Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode

Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixtu...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2015
Автори: Bazhenov, V.Yu., Lavrookevich, Yu.V., Piun, V.M., Ryabtsev, A.V., Tsiolko, V.V.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112136
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode / V.Yu. Bazhenov, Yu.V. Lavrookevich, V.M. Piun, A.V. Ryabtsev, V.V. Tsiolko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 172-176. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862689343740575744
author Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
author_facet Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
citation_txt Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode / V.Yu. Bazhenov, Yu.V. Lavrookevich, V.M. Piun, A.V. Ryabtsev, V.V. Tsiolko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 172-176. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixture exhibits non-monotonous behavior with a minimum at Ar/(Ar+O₂) ≈ 50%. Results of calculation and experiment are in a good agreement. Експериментально та теоретично встановлено вплив вмісту аргону в суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації O₂ та концентрацію атомарного кисню в плазмі жевріючого розряду низького тиску з порожнистим катодом. Встановлено, що залежність концентрації атомарного кисню від вмісту аргону в суміші має немонотонний характер з мінімумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результати розрахунку та експерименту достатньо гарно узгоджуються. Экспериментально и теоретически установлено влияние содержания аргона в смеси Ar/O₂ на степень диссоциации O₂ и концентрацию атомарного кислорода в плазме тлеющего разряда низкого давления с полым катодом. Установлено, что зависимость концентрации атомарного кислорода от содержания аргона в смеси носит немонотонный характер с минимумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результаты расчета и эксперимента находятся в хорошем согласии.
first_indexed 2025-12-07T16:11:35Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112136
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-12-07T16:11:35Z
publishDate 2015
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
2017-01-17T17:55:40Z
2017-01-17T17:55:40Z
2015
Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode / V.Yu. Bazhenov, Yu.V. Lavrookevich, V.M. Piun, A.V. Ryabtsev, V.V. Tsiolko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 172-176. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.-s, 52.25.Ya
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112136
Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixture exhibits non-monotonous behavior with a minimum at Ar/(Ar+O₂) ≈ 50%. Results of calculation and experiment are in a good agreement.
Експериментально та теоретично встановлено вплив вмісту аргону в суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації O₂ та концентрацію атомарного кисню в плазмі жевріючого розряду низького тиску з порожнистим катодом. Встановлено, що залежність концентрації атомарного кисню від вмісту аргону в суміші має немонотонний характер з мінімумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результати розрахунку та експерименту достатньо гарно узгоджуються.
Экспериментально и теоретически установлено влияние содержания аргона в смеси Ar/O₂ на степень диссоциации O₂ и концентрацию атомарного кислорода в плазме тлеющего разряда низкого давления с полым катодом. Установлено, что зависимость концентрации атомарного кислорода от содержания аргона в смеси носит немонотонный характер с минимумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результаты расчета и эксперимента находятся в хорошем согласии.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
Вплив компонентного складу суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації кисню в плазмі розряду низького тиску з порожнистим катодом
Влияние компонентного состава смеси Ar/O₂ на степень диссоциации кислорода в плазме разряда низкого давления с полым катодом
Article
published earlier
spellingShingle Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
Bazhenov, V.Yu.
Lavrookevich, Yu.V.
Piun, V.M.
Ryabtsev, A.V.
Tsiolko, V.V.
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
title Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_alt Вплив компонентного складу суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації кисню в плазмі розряду низького тиску з порожнистим катодом
Влияние компонентного состава смеси Ar/O₂ на степень диссоциации кислорода в плазме разряда низкого давления с полым катодом
title_full Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_fullStr Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_full_unstemmed Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_short Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
title_sort influence of component content of ar/o₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
topic Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
topic_facet Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112136
work_keys_str_mv AT bazhenovvyu influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT lavrookevichyuv influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT piunvm influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT ryabtsevav influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT tsiolkovv influenceofcomponentcontentofaro2mixtureonoxygendissociationdegreeinplasmaoflowpressuredischargewithhollowcathode
AT bazhenovvyu vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT lavrookevichyuv vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT piunvm vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT ryabtsevav vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT tsiolkovv vplivkomponentnogoskladusumíšíaro2nastupínʹdisocíacííkisnûvplazmírozrâdunizʹkogotiskuzporožnistimkatodom
AT bazhenovvyu vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT lavrookevichyuv vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT piunvm vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT ryabtsevav vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom
AT tsiolkovv vliâniekomponentnogosostavasmesiaro2nastepenʹdissociaciikislorodavplazmerazrâdanizkogodavleniâspolymkatodom