Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112185 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric
 pressure radio-frequency capacitive discharge
 with isolated electrodes / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 171-175. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862531825215209472 |
|---|---|
| author | Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. |
| author_facet | Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. |
| citation_txt | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric
 pressure radio-frequency capacitive discharge
 with isolated electrodes / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 171-175. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap.
Експериментально встановлено характеристики горіння ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабострумовому (α) та сильнострумовому (γ) режимах. Показано, що перехід з режиму α в режим γ відбувається через фазу одночасного існування двох режимів в різних частинах розрядного проміжку.
Экспериментально установлены характеристики горения емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в слаботочном (α) и сильноточном (γ) режимах. Показано, что переход из режима α в режим γ происходит через фазу одновременного существования двух режимов в разных частях разрядного промежутка.
|
| first_indexed | 2025-11-24T04:14:19Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112185 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-24T04:14:19Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. 2017-01-17T20:17:34Z 2017-01-17T20:17:34Z 2013 Peculiarities of glow modes of argon atmospheric
 pressure radio-frequency capacitive discharge
 with isolated electrodes / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 171-175. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Pi, 61.30.Hn, 81.65.-b https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112185 Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap. Експериментально встановлено характеристики горіння ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабострумовому (α) та сильнострумовому (γ) режимах. Показано, що перехід з режиму α в режим γ відбувається через фазу одночасного існування двох режимів в різних частинах розрядного проміжку. Экспериментально установлены характеристики горения емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в слаботочном (α) и сильноточном (γ) режимах. Показано, что переход из режима α в режим γ происходит через фазу одновременного существования двух режимов в разных частях разрядного промежутка. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes Особливості режимів горіння ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску Особенности режимов горения емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления Article published earlier |
| spellingShingle | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| title | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_alt | Особливості режимів горіння ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску Особенности режимов горения емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления |
| title_full | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_fullStr | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_full_unstemmed | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_short | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_sort | peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| topic | Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| topic_facet | Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112185 |
| work_keys_str_mv | AT bazhenovvyu peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT tsiolkovv peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT piunvm peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT chaplinskiyryu peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT kuzmichevai peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT bazhenovvyu osoblivostírežimívgorínnâêmnísnogovisokočastotnogorozrâduzízolʹovanimielektrodamivargoníatmosfernogotisku AT tsiolkovv osoblivostírežimívgorínnâêmnísnogovisokočastotnogorozrâduzízolʹovanimielektrodamivargoníatmosfernogotisku AT piunvm osoblivostírežimívgorínnâêmnísnogovisokočastotnogorozrâduzízolʹovanimielektrodamivargoníatmosfernogotisku AT chaplinskiyryu osoblivostírežimívgorínnâêmnísnogovisokočastotnogorozrâduzízolʹovanimielektrodamivargoníatmosfernogotisku AT kuzmichevai osoblivostírežimívgorínnâêmnísnogovisokočastotnogorozrâduzízolʹovanimielektrodamivargoníatmosfernogotisku AT bazhenovvyu osobennostirežimovgoreniâemkostnogovysokočastotnogorazrâdasizolirovannymiélektrodamivargoneatmosfernogodavleniâ AT tsiolkovv osobennostirežimovgoreniâemkostnogovysokočastotnogorazrâdasizolirovannymiélektrodamivargoneatmosfernogodavleniâ AT piunvm osobennostirežimovgoreniâemkostnogovysokočastotnogorazrâdasizolirovannymiélektrodamivargoneatmosfernogodavleniâ AT chaplinskiyryu osobennostirežimovgoreniâemkostnogovysokočastotnogorazrâdasizolirovannymiélektrodamivargoneatmosfernogodavleniâ AT kuzmichevai osobennostirežimovgoreniâemkostnogovysokočastotnogorazrâdasizolirovannymiélektrodamivargoneatmosfernogodavleniâ |