Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms

The paper describes the peculiarities of deposition nano-sized titanium dioxide coatings in the cylindrical inverted gas magnetron. It is shown the influence of the main parameters magnetron sputtering, like as working gas pressure and temperature of substrate, on film grain size, porosity and optic...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2013
Автори: Dobrovolskiy, A.M., Goncharov, A.A., Kostin, E.G., Frolova, E.K.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112173
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms / A.M. Dobrovolskiy, A.A. Goncharov, E.G. Kostin, E.K. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 311-314. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862612078747975680
author Dobrovolskiy, A.M.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
Frolova, E.K.
author_facet Dobrovolskiy, A.M.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
Frolova, E.K.
citation_txt Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms / A.M. Dobrovolskiy, A.A. Goncharov, E.G. Kostin, E.K. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 311-314. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description The paper describes the peculiarities of deposition nano-sized titanium dioxide coatings in the cylindrical inverted gas magnetron. It is shown the influence of the main parameters magnetron sputtering, like as working gas pressure and temperature of substrate, on film grain size, porosity and optical properties of deposited TiO₂ nanofilms. The investigations were carried out with films up to 200 nm of thickness. Представлено дані про особливості одержання наноплівок двоокису титану в циліндричному газовому магнетроні. Показано вплив основних параметрів розряду, таких як тиск плазмоутворюючого газу та температура підкладки на структуру, морфологію та оптичні властивості одержуваних покриттів на прикладі стехіометричних плівок ТiO₂ . Представлены данные об особенностях получения нанопленок диоксида титана в цилиндрическом газовом магнетроне. Показано влияние основных параметров разряда, таких как давление плазмообразующего газа и температура подложки на структуру, морфологию и оптические свойства получаемых покрытий на примере стехиометрического ТiO₂.
first_indexed 2025-11-29T03:26:50Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112173
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-11-29T03:26:50Z
publishDate 2013
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Dobrovolskiy, A.M.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
Frolova, E.K.
2017-01-17T19:59:45Z
2017-01-17T19:59:45Z
2013
Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms / A.M. Dobrovolskiy, A.A. Goncharov, E.G. Kostin, E.K. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 311-314. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 81.15.-z, 52.77.Dq; 81.10.Pq, 68.55.-a
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112173
The paper describes the peculiarities of deposition nano-sized titanium dioxide coatings in the cylindrical inverted gas magnetron. It is shown the influence of the main parameters magnetron sputtering, like as working gas pressure and temperature of substrate, on film grain size, porosity and optical properties of deposited TiO₂ nanofilms. The investigations were carried out with films up to 200 nm of thickness.
Представлено дані про особливості одержання наноплівок двоокису титану в циліндричному газовому магнетроні. Показано вплив основних параметрів розряду, таких як тиск плазмоутворюючого газу та температура підкладки на структуру, морфологію та оптичні властивості одержуваних покриттів на прикладі стехіометричних плівок ТiO₂ .
Представлены данные об особенностях получения нанопленок диоксида титана в цилиндрическом газовом магнетроне. Показано влияние основных параметров разряда, таких как давление плазмообразующего газа и температура подложки на структуру, морфологию и оптические свойства получаемых покрытий на примере стехиометрического ТiO₂.
This work was supported in part by project № 86/13-H.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Приложения и технологии
Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
Осадження структурованих наноплівок TiO₂ у газовому магнетроні
Осаждение структурированных нанопленок TiO₂ в газовом магнетроне
Article
published earlier
spellingShingle Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
Dobrovolskiy, A.M.
Goncharov, A.A.
Kostin, E.G.
Frolova, E.K.
Приложения и технологии
title Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
title_alt Осадження структурованих наноплівок TiO₂ у газовому магнетроні
Осаждение структурированных нанопленок TiO₂ в газовом магнетроне
title_full Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
title_fullStr Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
title_full_unstemmed Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
title_short Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
title_sort gas magnetron deposition of structured tio₂ nanofilms
topic Приложения и технологии
topic_facet Приложения и технологии
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112173
work_keys_str_mv AT dobrovolskiyam gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms
AT goncharovaa gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms
AT kostineg gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms
AT frolovaek gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms
AT dobrovolskiyam osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní
AT goncharovaa osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní
AT kostineg osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní
AT frolovaek osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní
AT dobrovolskiyam osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone
AT goncharovaa osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone
AT kostineg osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone
AT frolovaek osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone