Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2013
• Автори: Bazhenov, V.Yu., Tsiolko, V.V., Piun, V.M., Chaplinskiy, R.Yu., Kuzmichev, A.I.
• Формат: Стаття
• Мова: Англійська
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
• Теми: Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112185
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Peculiarities of glow modes of argon atmospheric
 pressure radio-frequency capacitive discharge
 with isolated electrodes / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 171-175. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.

Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap. Експериментально встановлено характеристики горіння ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабострумовому (α) та сильнострумовому (γ) режимах. Показано, що перехід з режиму α в режим γ відбувається через фазу одночасного існування двох режимів в різних частинах розрядного проміжку. Экспериментально установлены характеристики горения емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в слаботочном (α) и сильноточном (γ) режимах. Показано, что переход из режима α в режим γ происходит через фазу одновременного существования двух режимов в разных частях разрядного промежутка.