Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes - Bazhenov, V.Yu.; Tsiolko, V.V.; Piun, V.M.; Chaplinskiy, R.Yu.; Kuzmichev, A.I. (Вопросы атомной науки и техники, 2013)
Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap. Експериментально встановлено характеристики горіння ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабострумовому (α) та сильнострумовому (γ) режимах. Показано, що перехід з режиму α в режим γ відбувається через фазу одночасного існування двох режимів в різних частинах розрядного проміжку. Экспериментально установлены характеристики горения емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в слаботочном (α) и сильноточном (γ) режимах. Показано, что переход из режима α в режим γ происходит через фазу одновременного существования двух режимов в разных частях разрядного промежутка.