Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления

Методом магнетронного распыления получены гибридные наноплёнки, состоящие из частиц никеля, инкапсулированных в углеродную оболочку (Ni@C). Благодаря определённым условиям напыления (низкая температура, высокое давление) достигнут кластерный характер формирования плёнок. Исследованы две группы образ...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	Мохненко, М.И., Варюхин, В.Н., Прудников, А.М., Шалаев, Р.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Назва видання:	Металлофизика и новейшие технологии
Теми:	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112258
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления / М. И. Мохненко, В. Н. Варюхин, А. М. Прудников, Р. В. Шалаев // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 6. — С. 741-750. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112258
record_format	dspace
spelling	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1122582025-02-23T18:14:27Z Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления Низькотемпературний синтез і структура гібридних наноматеріалов Ni@C, отриманих методом реактивного магнетронного розпорошення Low-Temperature Synthesis and Structure of Hybrid Ni@C Nanomaterials Fabricated by Method of Reactive Magnetron Sputtering Мохненко, М.И. Варюхин, В.Н. Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Методом магнетронного распыления получены гибридные наноплёнки, состоящие из частиц никеля, инкапсулированных в углеродную оболочку (Ni@C). Благодаря определённым условиям напыления (низкая температура, высокое давление) достигнут кластерный характер формирования плёнок. Исследованы две группы образцов с различными концентрационными соотношениями C:Ni. Определено, что кластеры I-ой группы образцов (C:Ni = 60:40) являются аморфными и только при определённой критической температуре формируют кристаллическую структуру, тогда как кластеры II-ой группы образцов (C:Ni = 30:70) образуют кристаллическую структуру уже в плазме. Рассмотрен характер формирования нанокомпозитных плёнок при различных концентрациях углерода и температурах подложки. Методою магнетронного розпорошення одержано гібридні наноплівки, які складаються з частинок ніклю, інкапсульованих у вуглецеву оболонку (Ni@C). Завдяки певним умовам напорошення (низька температура, високий тиск) досягнуто кластерний характер формування плівок. Досліджено дві групи зразків із різними концентраційними співвідношеннями C:Ni. Встановлено, що кластери I-ої групи зразків (C:Ni = 60:40) є аморфними і лише за певної критичної температури формують кристалічну структуру, тоді як кластери II-ої групи зразків (C:Ni = 30:70) утворюють кристалічну структуру вже у плазмі. Розглянуто характер формування нанокомпозитних плівок за різних концентрацій вуглецю і температур підложжя. Hybrid nanofilms (Ni@C) consisting of nickel particles encapsulated in a carbon shell are grown by the method of magnetron sputtering. Clustered nature of film formation is reached due to the specific conditions of deposition (low temperature, high pressure). Two groups of samples with different concentration ratios C:Ni are investigated. As determined, the clusters of the Ist group of samples (C:Ni = 60:40) are amorphous and form a crystal structure only at certain critical temperature, while the clusters of the IInd group (C:Ni = 30:70) form a crystal structure within the plasma. The nature of formation of nanocomposite films with different concentrations of carbon and substrate temperatures is considered. 2015 Article Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления / М. И. Мохненко, В. Н. Варюхин, А. М. Прудников, Р. В. Шалаев // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 6. — С. 741-750. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 52.40.Hf, 61.05.cp, 61.46.Bc, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 81.07.Pr, 81.15.Cd https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112258 ru Металлофизика и новейшие технологии application/pdf Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
spellingShingle	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Мохненко, М.И. Варюхин, В.Н. Прудников, А.М. Шалаев, Р.В. Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления Металлофизика и новейшие технологии
description	Методом магнетронного распыления получены гибридные наноплёнки, состоящие из частиц никеля, инкапсулированных в углеродную оболочку (Ni@C). Благодаря определённым условиям напыления (низкая температура, высокое давление) достигнут кластерный характер формирования плёнок. Исследованы две группы образцов с различными концентрационными соотношениями C:Ni. Определено, что кластеры I-ой группы образцов (C:Ni = 60:40) являются аморфными и только при определённой критической температуре формируют кристаллическую структуру, тогда как кластеры II-ой группы образцов (C:Ni = 30:70) образуют кристаллическую структуру уже в плазме. Рассмотрен характер формирования нанокомпозитных плёнок при различных концентрациях углерода и температурах подложки.
format	Article
author	Мохненко, М.И. Варюхин, В.Н. Прудников, А.М. Шалаев, Р.В.
author_facet	Мохненко, М.И. Варюхин, В.Н. Прудников, А.М. Шалаев, Р.В.
author_sort	Мохненко, М.И.
title	Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
title_short	Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
title_full	Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
title_fullStr	Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
title_full_unstemmed	Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
title_sort	низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов ni@c, полученных методом реактивного магнетронного распыления
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2015
topic_facet	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112258
citation_txt	Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления / М. И. Мохненко, В. Н. Варюхин, А. М. Прудников, Р. В. Шалаев // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 6. — С. 741-750. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT mohnenkomi nizkotemperaturnyjsintezistrukturagibridnyhnanomaterialovnicpolučennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT varûhinvn nizkotemperaturnyjsintezistrukturagibridnyhnanomaterialovnicpolučennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT prudnikovam nizkotemperaturnyjsintezistrukturagibridnyhnanomaterialovnicpolučennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT šalaevrv nizkotemperaturnyjsintezistrukturagibridnyhnanomaterialovnicpolučennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ AT mohnenkomi nizʹkotemperaturnijsintezístrukturagíbridnihnanomateríalovnicotrimanihmetodomreaktivnogomagnetronnogorozporošennâ AT varûhinvn nizʹkotemperaturnijsintezístrukturagíbridnihnanomateríalovnicotrimanihmetodomreaktivnogomagnetronnogorozporošennâ AT prudnikovam nizʹkotemperaturnijsintezístrukturagíbridnihnanomateríalovnicotrimanihmetodomreaktivnogomagnetronnogorozporošennâ AT šalaevrv nizʹkotemperaturnijsintezístrukturagíbridnihnanomateríalovnicotrimanihmetodomreaktivnogomagnetronnogorozporošennâ AT mohnenkomi lowtemperaturesynthesisandstructureofhybridnicnanomaterialsfabricatedbymethodofreactivemagnetronsputtering AT varûhinvn lowtemperaturesynthesisandstructureofhybridnicnanomaterialsfabricatedbymethodofreactivemagnetronsputtering AT prudnikovam lowtemperaturesynthesisandstructureofhybridnicnanomaterialsfabricatedbymethodofreactivemagnetronsputtering AT šalaevrv lowtemperaturesynthesisandstructureofhybridnicnanomaterialsfabricatedbymethodofreactivemagnetronsputtering
first_indexed	2025-11-24T06:11:00Z
last_indexed	2025-11-24T06:11:00Z
_version_	1849651007610421248
fulltext	741 СТРОЕНИЕ И СВОЙСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ И МЕЗОСКОПИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ PACS numbers:52.40.Hf, 61.05.cp,61.46.Bc,68.37.Hk,68.37.Ps,81.07.Pr, 81.15.Cd Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления М. И. Мохненко, В. Н. Варюхин, А. М. Прудников, Р. В. Шалаев Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина НАН Украины, просп. Науки, 46, 03680, ГСП, Киев, Украина Методом магнетронного распыления получены гибридные наноплёнки, со- стоящие из частиц никеля, инкапсулированных в углеродную оболочку (Ni@C). Благодаря определённым условиям напыления (низкая температу- ра, высокое давление) достигнут кластерный характер формирования плё- нок. Исследованы две группы образцов с различными концентрационными соотношениями C:Ni. Определено, что кластеры I-ой группы образцов (C:Ni  60:40) являются аморфными и только при определённой критической температуре формируют кристаллическую структуру, тогда как кластеры II-ой группы образцов (C:Ni  30:70) образуют кристаллическую структуру уже в плазме. Рассмотрен характер формирования нанокомпозитных плё- нок при различных концентрациях углерода и температурах подложки. Методою магнетронного розпорошення одержано гібридні наноплівки, які складаються з частинок ніклю, інкапсульованих у вуглецеву оболонку (Ni@C). Завдяки певним умовам напорошення (низька температура, висо- кий тиск) досягнуто кластерний характер формування плівок. Досліджено дві групи зразків із різними концентраційними співвідношеннями C:Ni. Встановлено, що кластери I-ої групи зразків (C:Ni  60:40) є аморфними і лише за певної критичної температури формують кристалічну структуру, тоді як кластери II-ої групи зразків (C:Ni  30:70) утворюють кристалічну структуру вже у плазмі. Розглянуто характер формування нанокомпозит- них плівок за різних концентрацій вуглецю і температур підложжя. Hybrid nanofilms (Ni@C) consisting of nickel particles encapsulated in a carbon shell are grown by the method of magnetron sputtering. Clustered nature of film formation is reached due to the specific conditions of deposition (low tem- perature, high pressure). Two groups of samples with different concentration ratios C:Ni are investigated. As determined, the clusters of the I st group of sam- ples (C:Ni  60:40) are amorphous and form a crystal structure only at certain Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2015, т. 37, № 6, сс. 741—750 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2015 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 742 М. И. МОХНЕНКО, В. Н. ВАРЮХИН, А. М. ПРУДНИКОВ, Р. В. ШАЛАЕВ critical temperature, while the clusters of the II nd group (C:Ni  30:70) form a crystal structure within the plasma. The nature of formation of nanocomposite films with different concentrations of carbon and substrate temperatures is considered. Ключевые слова: нанокластеры, карбид никеля, гибридные наноматериа- лы, магнетронное напыление. (Получено 24марта 2015 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ Хотя исключительные физические и химические свойства углерод- ных наноматериалов определяют значительный интерес к ним с момента их появления, на сегодняшний день на первый план выхо- дят уже более актуальные, так называемые, гибридные материалы. Гибридные материалы обычно представляют собой металл, инкап- сулированный в углеродную оболочку (Me@C) [1—4]. Углеродная оболочка, покрывающая металлическую частицу, обеспечивает ей не только защиту от механических повреждений, но и предохраня- ет от окисления [5, 6], тем самым увеличивая диапазон возможного практического применения. Потенциал применения такого рода материалов лежит главным образом в области техники и медицины. В качестве отдельного функционального элемента гибридный материал может быть при- менён в наноразмерных источниках электронов для электронной микроскопии и электронно-лучевой литографии, в электрохимиче- ских датчиках, функциональных сканирующих зондах и многом другом [7, 8]. Инертное углеродное покрытие металлических ча- стиц открывает возможность для их медицинского применения в качестве биосовместимых и нетоксичных средств доставки для диа- гностики и терапии новообразований [9, 10]. В настоящее время существует довольно большое количество ме- тодов, позволяющих получать металлические материалы, покры- тые углеродной оболочкой: лазерная абляция, дуговой способ, хи- мическое парофазное осаждение (CVD), напыление конденсацией из газовой фазы (PVD), плазмохимическое осаждение (PECVD) и т.д. [11—13]. Все перечисленные методы основываются на том, что в образованную углеродную фазу вводятся металлические кластеры или кластерные пучки, которые являются центрами зародышеоб- разования получаемых структур. Следует отметить, что структур- ное и фазовое состояние гибридных материалов со структурой вида «металлическое ядро—углеродная оболочка» изучено недостаточно, из-за большого количества способов синтеза, каждый из которых вносит свои определённые особенности в структуру таких компози- НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ СИНТЕЗ И СТРУКТУРА ГИБРИДНЫХ Ni@C 743 тов. Перечисленные методы получения такого рода структур обыч- но являются высокотемпературными, что значительно усложняет возможность их синтеза. В данной работе рассматривается метод получения гибридных материалов, не требующий высоких температур – метод низко- температурного магнетронного распыления. Наличие достаточно высокого давления и невысоких температур является положитель- ным фактором при использовании данного метода, что приводит к образованию нанокластеров. Использование данного метода и при- менение гибридной мишени позволяют получать в плазме нанокла- стеры типа «металлическое ядро—углеродная оболочка», которые формируют на подложке различные наноструктуры. Целью данной работы является исследование структуры гибрид- ных плёнок Ni@C, полученных методом низкотемпературного ре- активного магнетронного распыления, и её модификации при из- менении температуры подложки. 2. ОБРАЗЦЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ В данной работе методом магнетронного распыления гибридной мишени в атмосфере чистого аргона было выращено две серии Ni—С плёнок на подложках из покровного и кварцевого стекла. В каче- стве мишени применили двухдисковую структуру, в которой на сплошной диск из графита накладывался никелевый диск с отвер- стиями, так чтобы в зоне магнетронного разряда процентное соот- ношение С:Ni для группы I составляло 30:70, для группы II – 60:40. Плазму создавали при помощи магнетрона планарной кон- струкции с плоским катодом и кольцевым анодом. Мощность раз- ряда магнетрона не превышала 20 Вт. Температуру подложек варь- ировали в пределах 30—250С. Подложки предварительно очищали в смеси растворителей. Давление газа в камере составляло 150 мТорр. Время роста плёнок 10 минут. Исследование структуры образцов выполнялось методом рентге- новского дифракционного анализа на дифрактометре ДРОН-3 в CoK-излучении. Морфологию поверхности плёнок и их толщину анализировали при помощи методов атомно-силовой микроскопии (зондовая нанолаборатория Ntegra Aura) и полевой эмиссионной сканирующей электронной микроскопии (прибор JEOL JSM- 6490LV). Относительное количество атомов в материале определяли с помощью энергодисперсионного спектрометра INCA Penta FETx3. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ Исследовались две группы плёнок, различные по концентрацион- 744 М. И. МОХНЕНКО, В. Н. ВАРЮХИН, А. М. ПРУДНИКОВ, Р. В. ШАЛАЕВ ному соотношению углерода и никеля C:Ni при напылении (группа І – 30:70 и группа ІІ – 60:40). Толщина плёнок достигала 100 нм. Дифрактограммы плёнок группы І (C:Ni  30:70) представлены на рис. 1, а. Для данной группы образцов при различных темпера- турах подложки присутствуют рефлексы, соответствующие ГЦК- решётке никеля, а также наблюдается возрастание их интенсивно- сти с увеличением температуры. Отличие заключается лишь в не- котором уширении и сдвиге линий в сторону меньших углов. Сдвиг брэгговских рефлексов прямо указывает на увеличение параметра ГЦК-решётки никеля, что соответствует наличию твёрдого раство- ра углерода в никеле. Что касается уширения рефлексов, то это мо- жет свидетельствовать о сравнительно малом размере кристалли- тов, из которых построены плёнки. В то же время наличие в составе плёнок углерода свидетельствует, как это показано в работе [5], о наличии углеродной оболочки вокруг нанокристаллитов никеля. Таким образом, в процессе синтеза нанокластеров Ni@C сначала образуется твёрдый раствор на основе никель—углерод без образо- вания углеродной оболочки [14]. Затем твёрдый раствор распадает- ся на никель и чистый углерод, формируя никелевый нанокластер с углеродной оболочкой. При этом твёрдый раствор может частично или полностью распадаться, понижая концентрацию углерода в ме- таллическом ядре [15]. Дальнейший отжиг, как свидетельствуют наши эксперименты, приводит к существенному дополнительному распаду системы. Рентгеновский дифракционный анализ плёнок группы ІІ (C:Ni   60:40) показал полное отсутствие рефлексов, соответствующих какой-либо структурной решётке никеля, при этом отчётливо вид- на ГПУ-фаза карбида никеля Ni3C (рис. 1, б). Если при температуре подложки 170С ещё довольно сложно утверждать факт наличия данной структуры, так как пик Ni3C (113) уширен и сдвинут в сто- рону больших углов, что можно объяснить довольно маленьким размером кристаллитов, то с повышением температуры подобный вопрос уже не возникает. Как показали исследования, при температуре подложки ниже 160C для группы ІІ отсутствуют рефлексы, соответствующие ка- кой-либо фазе никеля или карбида никеля, из чего можно заклю- чить, что при низких температурах кластеры Ni—C имеют аморф- ную структуру. Размеры D нанокристаллитов были определены по формуле Шеррера для фазы Ni(111) группы І и для фазы Ni3C(113) группы ІІ. На рисунке 2 приведена зависимость размера кристаллитов D от температуры подложки для двух групп образцов. Очевидным явля- ется увеличение размера кристаллитов с увеличением температуры подложки. Именно увеличения размера нанокристаллитов D в сравнении с их размером при более низкой температуре позволяет НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ СИНТЕЗ И СТРУКТУРА ГИБРИДНЫХ Ni@C 745 утверждать, что рост происходит благодаря диффузионным процес- сам во время температурного воздействия подложки. В то же время, как видно из рис. 2, при заданных условиях роста (давление буферного газа, рабочий ток магнетрона, состав мишени) для группы II существует критическая температура Ткр подложки около 150C, ниже которой размер частиц никеля стремится к ну- лю. Атомная силовая микроскопия (АСМ) позволяет исследовать ди- намику роста наноструктурных плёнок и процессы зародышеобра- зования на поверхности подложки. На рисунке 3 представлено АСМ-изображение поверхности гибридной плёнки Ni@С после 10- секундного напыления. Видны характерные кластерные элементы Рис. 1. Дифрактограммы плёнок группы І (а) и группы ІІ (б). 746 М. И. МОХНЕНКО, В. Н. ВАРЮХИН, А. М. ПРУДНИКОВ, Р. В. ШАЛАЕВ с размерами порядка 10 нм, которые хаотически покрывают под- ложку. Так как при изготовлении образцов были использованы подложки из полированного кварцевого стекла с шероховатостью 1 нм, подложка хорошо видна на свободных от кластеров участках. Условия формирования кластеров в плазме требуют достаточно большого давления буферного газа [16], в нашем случае около 150 мТорр – это почти на порядок больше, чем встречается в литерату- ре, и большого времени жизни магнетронной плазмы. Всё это при- водит к высокой концентрации распылённых атомов в небольшой области расположения плазмы. При относительно невысокой тем- пературе распылённых атомов создаются условия, при которых они могут образовывать химические связи. Начинают протекать про- цессы образования в плазме кластеров из материала мишени. При этом буферный газ непрерывно прокачивается через зону разряда магнетрона. Скорость течения буферного газа мала по сравнению с тепловыми скоростями атомов мишени и атомов буферного газа и не оказывает влияния на концентрацию и распространение распы- лённых атомов. Кластеры, образовавшиеся в плазме из материала мишени и продуктов химического взаимодействия атомов мишени с буферным газом, осаждаются на подложке. При попадании потока заряженных кластеров на относительно холодную, по отношению к температуре плазмы и самих кластеров, подложку происходит их «застывание» с передачей тепловой энер- гии подложке. При этом образуются центры зародышеобразования плёнки, что наблюдается при АСМ-исследованиях. Становиться очевидным, что для системы Ni—C при данном маг- Рис. 2. Зависимость размера кристаллитовD от температуры подложки. НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ СИНТЕЗ И СТРУКТУРА ГИБРИДНЫХ Ni@C 747 нетронном распылении процессы зародышеобразования на поверх- ности подложки носят кластерный характер: на поверхность под- ложки осаждаются уже сформированные в плазме кластеры распы- ляемого материала нанометровых размеров. Размер нанокластеров Ni@C, оценённый на основании данных АСМ-изображения, составляет от 8 до 12 нм, что совпадает с разме- рами кристаллитов никеля, выращенных при низкой температуре подложки, оценёнными из рентгеноструктурных данных. На рисунке 4 приведены SEM-изображения наноструктурных гибридных Ni@C-плёнок двух групп. Первое, что обращает на себя внимание, это различная структура плёнок группы І и группы ІІ, отличающихся концентрационным соотношением Ni:C. Как видно на рис. 4, а, плёнки группы І с содержанием углерода 30 ат.%, по- лученные при температуре подложки 150C, представляют собой плотно прилегающие друг к другу наноколонны диаметром 70—100 нм с наличием пор между ними (аналогичная структура выявлена в работе [17]). Увеличение температуры подложки до 200C приводит к увеличению размеров наноколонн и частичной кристаллизации (рис. 4, б). На рисунке 4, в, характеризующем наноструктурную плёнку карбида никеля Ni3C группы ІІ при температуре 210C, от- чётливо видно глобулярное строение с характерным размером эле- ментов  50—80 нм, объединённых в агрегаты шарообразной формы размером  300—500 нм и не имеющих кристаллографической огранки. Повышение температуры до 250C приводит к тому, что поверхность плёнки Ni3C группы ІІ состоит из плотноупакованных кристаллитов большого размера ( 800 нм) с кристаллографической огранкой и кристаллитов малого размера  100—150 нм. Таким образом, исследование процессов зародышеобразования Рис. 3. АСМ-изображение поверхности гибридной Ni@C-плёнки спустя 10 секунд роста. 748 М. И. МОХНЕНКО, В. Н. ВАРЮХИН, А. М. ПРУДНИКОВ, Р. В. ШАЛАЕВ на поверхности подложки показывает, что имеет место кластерный характер напыления плёнок Ni@C при низкотемпературном магне- тронном распылении гибридной мишени: на поверхность подложки осаждаются уже сформированные в плазме кластеры распыляемого материала размером от 8 до 12 нм. Изменение концентрации углерода от 30 до 60 ат.% приводит к коренным изменениям структуры нанокластеров, фазового и структурного состояния гибридных плёнок Ni—C, выращенных на подложках при температурах от 30 до 250С. При концентрации углерода 60 ат.% (группа ІІ) и температуре подложки ниже Ткр образуются аморфные гибридные Ni@C- плёнки. Как было показано выше, в условиях нашего эксперимента при попадании нанокластеров на достаточно холодную, по отноше- нию к температуре плазмы и самих кластеров, подложку происхо- дит их «застывание» с передачей тепловой энергии подложке. На- нокластеры размером порядка 10 нм представляют собой совокуп- ность атомов Ni и C. При температуре подложки выше Ткр в этих кластерах начинает кристаллизоваться фаза карбида никеля Ni3C с а б в г Рис. 4. SEM-изображения наноструктурных гибридных Ni@C-плёнок. Группа І: 150C (а), 200C (б); группа ІІ: 210C (в), 250C (г). НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ СИНТЕЗ И СТРУКТУРА ГИБРИДНЫХ Ni@C 749 дальнейшим увеличения размера нанокристаллитов. В плёнках группы І уже в магнетронной плазме формируются кристаллические нанокластеры. В процессе синтеза нанокластеров сначала образуется твёрдый раствор на основе никель—углерод без образования углеродной оболочки. Затем твёрдый раствор распада- ется на никель и чистый углерод с вытеснением атомов C на поверх- ность никелевого кристаллита, формируя никелевый нанокластер с углеродной оболочкой Ni@C. При этом твёрдый раствор может ча- стично либо полностью распадаться, понижая концентрацию угле- рода в металлическом ядре. При температурах подложки до 250C диффузионные процессы приводят к росту Ni-кристаллитов и/или их объединению в более крупные кристаллы с общей углеродной оболочкой. Такой харак- тер формирования нанокомпозитных плёнок при совместном оса- ждении металла и углерода подтверждается рядом работ [5, 6], в которых были получены образцы аналогичных композитов и пока- зано, что частицы этих нанокомпозитов представляют собой сфери- ческие образования с металлическим ядром (Fe, Ni) и углеродной оболочкой. 4. ВЫВОДЫ 1. Методом низкотемпературного магнетронного распыления гра- фит-никелевой мишени на подложках из стекла при температурах 30—250C синтезированы гибридные плёнки Ni@C. Показано, что механизм роста данных плёнок носит кластерный характер: на по- верхность подложки осаждаются уже сформированные в плазме Ni@C-кластеры распыляемого материала нанометровых размеров. 2. Формирование кластеров в магнетронной плазме обусловлено до- статочно высоким давлением газа в рабочем объёме порядка 150 мТорр, при низкой мощности плазмы ( 20 Вт). Данное давление примерно на порядок выше, чем давления при магнетронном напы- лении в большинстве опубликованных работ. 3. Установлено, что при соотношении C:Ni  60:40, кластеры, оса- ждающиеся на поверхность подложки, являются аморфными. Формирование кристаллической структуры начинается выше не- которой критической температуры подложки. При соотношении C:Ni  30:70 кластеры уже в плазме формируют Ni-кристаллиты с углеродной оболочкой. 4. Методами атомно-силовой микроскопии, рентгеноструктурного анализа и сканирующей электронной микроскопии исследованы морфология, структура и химический состав никель-углеродных гибридных наноструктур. Установлено, что в зависимости от кон- центрации углерода и температуры подложки при помощи этой технологии могут быть выращены наноструктуры с различной 750 М. И. МОХНЕНКО, В. Н. ВАРЮХИН, А. М. ПРУДНИКОВ, Р. В. ШАЛАЕВ морфологией и структурой. 5. Предложен механизм формирования нанокомпозитных плёнок, предполагающий полный и/или частичный распад твёрдого ни- кель-углеродного раствора и как следствие образование нанокла- стеров с углеродной оболочкой. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА–REFERENCES 1. S. Asahina, M. Suga, H. Takahashi, H. Yo. Jeong, C. Galeano, F. Schüth, and O. Terasaki, Appl. Mater., 2: 113317-7 (2014). 2. D. A. Gуmez-Gualdrуn, J. M. Beetge, and P. B. Balbuena, J. Phys. Chem. C, 117, No. 23: 12061 (2013). 3. D. S. Jacob, I. Genish, L. Klein, and A. Gedanken, J. Phys. Chem. B, 110, No. 36: 17711 (2006). 4. D. Cheng, W. Wang, and S. Huang, J. Phys.: Condens. Matter, 19: 356217 (2007). 5. V. Sunny, D. S. Kumar, Ya. Yoshida, M. Makarewicz, W. Tabis, and M. R. Anantharaman, Carbon, 48: 1643 (2010). 6. A. A. El Mel, E. Gautron, B. Angleraud, A. Granier, and P. Y. Tessier, Carbon, 49: 4595 (2011). 7. V. Melechko, V. I. Merkulov, T. E. McKnight, M. A. Guillorn, K. L. Klein, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, J. Appl. Phys., 97: 041301-39 (2005). 8. R. Vajtai, B. Wei, Z. Zhang, Y. Jung, G. Ramanath, and P. Ajayan, Smart Mater. Struct., 11, No. 5: 691 (2002). 9. S. Sacanna, L. Rossi, and D. J. Pine, J. Am. Chem. Soc., 134: 6112 (2012). 10. Gy. J. Kovács, A. Koós, G. Bertoni ,G. Sáfrán, O. Geszti, V. Serin, C. Colliex, and G. Radnуczi, J. Appl. Phys., 98: 034313-5 (2005). 11. V. I. Merkulov, A. V. Melechko, M. A. Guillorn, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, Appl. Phys. Lett., 80: 476 (2002). 12. D. Navas, M. Hernandez-Velez, M. Vazquez, W. Lee, and K. Nielsch, Appl. Phys. Lett., 90: 192501 (2007). 13. G. Rossi, A. Rapallo, C. Mottet, A. Fortunelli, F. Baletto, and R. Ferrando, Phys. Rev. Lett., 3, No. 10: 105503-4 (2004). 14. E. P. Yelsukov, G. A. Dorofeev, A. V. Zagainov, N. F. Vildanov, and A. N. Maratkanov, Mater. Sci. Eng. A, 16: 369 (2004). 15. N. Grobert, M. Terrones, O. J. Osborne, H. Terrones, W. K. Hsu, S. Trasobares, Y. Q. Zhu, J. P. Hare, H. W. Kroto, and D. R. M. Walton, Appl. Phys. A, 67: 595 (1998). 16. P. Kashtanov, B. Smirnov, and R. Hippler, Phys. Usp., 50: 455 (2007). 17. A. I. Linnik, A. M. Prudnikov, R. V. Shalaev, V. N. Varyukhin, S. A. Kostyrya, and V. V. Burkhovetski, Techn. Phys. Lett., 38: 499 (2012). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <FEFF0049007a006d0061006e0074006f006a00690065007400200161006f00730020006900650073007400610074012b006a0075006d00750073002c0020006c0061006900200076006500690064006f00740075002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006100730020006900720020012b00700061016100690020007000690065006d01130072006f00740069002000610075006700730074006100730020006b00760061006c0069007401010074006500730020007000690072006d007300690065007300700069006501610061006e006100730020006400720075006b00610069002e00200049007a0076006500690064006f006a006900650074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006f002000760061007200200061007400760113007200740020006100720020004100630072006f00620061007400200075006e002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020006b0101002000610072012b00200074006f0020006a00610075006e0101006b0101006d002000760065007200730069006a0101006d002e> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления

Репозитарії

Схожі ресурси