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Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode

Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixtu...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2015
Hauptverfasser:	Bazhenov, V.Yu., Lavrookevich, Yu.V., Piun, V.M., Ryabtsev, A.V., Tsiolko, V.V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Schlagworte:	Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112136
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode / V.Yu. Bazhenov, Yu.V. Lavrookevich, V.M. Piun, A.V. Ryabtsev, V.V. Tsiolko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 172-176. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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