Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam

Tungsten samples were irradiated by hydrogen ion beam with high heat (0.1…1.05 MW·m⁻²) and particle [(0.13…1.3)×10²² m⁻²s⁻1] flux generated by FALCON ion source. The sputtering yield has remained nearly constant in the given flux range. Scanning electron microscope (SEM) studies of the irradiated su...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2013
Main Author: Bizyukov, I.A.
Format: Article
Language:English
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112148
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam / I.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 304-307. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112148
record_format dspace
spelling Bizyukov, I.A.
2017-01-17T19:00:56Z
2017-01-17T19:00:56Z
2013
Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam / I.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 304-307. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 79.20 Rf
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112148
Tungsten samples were irradiated by hydrogen ion beam with high heat (0.1…1.05 MW·m⁻²) and particle [(0.13…1.3)×10²² m⁻²s⁻1] flux generated by FALCON ion source. The sputtering yield has remained nearly constant in the given flux range. Scanning electron microscope (SEM) studies of the irradiated surface have indicated that the only influence of the ion beam in the fluence range up to 2.6×10²⁶ m⁻² is the increase of roughness.
Зразки вольфраму опромінювалися пучком іонів водню з високою щільністю частинок [(0.13…1.3)×1022 м⁻²с⁻¹] і потужністю (0.1…1.05 МВт·м⁻²), який генерувався іонним джерелом FALCON. Коефіцієнт розпилення залишався приблизно постійним в заданому діапазоні щільності іонних потоків. Вивчення поверхні з допомогою РЕМ показало, що вплив пучка на поверхню призводить лише до збільшення шорсткості в діапазоні флюенсів <2.6×10²⁶ м⁻².
Образцы вольфрама облучались пучком ионов водорода с высокой плотностью частиц [(0.13…1.3)×10²² м⁻²с⁻1] и мощностью (0.1…1.05 МВт·м⁻²), который генерировался ионным источником FALCON. Коэффициент распыления оставался приблизительно постоянным в заданном диапазоне плотности ионных потоков. Изучение поверхности с помощью РЭМ показало, что воздействие пучка на поверхность приводит только лишь к увеличению шероховатости в диапазоне флюенсов < 2.6×10²⁶ м⁻².
Author acknowledges T. Schwarz-Selinger, M. Balden from Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Association, Garching, Germany, for collaborating in surface diagnostics.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Приложения и технологии
Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
Розпилювання вольфраму під тривалим впливом пучка іонів водню з високою щільністю
Распыление вольфрама под длительным воздействием пучка ионов водорода с высокой плотностью
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
spellingShingle Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
Bizyukov, I.A.
Приложения и технологии
title_short Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
title_full Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
title_fullStr Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
title_full_unstemmed Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
title_sort sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
author Bizyukov, I.A.
author_facet Bizyukov, I.A.
topic Приложения и технологии
topic_facet Приложения и технологии
publishDate 2013
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Розпилювання вольфраму під тривалим впливом пучка іонів водню з високою щільністю
Распыление вольфрама под длительным воздействием пучка ионов водорода с высокой плотностью
description Tungsten samples were irradiated by hydrogen ion beam with high heat (0.1…1.05 MW·m⁻²) and particle [(0.13…1.3)×10²² m⁻²s⁻1] flux generated by FALCON ion source. The sputtering yield has remained nearly constant in the given flux range. Scanning electron microscope (SEM) studies of the irradiated surface have indicated that the only influence of the ion beam in the fluence range up to 2.6×10²⁶ m⁻² is the increase of roughness. Зразки вольфраму опромінювалися пучком іонів водню з високою щільністю частинок [(0.13…1.3)×1022 м⁻²с⁻¹] і потужністю (0.1…1.05 МВт·м⁻²), який генерувався іонним джерелом FALCON. Коефіцієнт розпилення залишався приблизно постійним в заданому діапазоні щільності іонних потоків. Вивчення поверхні з допомогою РЕМ показало, що вплив пучка на поверхню призводить лише до збільшення шорсткості в діапазоні флюенсів <2.6×10²⁶ м⁻². Образцы вольфрама облучались пучком ионов водорода с высокой плотностью частиц [(0.13…1.3)×10²² м⁻²с⁻1] и мощностью (0.1…1.05 МВт·м⁻²), который генерировался ионным источником FALCON. Коэффициент распыления оставался приблизительно постоянным в заданном диапазоне плотности ионных потоков. Изучение поверхности с помощью РЭМ показало, что воздействие пучка на поверхность приводит только лишь к увеличению шероховатости в диапазоне флюенсов < 2.6×10²⁶ м⁻².
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112148
citation_txt Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam / I.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 304-307. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT bizyukovia sputteringoftungstenexposedtohighfluxandhighfluencehydrogenionbeam
AT bizyukovia rozpilûvannâvolʹframupídtrivalimvplivompučkaíonívvodnûzvisokoûŝílʹnístû
AT bizyukovia raspylenievolʹframapoddlitelʹnymvozdeistviempučkaionovvodorodasvysokoiplotnostʹû
first_indexed 2025-12-07T19:34:54Z
last_indexed 2025-12-07T19:34:54Z
_version_ 1850879345042653184