Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode

Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixtu...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2015
Hauptverfasser: Bazhenov, V.Yu., Lavrookevich, Yu.V., Piun, V.M., Ryabtsev, A.V., Tsiolko, V.V.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112136
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode / V.Yu. Bazhenov, Yu.V. Lavrookevich, V.M. Piun, A.V. Ryabtsev, V.V. Tsiolko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 172-176. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112136
record_format dspace
spelling Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
2017-01-17T17:55:40Z
2017-01-17T17:55:40Z
2015
Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode / V.Yu. Bazhenov, Yu.V. Lavrookevich, V.M. Piun, A.V. Ryabtsev, V.V. Tsiolko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 172-176. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.-s, 52.25.Ya
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112136
Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixture exhibits non-monotonous behavior with a minimum at Ar/(Ar+O₂) ≈ 50%. Results of calculation and experiment are in a good agreement.
Експериментально та теоретично встановлено вплив вмісту аргону в суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації O₂ та концентрацію атомарного кисню в плазмі жевріючого розряду низького тиску з порожнистим катодом. Встановлено, що залежність концентрації атомарного кисню від вмісту аргону в суміші має немонотонний характер з мінімумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результати розрахунку та експерименту достатньо гарно узгоджуються.
Экспериментально и теоретически установлено влияние содержания аргона в смеси Ar/O₂ на степень диссоциации O₂ и концентрацию атомарного кислорода в плазме тлеющего разряда низкого давления с полым катодом. Установлено, что зависимость концентрации атомарного кислорода от содержания аргона в смеси носит немонотонный характер с минимумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результаты расчета и эксперимента находятся в хорошем согласии.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
Вплив компонентного складу суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації кисню в плазмі розряду низького тиску з порожнистим катодом
Влияние компонентного состава смеси Ar/O₂ на степень диссоциации кислорода в плазме разряда низкого давления с полым катодом
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
spellingShingle Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
title_short Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_full Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_fullStr Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_full_unstemmed Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_sort influence of component content of ar/o₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
author Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
author_facet Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
topic Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
topic_facet Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
publishDate 2015
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Вплив компонентного складу суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації кисню в плазмі розряду низького тиску з порожнистим катодом
Влияние компонентного состава смеси Ar/O₂ на степень диссоциации кислорода в плазме разряда низкого давления с полым катодом
description Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixture exhibits non-monotonous behavior with a minimum at Ar/(Ar+O₂) ≈ 50%. Results of calculation and experiment are in a good agreement. Експериментально та теоретично встановлено вплив вмісту аргону в суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації O₂ та концентрацію атомарного кисню в плазмі жевріючого розряду низького тиску з порожнистим катодом. Встановлено, що залежність концентрації атомарного кисню від вмісту аргону в суміші має немонотонний характер з мінімумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результати розрахунку та експерименту достатньо гарно узгоджуються. Экспериментально и теоретически установлено влияние содержания аргона в смеси Ar/O₂ на степень диссоциации O₂ и концентрацию атомарного кислорода в плазме тлеющего разряда низкого давления с полым катодом. Установлено, что зависимость концентрации атомарного кислорода от содержания аргона в смеси носит немонотонный характер с минимумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результаты расчета и эксперимента находятся в хорошем согласии.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112136
citation_txt Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode / V.Yu. Bazhenov, Yu.V. Lavrookevich, V.M. Piun, A.V. Ryabtsev, V.V. Tsiolko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 172-176. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT bazhenovvyu influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT lavrookevichyuv influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT piunvm influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT ryabtsevav influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT tsiolkovv influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT bazhenovvyu vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT lavrookevichyuv vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT piunvm vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT ryabtsevav vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT tsiolkovv vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT bazhenovvyu vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT lavrookevichyuv vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT piunvm vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT ryabtsevav vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT tsiolkovv vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
first_indexed 2025-12-07T16:11:35Z
last_indexed 2025-12-07T16:11:35Z
_version_ 1850866554341687296