Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла

Методою високороздільчої тунельної мікроскопії досліджено наноутворення срібла на поверхні Si(111), яких одержано за допомогою термічного осадження у вакуумі. Встановлено, що срібло на поверхні кремнію може утворювати наноструктури, які складаються з атомарних площин. Металеві наноутворення можуть м...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2015
Main Authors:	Касіяненко, В.Х., Артемюк, В.А., Карбівський, В.Л., Когут, М.Г., Карбівська, Л.І., Бородянський, Є.А.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Series:	Металлофизика и новейшие технологии
Subjects:	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112256
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла / В. Х. Касіяненко, В. А. Артемюк, В. Л. Карбівський, М. Г. Когут, Л. І. Карбівська, Є. А. Бородянський // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 6. — С. 763-773. — Бібліогр.: 18 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112256
record_format	dspace
spelling	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1122562025-02-09T16:38:39Z Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла Получение и физические свойства моно- и многослойных наноструктур серебра Fabrication and Physical Properties of Mono- and Multilayer Silver Nanostructures Касіяненко, В.Х. Артемюк, В.А. Карбівський, В.Л. Когут, М.Г. Карбівська, Л.І. Бородянський, Є.А. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Методою високороздільчої тунельної мікроскопії досліджено наноутворення срібла на поверхні Si(111), яких одержано за допомогою термічного осадження у вакуумі. Встановлено, що срібло на поверхні кремнію може утворювати наноструктури, які складаються з атомарних площин. Металеві наноутворення можуть мати вигляд правильних шестикутників. Для даних структур мінімальна висота росту сходинки складає до 0,23 нм. Досліджено особливості трансформації нанорельєфу при зміні температури зразка. Показано, що при збільшенні температури кількість відкритих шарів зменшується за рахунок поверхневого дрейфу, внаслідок якого відбувається горизонтальне зміщення. Представлено можливість консервації структури поверхні Si(111) 7×7. Методом высокоразрешающей туннельной микроскопии исследованы нанообразования серебра на поверхности Si(111), полученные термическим осаждением в вакууме. Установлено, что серебро на поверхности кремния может образовывать наноструктуры, состоящие из атомарных плоскостей. Металлические нанообразования могут иметь вид правильных шестиугольников. Для данных структур минимальная высота роста ступени составляет до 0,23 нм. Исследованы особенности трансформации нанорельефа при повышении температуры образца в результате горизонтального смещения за счёт поверхностного дрейфа. Представлена возможность консервации структуры поверхности Si(111) 7×7. The silver nanostructures obtained by thermal vacuum deposition on the Si(111) surface are investigated by high-resolution tunnelling microscopy. As revealed, the silver on the silicon surface can form nanostructures consisting of atomic planes. Metallic nanoformations can take the shape of regular hexagons. For these structures, minimum height of the step growth varies up to 0.23 nm. Specific peculiarities of the nanorelief transformation with the sample-temperature increasing are detected as a result of horizontal displacement due to surface drift. The possibility of preserving of the Si(111) 7×7 structure is presented. 2015 Article Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла / В. Х. Касіяненко, В. А. Артемюк, В. Л. Карбівський, М. Г. Когут, Л. І. Карбівська, Є. А. Бородянський // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 6. — С. 763-773. — Бібліогр.: 18 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.bd, 68.37.Ef, 68.47.De, 68.55.jd, 68.55.jm, 68.60.Dv, 81.15.Cd https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112256 uk Металлофизика и новейшие технологии application/pdf Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
spellingShingle	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Касіяненко, В.Х. Артемюк, В.А. Карбівський, В.Л. Когут, М.Г. Карбівська, Л.І. Бородянський, Є.А. Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла Металлофизика и новейшие технологии
description	Методою високороздільчої тунельної мікроскопії досліджено наноутворення срібла на поверхні Si(111), яких одержано за допомогою термічного осадження у вакуумі. Встановлено, що срібло на поверхні кремнію може утворювати наноструктури, які складаються з атомарних площин. Металеві наноутворення можуть мати вигляд правильних шестикутників. Для даних структур мінімальна висота росту сходинки складає до 0,23 нм. Досліджено особливості трансформації нанорельєфу при зміні температури зразка. Показано, що при збільшенні температури кількість відкритих шарів зменшується за рахунок поверхневого дрейфу, внаслідок якого відбувається горизонтальне зміщення. Представлено можливість консервації структури поверхні Si(111) 7×7.
format	Article
author	Касіяненко, В.Х. Артемюк, В.А. Карбівський, В.Л. Когут, М.Г. Карбівська, Л.І. Бородянський, Є.А.
author_facet	Касіяненко, В.Х. Артемюк, В.А. Карбівський, В.Л. Когут, М.Г. Карбівська, Л.І. Бородянський, Є.А.
author_sort	Касіяненко, В.Х.
title	Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла
title_short	Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла
title_full	Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла
title_fullStr	Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла
title_full_unstemmed	Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла
title_sort	отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2015
topic_facet	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112256
citation_txt	Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла / В. Х. Касіяненко, В. А. Артемюк, В. Л. Карбівський, М. Г. Когут, Л. І. Карбівська, Є. А. Бородянський // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 6. — С. 763-773. — Бібліогр.: 18 назв. — укр.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT kasíânenkovh otrimannâtafízičnívlastivostímonoíbagatošarovihnanostruktursríbla AT artemûkva otrimannâtafízičnívlastivostímonoíbagatošarovihnanostruktursríbla AT karbívsʹkijvl otrimannâtafízičnívlastivostímonoíbagatošarovihnanostruktursríbla AT kogutmg otrimannâtafízičnívlastivostímonoíbagatošarovihnanostruktursríbla AT karbívsʹkalí otrimannâtafízičnívlastivostímonoíbagatošarovihnanostruktursríbla AT borodânsʹkijêa otrimannâtafízičnívlastivostímonoíbagatošarovihnanostruktursríbla AT kasíânenkovh polučenieifizičeskiesvojstvamonoimnogoslojnyhnanostrukturserebra AT artemûkva polučenieifizičeskiesvojstvamonoimnogoslojnyhnanostrukturserebra AT karbívsʹkijvl polučenieifizičeskiesvojstvamonoimnogoslojnyhnanostrukturserebra AT kogutmg polučenieifizičeskiesvojstvamonoimnogoslojnyhnanostrukturserebra AT karbívsʹkalí polučenieifizičeskiesvojstvamonoimnogoslojnyhnanostrukturserebra AT borodânsʹkijêa polučenieifizičeskiesvojstvamonoimnogoslojnyhnanostrukturserebra AT kasíânenkovh fabricationandphysicalpropertiesofmonoandmultilayersilvernanostructures AT artemûkva fabricationandphysicalpropertiesofmonoandmultilayersilvernanostructures AT karbívsʹkijvl fabricationandphysicalpropertiesofmonoandmultilayersilvernanostructures AT kogutmg fabricationandphysicalpropertiesofmonoandmultilayersilvernanostructures AT karbívsʹkalí fabricationandphysicalpropertiesofmonoandmultilayersilvernanostructures AT borodânsʹkijêa fabricationandphysicalpropertiesofmonoandmultilayersilvernanostructures
first_indexed	2025-11-28T01:08:51Z
last_indexed	2025-11-28T01:08:51Z
_version_	1849994393262489600
fulltext	763 PACS numbers:68.35.bd, 68.37.Ef,68.47.De,68.55.jd,68.55.jm,68.60.Dv, 81.15.Cd Одержання та фізичні властивості моно- та багатошарових наноструктур срібла В. Х. Касіяненко, В. А. Артемюк, В. Л. Карбівський, М. Т. Когут, Л. І. Карбівська, Є. А. Бородянський Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України, бульв. Акад. Вернадського, 36, 03680, МСП, Київ, Україна Методою високороздільчої тунельної мікроскопії досліджено наноутво- рення срібла на поверхні Si(111), яких одержано за допомогою термічного осадження у вакуумі. Встановлено, що срібло на поверхні кремнію може утворювати наноструктури, які складаються з атомарних площин. Мета- леві наноутворення можуть мати вигляд правильних шестикутників. Для даних структур мінімальна висота росту сходинки складає до 0,23 нм. Досліджено особливості трансформації нанорельєфу при зміні температу- ри зразка. Показано, що при збільшенні температури кількість відкритих шарів зменшується за рахунок поверхневого дрейфу, внаслідок якого від- бувається горизонтальне зміщення. Представлено можливість консерва- ції структури поверхні Si(111) 77. The silver nanostructures obtained by thermal vacuum deposition on the Si(111) surface are investigated by high-resolution tunnelling microscopy. As revealed, the silver on the silicon surface can form nanostructures con- sisting of atomic planes. Metallic nanoformations can take the shape of regu- lar hexagons. For these structures, minimum height of the step growth var- ies up to 0.23 nm. Specific peculiarities of the nanorelief transformation with the sample-temperature increasing are detected as a result of horizontal displacement due to surface drift. The possibility of preserving of the Si(111) 77 structure is presented. Методом высокоразрешающей туннельной микроскопии исследованы нанообразования серебра на поверхности Si(111), полученные термиче- ским осаждением в вакууме. Установлено, что серебро на поверхности кремния может образовывать наноструктуры, состоящие из атомарных плоскостей. Металлические нанообразования могут иметь вид правиль- ных шестиугольников. Для данных структур минимальная высота роста ступени составляет до 0,23 нм. Исследованы особенности трансформации нанорельефа при повышении температуры образца в результате горизон- Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2015, т. 37, № 6, сс. 763—773 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2015 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 764 В. Х. КАСІЯНЕНКО, В. А. АРТЕМЮК, В. Л. КАРБІВСЬКИЙ та ін. тального смещения за счёт поверхностного дрейфа. Представлена воз- можность консервации структуры поверхности Si(111) 77. Ключові слова: нанорельєф поверхні, наношерсткість, моношар металу (Ag), поверхня Si, термічне напорошення. (Отримано 12 березня 2015 р.; остаточн. варіант– 6 квітня 2015 р.) 1. ВСТУП Одержання та дослідження фізичних властивостей металевих мо- ношарових наноструктур є одним з напрямків атомної інженерії поверхні, яка дозволяє одержувати інформацію про процеси самоо- рганізації і механізми росту нанооб’єктів і створює передумови для синтезу матеріалів із заданими характеристиками [1]. Фізичні вла- стивості таких утворень, зокрема, наношерсткість, морфологія по- верхні, щільність поверхневих електронних станів визначають їх можливе практичне застосування. Експериментальне вивчення особливостей утворення наноструктур шляхетних металів – їх за- родження, росту, аґломерації, утворення конґломератів відкриває нові можливості в розумінні впливу розмірного ефекту на фізико- хімічні властивості таких матеріалів. Тому дослідження процесів формування наноструктур срібла при термічному нанесенні на мо- нокристалічні поверхні є актуальним не тільки з фундаментальної точки зору, оскільки дає можливість одержувати інформацію щодо принципів організації наноструктур, зокрема, однокомпонентних металевих, а й з практичної точки зору. Наноструктури срібла використовуються в багатьох споживчих технологіях, які експлуатують їх фізичні властивості, зокрема, оп- тичні, електропровідні, антибактеріальні та ін. [2—6]. Використан- ня наночастинок срібла ефективно застосовується при конструю- ванні елементів оптичних приладів, що поглинають світло [7]. В даній роботі досліджуються морфологічні особливості наноре- льєфу Ag на поверхні монокристалу Si(111) при термічному нане- сенні, що сприяють розумінню процесів формування і перебудови поверхні при температурних змінах, а також показана можливість консервації структури поверхні монокристала кремнію. 2. ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНА ЧАСТИНА Дослідження морфологічних властивостей поверхні виконувалось за допомогою методу високовакуумної високороздільчої тунельної мікроскопії (СТМ) з використанням мікроскопа JSPM-4610 (JEOL). Нанесення срібла на поверхню монокристала кремнію відбувало- ся за допомогою термічного способу, у вакуумі 10 8 Па. Розпорошу- ОДЕРЖАННЯ ТА ВЛАСТИВОСТІ МОНО- ТА БАГАТОШАРОВИХ СТРУКТУР Ag 765 вач металу являв собою вольфрамову кювету з навіскою срібла, яка поміщалась у середину металевого циліндра з отвором діаметром 4 мм для випаровування металу. Відстань від випарника до зразка становила близько 7 см. В якості поверхні для напорошення срібла була обрана поверхня (111) монокристалу Si прямокутної форми розміром 720,3 мм 3. Підготовка монокристалічної поверхні ви- конувалася за стандартною методикою. Спочатку через пластину кремнію пропускався струм  0,2 A протягом 24 годин. Зразок при цьому нагрівався до температури  250C. Після цього струм через зразок збільшувався до 3,0 А і витримувався 30 с, що відповідало температурі зразка близько 950C. Після охолодження були одер- жані тунельні знімки поверхні Si(111) (рис. 1) [8]. Мікроскоп пра- цював у режимі топографії поверхні (метод постійного струму). Після відпалу при кімнатній температурі в камері підготовки зразка впродовж 3 с на його поверхню було здійснено напорошення срібла, при цьому до вольфрамової спіралі була підведена потуж- ність 12 Вт (3 А, 4 В). Після цієї процедури зразок був розміщений безпосередньо в камері мікроскопа, де були одержані СТМ-знімки нанорельєфу поверхні (рис. 2). Далі зразок був охолоджений до температури рідкого азоту; ре- зультати відповідних СТМ-досліджень представлено на рис. 2, б. По википанні азоту в кріостаті (повільний нагрів), зразок нагрівся до кімнатної температури. Коли температура зразка досягала кімнат- ної, були одержані знімки нанорельєфу поверхні, представлені на рис. 2, в. Наступним кроком було нагрівання зразка резистивним способом до температури  300C, при цьому через зразок протікав струм I  0,2 А (V  14 В). Нагрівання виконувалося протягом двох хвилин. Після охолодження зразка до кімнатної температури були одержані знімки поверхні, наведені на рис. 2, г. Четвертим етапом було нагрівання зразка протягом двох хвилин до температури 400C, одночасно до монокристала була прикладена Рис. 1. СТМ-зображення поверхні монокристала кремнію Si(111). 766 В. Х. КАСІЯНЕНКО, В. А. АРТЕМЮК, В. Л. КАРБІВСЬКИЙ та ін. потужність 5 Вт (I  0,5 А, V  10 В). Після охолодження зразка до кімнатної температури були одержані СТМ-знімки, на яких знову спостерігалась реконструйована поверхня кремнію Si(111) 77 (рис. 3). Таким чином, після четвертої стадії нагріву зразка протягом 2 хв. при температурі T  400C відбувається відтворення реконст- руйованої поверхні монокристалу 77, яке свідчить про те, що на- несення срібла не призводить до руйнування поверхні. 3. ОБГОВОРЕННЯ РЕЗУЛЬТАТІВ Структури у вигляді шарів товщиною в один атом вищезазначеним методом можуть бути одержані лише за певних умов, таких як ви- сокий вакуум у ході напорошення та безпосередньо під час СТМ- досліджень, а також важливі локальна однорідність потоку металу, Рис. 2. СТМ-знімки наноструктур Ag, напорошеного на поверхню Si(111): a – кімнатна температура (перше напорошення), б – температура рідкого азоту, в – кімнатна температура (після охолодження), г – нагрівання зразка до температури 300C. Розмір знімків 100100 нм2. ОДЕРЖАННЯ ТА ВЛАСТИВОСТІ МОНО- ТА БАГАТОШАРОВИХ СТРУКТУР Ag 767 що напорошується, швидкість осадження речовини, температура і структура самої підкладки та ін. Незначне недодержання даних умов призводить до значної зміни морфології поверхні одержаних наноструктур металів. Важливо відзначити, що потік випаровува- ної речовини неоднорідний. Враховуючи макроскопічні розміри зразка (7 мм у довжину), це призводить до того, що характер одер- жаних поверхневих наноструктур, як правило, істотно відрізняєть- ся за довжиною зразка. Підбором параметрів випарника (час напо- рошення, потужність струму в ланцюзі спіралі, відстань від зразка до випарника) на поверхні монокристала Si можуть бути одержані: поодинокі атоми, кластери, конґломерати наночастинок металу, наноструктури у вигляді шарів, і як один з вищих ступенів самоор- ганізації самовпорядковані гексагонально-пірамідальні утворення. У нашому випадку ми маємо справу з передостанньою ситуацією. Всі знімки представлені на рис. 2 мають розмір 100100 нм 2. Ре- зультати наведені на рис. 2, а—в практично не відрізняються один від одного. Кардинальна відмінність у топології поверхні спостері- гається лише в двох випадках: при нагріванні зразка до температу- ри 300C (рис. 2, г) і при підвищенні температури до 400C (рис 3), коли було зафіксовано відновлення вихідної структури поверхні кремнію Si(111) 77. На рисунку 2, а—в показано наноструктури у вигляді моноатомових шарів. Як видно з профілів поверхні, пред- ставлених на рис. 4, крок зростання висоти для таких структур складає  0,23 нм. Такі пласкоподібні структури мають  4 відкри- тих шари. На вершинах наноутворень часто можна побачити пра- вильні шестикутники (рис. 2, а—в). Стрілки 1, 2, 4 вказують на такі Рис. 3. Поверхня монокристала кремнію зі структурою 77 після четвертої стадії нагріву при температурі 400C. 768 В. Х. КАСІЯНЕНКО, В. А. АРТЕМЮК, В. Л. КАРБІВСЬКИЙ та ін. фіґури та відповідають профілям поверхонь, представленим рис. 4, а—в. Важливо зазначити, що довжини боків спостережуваних прави- льних шестикутників різні. Наноутворення у вигляді шестикутни- ків найбільших розмірів розташовані в нижніх шарах. У той же час для верхніх шестикутників довжина ребра складає  10 нм (рис. 2, а, б). Для наноструктур правильної форми часто спостерігається ефект Рис. 4.Профілі поверхні вздовж ліній, представлених на рис. 2. ОДЕРЖАННЯ ТА ВЛАСТИВОСТІ МОНО- ТА БАГАТОШАРОВИХ СТРУКТУР Ag 769 самовпорядкування. Це можна побачити на рис. 2, б, в, де виділено відповідні області. Звернемо увагу на те, що на рис. 2, а три пласких утворення шестикутної форми мають однакові розміри з довжиною сторони  10 нм, і розташовані таким чином, що відповідні сторони трьох різних шестикутників строго паралельні між собою. Можна припустити, що це викликано впливом структури підкладки, яка може суттєво впливати на ріст поверхневих металевих нанострук- тур [9], навіть у тому випадку, коли на поверхні монокристала утворений тонкий оксидний шар [10]. Треба зауважити, що ці фіґури розташовані на різних моношарах срібла, і між собою вони не перекриваються, відстань між цими фі- ґурами близька до їх розмірів. Утворення багатошарових наноост- рівців шляхетних металів пірамідальної форми, орієнтація ребер яких задається матрицею підложжя, є характерним для таких структур [11]. Три сходинки на профілі поверхні, представлені на рис. 3, а, яв- ляють собою похилу грань гексагонально-пірамідально утвореної структури. Висота сходинок дорівнює товщині одного атомарного шару і становить  0,23 нм, а довжина полички також близька до цієї величини. На рисунку 2, б можна спостерігати впорядкування металевих структур. Істотна відмінність між ефектом упорядку- вання, показаним на рис. 2, а, полягає в тому, що ці структури роз- ташовані на трьох шарах Ag, які знаходяться безпосередньо один над іншим. Два нижніх утворення, являють собою половинчасті шестикутники. Відповідні сторони строго паралельні, а довжина полички, яка утворюється двома верхніми ребрами шестикутних нашарувань, порівнянна з довжиною сторін самих фіґур (рис. 4, б). На профілі поверхні 3 (рис. 2, б) видно особливості у вигляді піків на початку двох верхніх сходинок. Природа цих піків може бути пояснена зростанням густини електронних станів на краю моноа- томових площин. Цей ефект при формуванні пірамідально- подібних структур виявляється не завжди. У той же час потрібно зауважити, що бувають випадки, коли краї площин мають особли- вості як з одного боку, так і за всім периметром тераси. Цікавою особливістю СТМ-знімків, представлених на рис. 2, а—в, є присутність заглиблень шестикутної форми. Особливо яскраво це виражено на СТМ-знімку, представленому на рис. 2, б, який був одержаний при охолодженні зразка до температури близької до те- мператури кипіння рідкого азоту. Довжина сторони шестикутника складає  3 нм. Заглиблення завтовшки з моноатомовий шар (рис. 4, б, профіль 3) можуть формуватися як в одному шарі, так і за уча- стю кількох моноатомових шарів осадженого Ag (рис. 2, б). При цьому найімовірніше поглиблення, що виникло в нижньому шарі, істотно впливає на формування верхнього шару. Осаджені в ході напорошення атоми Ag не заповнюють поглиблення, а формують 770 В. Х. КАСІЯНЕНКО, В. А. АРТЕМЮК, В. Л. КАРБІВСЬКИЙ та ін. наступний шар. Шари срібла, які формуються в ході осадження, як правило, є досить гладкими. На рисунку 5, а представлений СТМ- знімок, на якому видно шерсткість наноструктури Ag. На рисунку 5, б представлений профіль поверхні у вигляді хвилястої лінії з пе- ріодом  2 нм і амплітудою  0,05 нм. Очевидно такі структури мо- жуть виникати при контакті двох сусідніх площин, що знаходяться на одному рівні (межа двійникування). Аналогічні дефекти струк- тури можуть виникати і в суцільній моноатомовій плівці. За умови досить сильного зв’язку між плівкою і підложжям в ме- талевій плівці мають спостерігатися напруження, оскільки Ag і пі- дкладка Si мають різні параметри ґратниці (25% невідповідности). Значне напруження в нанесеній плівці, спричинене різною криста- лічною структурою цих двох матеріалів, слабшає при утворенні тривимірних острівців [12]. Напруга може бути ефективно знята в околі верхівок тривимірних наноострівцевих утворень [12, 13]. Од- нак плівки Ag залишаються атомарно пласкими, незважаючи на велику ріжницю параметрів кристалічної ґратниці підложжя і оса- дженої плівки. Повну енергію даної системи можна розглядати як суму електронної енергії та енергії деформації ґратниці. Передба- чення теорії електронного вирощування, в якій не враховується енергія деформації, досить непогано узгоджуються з результатами експерименту. Можливо, зв’язок між металевою плівкою і напівп- ровідниковим підложжям в даному випадку достатньо слабкий, що Рис. 5. СТМ-знімок наноструктури Ag на поверхні Si(111) (а) та відповід- ний профіль поверхні (б). Розмір знімка 2121 нм2. ОДЕРЖАННЯ ТА ВЛАСТИВОСТІ МОНО- ТА БАГАТОШАРОВИХ СТРУКТУР Ag 771 дає можливість не враховувати релаксацію плівки Ag як у випадку плівки Ag(111) на підложжі Ni(111) [14]. Іншою можливістю знят- тя напруги є виникнення дислокацій. Ключ до відповіді можна знайти в СТМ-дослідженнях, викона- них Маєром і Рідером. Вони досліджували відносно товсті, у  40 моношарів (МШ) плівки Ag на підложжях Si(111) 77, які вирощу- вались двокроковим способом [15]. При цьому спостерігалися част- кові дислокації Шоклі. Даний результат підтверджує той факт, що в атомарних плівках Ag спостерігається послаблення енергії напру- ги невідповідности при виникненні часткових дислокацій. У дета- льному СТМ-дослідженні [16] повідомлялося, що часткові дисло- кації з високою густиною з’являються безпосередньо після завер- шення формування атомарно пласкої плівки Ag. Щільність дисло- кацій зменшується з товщиною Ag, тоді як згладжування плівки Ag поступово погіршується з утворенням одиничних і багатошаро- вих острівців. Спостережувану залежність густини дислокацій від товщини плівки можна пояснити наступним чином: формування багатошарових острівців призводить до послаблення впливу сил пружности, поява яких пов’язана з відмінностями в кристалічній структурі плівки і підложжя. Альтернативним способом послаб- лення деформаційної енергії є формування дислокацій в двовимір- них плівках. Формування тривимірних острівців з енергетичних міркувань більш ймовірно через утворення дислокацій [12]. Однак у системі Ag/Si механізм росту, що реалізується при елек- тронному вирощуванні, примушує плівку бути атомарно пласкою при критичній товщині. Електронний внесок достатньо сильний, щоб зробити плівку атомарно пласкою, але це призводить до зрос- тання деформаційної енергії. Таким чином, як альтернатива методу утворення багатошарових острівців плівка Ag створює часткові дислокації, щоб послабити деформаційні явища і зберегти пласку морфологію. Проте електронний внесок стає слабкішим для вели- ких покриттів. Таким чином, плівка може знову зменшити енергію деформації за допомогою формування багатошарових острівців, при цьому зменшується густина дислокацій. Атомарно пласкі тонкі металеві плівки схильні утворювати низка металів, зокрема: Ag [17], Au [8, 11], Cu [11], Pb [18]. При підвищенні температури зразка до 300C було зафіксовано зменшення кількости моношарів металу до трьох (рис. 2, г). При цьому відсутні фіґури правильної форми, висота рівня зростання наноструктур зберігається, а срібло повністю покриває поверхню кремнію. При повільному збільшенні температури зразка до 400C має місце десорбція срібла і відновлення поверхні Si(111) 77. Цей факт свідчить на користь твердження, що зв’язок між підложжям і напорошеним металом слабкий. Срібло в ході осадження при кім- натній температурі не проникає в Si. 772 В. Х. КАСІЯНЕНКО, В. А. АРТЕМЮК, В. Л. КАРБІВСЬКИЙ та ін. 4. ВИСНОВОК Методом високороздільчої тунельної мікроскопії досліджено нано- утворення срібла на поверхні Si(111). Срібло, осаджене термічним способом за один цикл напорошення при кімнатній температурі у високому вакуумі, може утворювати атомарно пласкі нанострукту- ри. Наноутворення можуть мати вигляд правильних шестикутни- ків, які складаються з кількох моношарів срібла. При цьому спо- стерігається самоорганізація наноструктур правильної форми. Зі збільшенням температури зразка до 300C відбувається зміна мор- фології поверхні, при цьому кількість відкритих шарів срібла зме- ншується, а симетричні утворення відсутні. При збільшенні темпе- ратури до 400C має місце десорбція срібла і відновлення поверхні Si(111). Модель електронного вирощування частково описує дані процеси, хоча повного уявлення про те, що відбувається не дає. Де- талі процесів, що відбуваються при формуванні наноструктур ме- талів і подальшій їх трансформації на напівпровідникових підкла- дках, на сьогоднішній день до кінця залишаються не з’ясованими і вимагають подальших досліджень. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА–REFERENCES 1. Y. Zhou, Q.-H. Wu, C. Zhou, H. Zhang, H. Zhan, and J. Kang, Surf. Sci., 602: 638 (2008). 2. G. Yang, Y. Zhou, H. Long, Y. Li, and Y. Yang, Thin Solid Films, 515, Iss. 20— 21: 7926 (2007). 3. M. Rai, A. Yadav, and A. Gade, Biotechnology Advances, 27, Iss. 1: 76 (2009). 4. R. M. Tilaki, A. Irajizad, and S. M. Mahdavi, Appl. Phys. A, 84, Iss. 1—2: 215 (2006). 5. G. Yang, D. Guan, W. Wang, W. Wu, and Z. Chen, Optical Materials, 25, Iss. 4: 439 (2004). 6. H.-J. Lee, S.-Y. Yeo, and S.-H. Jeong, J. Mat. Sci. 38, Iss. 10: 2199 (2003). 7. B. Wiley, Y. Sun, B. Mayers, and Y. Xia, Chemistry—A European Journal, 11, Iss. 2: 454 (2005). 8. V. L. Karbivskyy, V. V. Vishniak, and V. H. Kasiyanenko, J. Adv. Microscopy Res., 6, No. 4: 278 (2011). 9. P. Kocán, P. Sobotík, I. Ošt’ádal, and M. Kotrla, Surf. Sci., 566—568, Part 1: 216 (2004). 10. A. Roy, K. Bhattacharjee, J. Ghatak, and B. N. Dev, Appl. Surf. Sci., 258, Iss. 7: 2255 (2012). 11. G. Pötschke, J. Schröder, C. Günther, R. Q. Hwang, and R. J. Behm, Surf. Sci., 251—252: 592 (1991). 12. B. Voigtländer, Surf. Sci. Rept., 43, Iss. 5—8: 127 (2001). 13. J. Tersoff and F. K. LeGoues, Phys. Rev. Lett., 72: 3570 (1994). 14. S. Nakanishi, K. Umezawa, M. Yoshimura, and K. Ueda, Phys. Rev. B, 62: 13136 (2000). 15. G. Meyer and K. H. Rieder, Surf. Sci., 331—333, Part A: 600 (1995). ОДЕРЖАННЯ ТА ВЛАСТИВОСТІ МОНО- ТА БАГАТОШАРОВИХ СТРУКТУР Ag 773 16. M. Miyazaki and H. Hirayama, Surf. Sci., 602, Iss. 1: 276 (2008). 17. H. Hirayama, Surf. Sci., 603, Iss. 10—12: 1492 (2009). 18. D. A. Fokin, S. I. Bozhko, V. Dubost, F. Debontridder, A. M. Ionov, T. Cren, and D. Roditchev, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 9, No. 2: 333 (2011) (in Russian). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Отримання та фізичні властивості моно- і багатошарових наноструктур срібла

Institution

Similar Items