Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
The paper describes the peculiarities of deposition nano-sized titanium dioxide coatings in the cylindrical inverted gas magnetron. It is shown the influence of the main parameters magnetron sputtering, like as working gas pressure and temperature of substrate, on film grain size, porosity and optic...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112173 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms / A.M. Dobrovolskiy, A.A. Goncharov, E.G. Kostin, E.K. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 311-314. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)
Structure and Photocatalytic Properties of Titania Nanofilms Deposited by Reactive Magnetron Sputtering
за авторством: A. A. Goncharov, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: A. A. Goncharov, та інші
Опубліковано: (2014)
Dependence of magnetron characteristics on the secondary-emission yield of cold cathode
за авторством: Avtomonov, N.I., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Avtomonov, N.I., та інші
Опубліковано: (2006)
Development of negative ion source with combined discharge
за авторством: Goretskii, V.P., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Goretskii, V.P., та інші
Опубліковано: (2015)
The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition
за авторством: Demchishin, A.V., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Demchishin, A.V., та інші
Опубліковано: (2008)
The formation of cupper transition nano-layer in polytetrafluoroethylene surface by means of ion beam assisting deposition
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Рeculiarities of interaction of low-energy protons with tungsten surface
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Plasma treatment of titanium dioxide film for black TiO₂
за авторством: Frolova, E.K., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Frolova, E.K., та інші
Опубліковано: (2023)
Effect of generation of multiple-frequency RF power in the O-type tube
за авторством: Dovbnya, A.N., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Dovbnya, A.N., та інші
Опубліковано: (2008)
Pulse electrothermal plasma accelerators and its application in the technologies
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2015)
Ozone treatment of hydrazine-containing water solution
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)
Dynamics of macroparticles in a magnetic filter for a vacuum arc plasma sources
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Matching of beam phase density distribution with ion-optic characteristics of a probe-forming system in nuclear microprobe
за авторством: Ponomarov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ponomarov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Ion microbeam formation for study of radiationinduced segregation at grain boundaries in construction materials
за авторством: Romanenko, A.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Romanenko, A.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Observation of parametric X-ray radiation excited by 50 GeV protons and identification of background radiation origin
за авторством: Afonin, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Afonin, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
Develoment of ozone-dynamic technology for processing of used tyres
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Formation mechanism of the metallic nanostructures using pulsed axial electrothermal plasma accelerator
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2013)
Forward and backward electron emission in binary cell of radioisotope current source
за авторством: Kononenko, S.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kononenko, S.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Works in the NSC KIPT on the creation and application of the CPA laser system
за авторством: Vasiliev, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Vasiliev, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Slow and fast surface electromagnetic waves in planar structures contained left-handed material
за авторством: Galaydych, V.K., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Galaydych, V.K., та інші
Опубліковано: (2015)
Pulse electrothermal plasma accelerators and its application in scientific researches
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2015)
A conceptual design of a MeV-energy ion microprobe with an immersion probe-forming system
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2003)
Aluminum surface coating of copper using highcurrent electron beam
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2015)
Acoustic fields generation by plasmoids in the wellbores
за авторством: Fedun, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Fedun, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)
Some questions of SNF reprocessing at the stages of ionization and magnetoplasma separation in crossed fields
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2015)
Investigation of copper samples with ion-plasma treatment on the high voltage breakdowns
за авторством: Baturin, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Baturin, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
за авторством: Bizyukov, I.A.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bizyukov, I.A.
Опубліковано: (2013)
Experimental study of secondary emission radioisotope current source prototype
за авторством: Kononenko, S.I., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kononenko, S.I., та інші
Опубліковано: (2008)
Impact of energy spread of electron beam on absorbed dose distribution
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2013)
Dispersion of the surface magnetoplasmons
за авторством: Ivko, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ivko, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Pig with metal-hydride cathode under ion-stimulated desorbtion of hydrogen
за авторством: Agarkov, A.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Agarkov, A.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Electromagnetic filter for H⁻ separation from pig with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
Radiation-induced defect's clustering and self-organization during surface modification
за авторством: Bondareva, A.L., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Bondareva, A.L., та інші
Опубліковано: (2006)
Permissible technological limitations of quadrupole lenses used in parameter multiplets for ion microprobe forming
за авторством: Melnik, K.I., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Melnik, K.I., та інші
Опубліковано: (2003)
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Plasma parameters in pig with metal-hydride cathode under different ways of hydrogen supply
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2015)
Power of ADS with low-energy accelerator and fissionable target
за авторством: Golovkina, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Golovkina, A.G., та інші
Опубліковано: (2013)
Stand for RF gap breakdown strength study in magnetic field
за авторством: Demchenko, P.A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Demchenko, P.A., та інші
Опубліковано: (2013)