Fedorovich, О., Hladkovskiy, V., Polozov, B., & Kruglenko, М. (2015). The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon. Вопросы атомной науки и техники.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Fedorovich, О.А, V.V Hladkovskiy, B.P Polozov, und М.P Kruglenko. "The Bias Voltage and Its Influence on the Etching Rate of Silicon." Вопросы атомной науки и техники 2015.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Fedorovich, О.А, et al. "The Bias Voltage and Its Influence on the Etching Rate of Silicon." Вопросы атомной науки и техники, 2015.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.