Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2015
• Main Authors: Гранкин, С.С., Столбовой, В.А., Немченко, У.С., Береснев, В.М., Соболь, О.В., Литовченко, С.В., Турбин, П.В., Новиков, В.Ю., Проценко, З.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112290
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN / С.С. Гранкин, В.А. Столбовой, У.С. Немченко, В.М. Береснев, О.В. Соболь, С.В. Литовченко, П.В. Турбин, В.Ю. Новиков, З.Н. Проценко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 5. — С. 70-76. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Методом вакуумно-дугового осаждения синтезированы наноструктурированные многослойные покрытия TiN/ZrN c их числом 134…533 и средней толщиной 20…125 нм. Выявлена хорошая планарность получаемых в нанометровом диапазоне слоев из плазменных потоков в реактивной среде. В качестве модели критических рабоч...