Зображення обкладинки

The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon

The influence of the bias voltage on the silicon etching rate in the plasma-chemical reactor (PСR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of the silicon etching rate on the power, discharge current and on the pressure in the chamber PCR are obtained. It is found that...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2015
Автори:	Fedorovich, О.А., Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Kruglenko, М.P.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Теми:	Экспериментальные методы и обработка данных
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112376
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon / О.А. Fedorovich, V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, М.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 6. — С. 146-150. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Monitoring the flow rate of water in the supercritical convection loop
за авторством: Bakai, A.S., та інші
Опубліковано: (2016)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Determination of the energy standards by precision beta-spectroscopy methods
за авторством: Kupryashkin, V.T., та інші
Опубліковано: (2004)

Measurement of the photometric characteristics of LEDs
за авторством: Nazarenko, L.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Producing the planar multiphoton sources by photonuclear technique: 2. Experimental study
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2016)

Computation of response function of multi-detector device for gamma radiation angular distribution measuring
за авторством: Batiy, V.G., та інші
Опубліковано: (2004)

Control of UHF energy absorption process by resonance method in a shielded object
за авторством: Dovbnya, A.N., та інші
Опубліковано: (2015)

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Сравнительные характеристики атомарной и молекулярной плазмы в стационарных и импульсных разрядах
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2015)

Разделение изотопов углерода в сепараторе с двумя реверсами встречных аксиально- симметричных магнитных полей
за авторством: Бондаренко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Spectrometer for detailed study of radon and thoron system decay products
за авторством: Frolov, O.S., та інші
Опубліковано: (2004)

Möller polarimeter in the Hall A Jefferson Lab after reconstruction
за авторством: Pomatsalyuk, R.I.
Опубліковано: (2016)

Пространственно-временная структура излучения отрицательной короны в режиме импульсов Тричела в электродной системе "игла-плоскость"
за авторством: Болотов, О.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Development of a method of absorbed dose on-line monitoring at product processing by scanned electron beam
за авторством: Pomatsalyuk, R.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Non-linear filtering of pulse signals in case of high intensity noise
за авторством: Kharchenko, O.I., та інші
Опубліковано: (2017)

Radiation shielding of the sterilization installation based on gamma-radiating europium isitopes
за авторством: Razsukovanyj, B.N., та інші
Опубліковано: (2004)

Дроссельный рефрижератор для плазменных исследований
за авторством: Батраков, А.Б., та інші
Опубліковано: (2015)

Producing the planar multiphoton sources by photonuclear technique: 1. A model of gamma-fluorescent source
за авторством: Uvarov, V.L.
Опубліковано: (2016)

Статус мёллеровского поляриметра зала А Лаборатории Т.Джефферсона
за авторством: Помацалюк, Р.И.
Опубліковано: (2018)

Development of a method of absorbed dose on-line monitoring at product processing by scanned electron beam
за авторством: Pomatsalyuk, R.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Activation technique of astrophysical photonuclear reaction rate measurements using bremsstrahlung
за авторством: Semisalov, I., та інші
Опубліковано: (2014)

Examination ofmulti-layer silicon detector in measurementofelectron spectrumfor beta-decayof ⁹⁰SR- ⁹⁰Y
за авторством: Bochek, G.L., та інші
Опубліковано: (2005)

Stabilization of nano-sized structures in the volume of single-crystalline silicon for photoconverters
за авторством: Dovbnya, A.N., та інші
Опубліковано: (2009)

Studying electro-physical characteristics of detecting elements on the ohmic side of silicon microstrip detector
за авторством: Maslov, N.I., та інші
Опубліковано: (2005)

Temperature dependence of the energy resolution and leakage current of the planar silicone detectors
за авторством: Deiev, O.S., та інші
Опубліковано: (2013)

The formation of complex chemical compounds in the spent fuel and their influence on separation processes
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2017)

Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2007)

Investigation of the influence of oxygen on the rate and anisotropy of deep etching of silicon in the plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field
за авторством: V. V. Gladkovskij, та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of processes of interaction relativistic electrons with the solutions of organic dyes
за авторством: Buki, A.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)

The radioactive contamination territory of Ukraine by Pu and ²⁴¹Am radionuclides due to the Chernobyl accident
за авторством: Kozhevnikova, M.F., та інші
Опубліковано: (2017)

Radionuclide biosorption by the aquatic plants of Pistia stratiotes
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2014)

Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters
за авторством: B. P. Polozov, та інші
Опубліковано: (2006)

The content of natural radioactive isotopes in soil of Kharkov region
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2017)

Radiative stability and sorption ability of clinoptilolite nanoparticles
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2015)

Experimental model of multidetector device based on CdZnTe detectors
за авторством: Batiy, V.G., та інші
Опубліковано: (2005)

Kinetics of ¹⁵³Sm oxabiphor in the blood of cancer patients undergoing complex therapy for bone metastasis
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2015)

Features of molecular plasma SNF after heating and ionization
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2014)

Cesium, strontium and sodium diffusion in magnesium kalium phosphates system
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2014)

Research of pumping properties of ion pumps and manometrical converters
за авторством: Grevtsev, V.G., та інші
Опубліковано: (2005)

Ion exchange in photoactivated inorganic matters
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2017)