Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
The paper describes the peculiarities of deposition nano-sized titanium dioxide coatings in the cylindrical inverted gas magnetron. It is shown the influence of the main parameters magnetron sputtering, like as working gas pressure and temperature of substrate, on film grain size, porosity and optic...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112173 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms / A.M. Dobrovolskiy, A.A. Goncharov, E.G. Kostin, E.K. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 311-314. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862612078747975680 |
|---|---|
| author | Dobrovolskiy, A.M. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. Frolova, E.K. |
| author_facet | Dobrovolskiy, A.M. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. Frolova, E.K. |
| citation_txt | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms / A.M. Dobrovolskiy, A.A. Goncharov, E.G. Kostin, E.K. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 311-314. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The paper describes the peculiarities of deposition nano-sized titanium dioxide coatings in the cylindrical inverted gas magnetron. It is shown the influence of the main parameters magnetron sputtering, like as working gas pressure and temperature of substrate, on film grain size, porosity and optical properties of deposited TiO₂ nanofilms. The investigations were carried out with films up to 200 nm of thickness.
Представлено дані про особливості одержання наноплівок двоокису титану в циліндричному газовому магнетроні. Показано вплив основних параметрів розряду, таких як тиск плазмоутворюючого газу та температура підкладки на структуру, морфологію та оптичні властивості одержуваних покриттів на прикладі стехіометричних плівок ТiO₂ .
Представлены данные об особенностях получения нанопленок диоксида титана в цилиндрическом газовом магнетроне. Показано влияние основных параметров разряда, таких как давление плазмообразующего газа и температура подложки на структуру, морфологию и оптические свойства получаемых покрытий на примере стехиометрического ТiO₂.
|
| first_indexed | 2025-11-29T03:26:50Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112173 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-29T03:26:50Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Dobrovolskiy, A.M. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. Frolova, E.K. 2017-01-17T19:59:45Z 2017-01-17T19:59:45Z 2013 Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms / A.M. Dobrovolskiy, A.A. Goncharov, E.G. Kostin, E.K. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 311-314. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 81.15.-z, 52.77.Dq; 81.10.Pq, 68.55.-a https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112173 The paper describes the peculiarities of deposition nano-sized titanium dioxide coatings in the cylindrical inverted gas magnetron. It is shown the influence of the main parameters magnetron sputtering, like as working gas pressure and temperature of substrate, on film grain size, porosity and optical properties of deposited TiO₂ nanofilms. The investigations were carried out with films up to 200 nm of thickness. Представлено дані про особливості одержання наноплівок двоокису титану в циліндричному газовому магнетроні. Показано вплив основних параметрів розряду, таких як тиск плазмоутворюючого газу та температура підкладки на структуру, морфологію та оптичні властивості одержуваних покриттів на прикладі стехіометричних плівок ТiO₂ . Представлены данные об особенностях получения нанопленок диоксида титана в цилиндрическом газовом магнетроне. Показано влияние основных параметров разряда, таких как давление плазмообразующего газа и температура подложки на структуру, морфологию и оптические свойства получаемых покрытий на примере стехиометрического ТiO₂. This work was supported in part by project № 86/13-H. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Приложения и технологии Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms Осадження структурованих наноплівок TiO₂ у газовому магнетроні Осаждение структурированных нанопленок TiO₂ в газовом магнетроне Article published earlier |
| spellingShingle | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms Dobrovolskiy, A.M. Goncharov, A.A. Kostin, E.G. Frolova, E.K. Приложения и технологии |
| title | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms |
| title_alt | Осадження структурованих наноплівок TiO₂ у газовому магнетроні Осаждение структурированных нанопленок TiO₂ в газовом магнетроне |
| title_full | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms |
| title_fullStr | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms |
| title_full_unstemmed | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms |
| title_short | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms |
| title_sort | gas magnetron deposition of structured tio₂ nanofilms |
| topic | Приложения и технологии |
| topic_facet | Приложения и технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112173 |
| work_keys_str_mv | AT dobrovolskiyam gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms AT goncharovaa gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms AT kostineg gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms AT frolovaek gasmagnetrondepositionofstructuredtio2nanofilms AT dobrovolskiyam osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní AT goncharovaa osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní AT kostineg osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní AT frolovaek osadžennâstrukturovanihnanoplívoktio2ugazovomumagnetroní AT dobrovolskiyam osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone AT goncharovaa osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone AT kostineg osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone AT frolovaek osaždeniestrukturirovannyhnanoplenoktio2vgazovommagnetrone |