Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU
The principles of a proton beam writing facility were described. Particular attention was paid to the problem of probe-forming system design. It was shown that using of separate systems and parts of the scanning nuclear microprobe is the most effective solution. Various probe-forming system configur...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112234 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU / O.S. Lapin, A.G. Ponomarev // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 57-61. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862551631728476160 |
|---|---|
| author | Lapin, O.S. Ponomarev, A.G. |
| author_facet | Lapin, O.S. Ponomarev, A.G. |
| citation_txt | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU / O.S. Lapin, A.G. Ponomarev // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 57-61. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The principles of a proton beam writing facility were described. Particular attention was paid to the problem of probe-forming system design. It was shown that using of separate systems and parts of the scanning nuclear microprobe is the most effective solution. Various probe-forming system configurations for proton beam writing facility have been investigated. The optimization problem of proton beam formation was solved. On the base of this solution the probe-forming system which has best corresponded to requirements for the lithographic process has been found.
Наданo опис принципів побудови каналу протонно-променевої літографії. Особливу увагу приділено завданню щодо створення зондоформуючої системи. Показано, що найбільш ефективним є рішення з використання окремих систем і пристроїв каналу ядерного скануючого мікрозонда. Розглянуто різні конфігурації зондоформуючої системи каналу протонно-променевої літографії. На підставі рішення оптимізаційної задачі з формування пучка протонів знайдена зондоформуюча система, яка найкраще відповідає вимогам для проведення літографічного процесу.
Дано описание принципов построения канала протонно-лучевой литографии. Особое внимание уделено задаче по созданию зондоформирующей системы. Показано, что наиболее эффективным решением является использование отдельных систем и устройств канала ядерного сканирующего микрозонда. Рассмотрены различные конфигурации зондоформирующей системы канала протонно-лучевой литографии. На основании решения оптимизационной задачи по формированию пучка протонов найдена зондоформирующая система, которая наилучшим образом отвечает требованиям для проведения литографического процесса.
|
| first_indexed | 2025-11-25T20:53:33Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112234 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-25T20:53:33Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Lapin, O.S. Ponomarev, A.G. 2017-01-18T19:56:34Z 2017-01-18T19:56:34Z 2015 Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU / O.S. Lapin, A.G. Ponomarev // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 57-61. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 41.85.P; 13 41.85.Gy; 14 41.85.Lc; 15 41.85.Si https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112234 The principles of a proton beam writing facility were described. Particular attention was paid to the problem of probe-forming system design. It was shown that using of separate systems and parts of the scanning nuclear microprobe is the most effective solution. Various probe-forming system configurations for proton beam writing facility have been investigated. The optimization problem of proton beam formation was solved. On the base of this solution the probe-forming system which has best corresponded to requirements for the lithographic process has been found. Наданo опис принципів побудови каналу протонно-променевої літографії. Особливу увагу приділено завданню щодо створення зондоформуючої системи. Показано, що найбільш ефективним є рішення з використання окремих систем і пристроїв каналу ядерного скануючого мікрозонда. Розглянуто різні конфігурації зондоформуючої системи каналу протонно-променевої літографії. На підставі рішення оптимізаційної задачі з формування пучка протонів знайдена зондоформуюча система, яка найкраще відповідає вимогам для проведення літографічного процесу. Дано описание принципов построения канала протонно-лучевой литографии. Особое внимание уделено задаче по созданию зондоформирующей системы. Показано, что наиболее эффективным решением является использование отдельных систем и устройств канала ядерного сканирующего микрозонда. Рассмотрены различные конфигурации зондоформирующей системы канала протонно-лучевой литографии. На основании решения оптимизационной задачи по формированию пучка протонов найдена зондоформирующая система, которая наилучшим образом отвечает требованиям для проведения литографического процесса. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Нерелятивистская электроника Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU Формування пучка в каналі протонно-променевої літографії ІПФ НАНУ Формирование пучка в канале протонно-лучевой литографии ИПФ НАНУ Article published earlier |
| spellingShingle | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU Lapin, O.S. Ponomarev, A.G. Нерелятивистская электроника |
| title | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU |
| title_alt | Формування пучка в каналі протонно-променевої літографії ІПФ НАНУ Формирование пучка в канале протонно-лучевой литографии ИПФ НАНУ |
| title_full | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU |
| title_fullStr | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU |
| title_full_unstemmed | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU |
| title_short | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU |
| title_sort | probe formation in proton beam writing facility at iap nasu |
| topic | Нерелятивистская электроника |
| topic_facet | Нерелятивистская электроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112234 |
| work_keys_str_mv | AT lapinos probeformationinprotonbeamwritingfacilityatiapnasu AT ponomarevag probeformationinprotonbeamwritingfacilityatiapnasu AT lapinos formuvannâpučkavkanalíprotonnopromenevoílítografííípfnanu AT ponomarevag formuvannâpučkavkanalíprotonnopromenevoílítografííípfnanu AT lapinos formirovaniepučkavkanaleprotonnolučevoilitografiiipfnanu AT ponomarevag formirovaniepučkavkanaleprotonnolučevoilitografiiipfnanu |