna, T.A. Shapovalov, A.P. 2017-01-15T14:25:27Z 2017-01-15T14:25:27Z 2015 Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 499-508. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 52.50.Dg, 52.50.Qt, 61.46.Bc, 68.35.Ct, 68.35.Dv, 81.16.Rf, 82.33.Xj https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111893 The features of the physical mechanisms of controlled ion-plasma formation of the new functional nanomaterials are investigated. The technological regimes of formation of functional nanostructured materials under combined impact of several plasma sources are investigated; the structural and electrical properties of the obtained TiN films are studied. The structures of films are studied with scanning tunnelling microscope JSPM-4500/4610 interlocked with an atomic force microscope. As shown, the optimized helicon-arc reactor demonstrates the unique properties and provides controlled low-temperature formation of the dense regular TiN nanostructures with the sizes from a few to tens of nanometres. Вивчено особливості фізичних механізмів керованого йонно-плазмового формування нових функціональних наноматеріялів. Відпрацьовано технологічні режими формування функціональних наноструктурованих матеріялів за спільної роботи кількох джерел плазми; вивчено структурні та електрофізичні особливості одержаних плівок TiN. Структури плівок досліджено на сканівному тунельному мікроскопі JSPM-4500/4610, зблокованому з атомним силовим мікроскопом. Встановлено, що оптимізований гелікон-дуговий реактор демонструє унікальні властивості і забезпечує кероване низькотемпературне формування щільних упорядкованих наноструктур TiN з розмірами від одиниць до десятків нанометрів. Изучены особенности физических механизмов управляемого ионно-плазменного формирования новых функциональных наноматериалов. Отработаны технологические режимы формирования функциональных наноструктурированных материалов при совместной работе нескольких источников плазмы; изучены структурные и электрофизические особенности полученных плёнок TiN. Структуры плёнок исследованы на сканирующем туннельном микроскопе JSPM-4500/4610, сблокированном с атомным силовым микроскопом. Установлено, что оптимизированный геликонно-дуговой реактор демонстрирует уникальные свойства и обеспечивает управляемое низкотемпературное формирование плотных упорядоченных наноструктур TiN с размерами от единиц до десятков нанометров. en Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor Формування наноструктурованого рельєфу гетероструктур TiN—Fe в гібридному гелікон-дуговому плазмовому реакторі Формирование наноструктурированного рельефа гетероструктур TiN—Fe в гибридном геликон-дуговом плазменном реакторе Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor |
| spellingShingle |
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor Rudenko, E.M. Korotash, I.V. Polotskiy, D.Y. Osipov, L.S. Dyakin, M.V. Prikhna, T.A. Shapovalov, A.P. Металлические поверхности и плёнки |
| title_short |
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor |
| title_full |
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor |
| title_fullStr |
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor |
| title_full_unstemmed |
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor |
| title_sort |
formation of nanostructured relief of tin—fe heterostructures in hybrid helicon-arc plasma reactor |
| author |
Rudenko, E.M. Korotash, I.V. Polotskiy, D.Y. Osipov, L.S. Dyakin, M.V. Prikhna, T.A. Shapovalov, A.P. |
| author_facet |
Rudenko, E.M. Korotash, I.V. Polotskiy, D.Y. Osipov, L.S. Dyakin, M.V. Prikhna, T.A. Shapovalov, A.P. |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| publishDate |
2015 |
| language |
English |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Формування наноструктурованого рельєфу гетероструктур TiN—Fe в гібридному гелікон-дуговому плазмовому реакторі Формирование наноструктурированного рельефа гетероструктур TiN—Fe в гибридном геликон-дуговом плазменном реакторе |
| description |
The features of the physical mechanisms of controlled ion-plasma formation of the new functional nanomaterials are investigated. The technological regimes of formation of functional nanostructured materials under combined impact of several plasma sources are investigated; the structural and electrical properties of the obtained TiN films are studied. The structures of films are studied with scanning tunnelling microscope JSPM-4500/4610 interlocked with an atomic force microscope. As shown, the optimized helicon-arc reactor demonstrates the unique properties and provides controlled low-temperature formation of the dense regular TiN nanostructures with the sizes from a few to tens of nanometres.
Вивчено особливості фізичних механізмів керованого йонно-плазмового формування нових функціональних наноматеріялів. Відпрацьовано технологічні режими формування функціональних наноструктурованих матеріялів за спільної роботи кількох джерел плазми; вивчено структурні та електрофізичні особливості одержаних плівок TiN. Структури плівок досліджено на сканівному тунельному мікроскопі JSPM-4500/4610, зблокованому з атомним силовим мікроскопом. Встановлено, що оптимізований гелікон-дуговий реактор демонструє унікальні властивості і забезпечує кероване низькотемпературне формування щільних упорядкованих наноструктур TiN з розмірами від одиниць до десятків нанометрів.
Изучены особенности физических механизмов управляемого ионно-плазменного формирования новых функциональных наноматериалов. Отработаны технологические режимы формирования функциональных наноструктурированных материалов при совместной работе нескольких источников плазмы; изучены структурные и электрофизические особенности полученных плёнок TiN. Структуры плёнок исследованы на сканирующем туннельном микроскопе JSPM-4500/4610, сблокированном с атомным силовым микроскопом. Установлено, что оптимизированный геликонно-дуговой реактор демонстрирует уникальные свойства и обеспечивает управляемое низкотемпературное формирование плотных упорядоченных наноструктур TiN с размерами от единиц до десятков нанометров.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111893 |
| citation_txt |
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 499-508. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT rudenkoem formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor AT korotashiv formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor AT polotskiydy formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor AT osipovls formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor AT dyakinmv formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor AT prikhnata formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor AT shapovalovap formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor AT rudenkoem formuvannânanostrukturovanogorelʹêfugeterostrukturtinfevgíbridnomugelíkondugovomuplazmovomureaktorí AT korotashiv formuvannânanostrukturovanogorelʹêfugeterostrukturtinfevgíbridnomugelíkondugovomuplazmovomureaktorí AT polotskiydy formuvannânanostrukturovanogorelʹêfugeterostrukturtinfevgíbridnomugelíkondugovomuplazmovomureaktorí AT osipovls formuvannânanostrukturovanogorelʹêfugeterostrukturtinfevgíbridnomugelíkondugovomuplazmovomureaktorí AT dyakinmv formuvannânanostrukturovanogorelʹêfugeterostrukturtinfevgíbridnomugelíkondugovomuplazmovomureaktorí AT prikhnata formuvannânanostrukturovanogorelʹêfugeterostrukturtinfevgíbridnomugelíkondugovomuplazmovomureaktorí AT shapovalovap formuvannânanostrukturovanogorelʹêfugeterostrukturtinfevgíbridnomugelíkondugovomuplazmovomureaktorí AT rudenkoem formirovanienanostrukturirovannogorelʹefageterostrukturtinfevgibridnomgelikondugovomplazmennomreaktore AT korotashiv formirovanienanostrukturirovannogorelʹefageterostrukturtinfevgibridnomgelikondugovomplazmennomreaktore AT polotskiydy formirovanienanostrukturirovannogorelʹefageterostrukturtinfevgibridnomgelikondugovomplazmennomreaktore AT osipovls formirovanienanostrukturirovannogorelʹefageterostrukturtinfevgibridnomgelikondugovomplazmennomreaktore AT dyakinmv formirovanienanostrukturirovannogorelʹefageterostrukturtinfevgibridnomgelikondugovomplazmennomreaktore AT prikhnata formirovanienanostrukturirovannogorelʹefageterostrukturtinfevgibridnomgelikondugovomplazmennomreaktore AT shapovalovap formirovanienanostrukturirovannogorelʹefageterostrukturtinfevgibridnomgelikondugovomplazmennomreaktore |
| first_indexed |
2025-11-30T10:06:24Z |
| last_indexed |
2025-11-30T10:06:24Z |
| _version_ |
1850857341086334976 |