Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
Досліджено кінетику дисперґування паладійових і платинових наноплівок у 100 нм завтовшки, нанесених на оксидні підложжя (кварцове скло, лейкосапфір, кераміка на основі ZrO₂) та відпалених у вакуумі за температур 1000—1600°С впродовж різного часу витримки при кожній температурі. Побудовано кінетичні...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112419 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю. В. Найдіч, І. І. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк, С. І. Мартинюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 9. — С. 1225-1237. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112419 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Мартинюк, С.І. 2017-01-21T15:47:23Z 2017-01-21T15:47:23Z 2015 Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю. В. Найдіч, І. І. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк, С. І. Мартинюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 9. — С. 1225-1237. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.B-, 68.35.Dv, 68.55.-a, 68.60.Dv, 81.05.Je, 81.16.-c, 81.40.Ef https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112419 Досліджено кінетику дисперґування паладійових і платинових наноплівок у 100 нм завтовшки, нанесених на оксидні підложжя (кварцове скло, лейкосапфір, кераміка на основі ZrO₂) та відпалених у вакуумі за температур 1000—1600°С впродовж різного часу витримки при кожній температурі. Побудовано кінетичні криві процесу дисперґування цих плівок та висловлено рекомендації щодо їх практичного застосування. Исследована кинетика диспергирования палладиевых и платиновых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные подложки (кварцевое стекло, лейкосапфир, керамика на основе ZrO₂) и отожжённых в вакууме при температурах 1000—1600°С в течение различного времени выдержки при каждой температуре. Построены кинетические кривые процесса диспергирования этих плёнок и приведены рекомендации относительно их практического применения. The dispersion kinetics of palladium and platinum nanofilms of 100 nm thickness deposited onto oxide substrate (quartz glass, leucosapphire, ZrO₂-based ceramics) and annealed in a vacuum at 1000—1600°C for different exposure times at each temperature is investigated. Kinetic curves of dispersion process in these films are plotted and recommendations for practical application of them are also given. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме палладиевых и платиновых наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы Dispersion Kinetics of the Palladium and Platinum Nanofilms, Which Were Deposited on the Oxide Materials, under Annealing in Vacuum Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| spellingShingle |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Мартинюк, С.І. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| title_short |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_full |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_fullStr |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_full_unstemmed |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| title_sort |
кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли |
| author |
Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Мартинюк, С.І. |
| author_facet |
Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Мартинюк, С.І. |
| topic |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| topic_facet |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| publishDate |
2015 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме палладиевых и платиновых наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы Dispersion Kinetics of the Palladium and Platinum Nanofilms, Which Were Deposited on the Oxide Materials, under Annealing in Vacuum |
| description |
Досліджено кінетику дисперґування паладійових і платинових наноплівок у 100 нм завтовшки, нанесених на оксидні підложжя (кварцове скло, лейкосапфір, кераміка на основі ZrO₂) та відпалених у вакуумі за температур 1000—1600°С впродовж різного часу витримки при кожній температурі. Побудовано кінетичні криві процесу дисперґування цих плівок та висловлено рекомендації щодо їх практичного застосування.
Исследована кинетика диспергирования палладиевых и платиновых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные подложки (кварцевое стекло, лейкосапфир, керамика на основе ZrO₂) и отожжённых в вакууме при температурах 1000—1600°С в течение различного времени выдержки при каждой температуре. Построены кинетические кривые процесса диспергирования этих плёнок и приведены рекомендации относительно их практического применения.
The dispersion kinetics of palladium and platinum nanofilms of 100 nm thickness deposited onto oxide substrate (quartz glass, leucosapphire, ZrO₂-based ceramics) and annealed in a vacuum at 1000—1600°C for different exposure times at each temperature is investigated. Kinetic curves of dispersion process in these films are plotted and recommendations for practical application of them are also given.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112419 |
| citation_txt |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли / Ю. В. Найдіч, І. І. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк, С. І. Мартинюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 9. — С. 1225-1237. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT naidíčûv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumípaladíiovihíplatinovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT gabíí kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumípaladíiovihíplatinovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT stecûktv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumípaladíiovihíplatinovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT kostûkbd kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumípaladíiovihíplatinovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT martinûksí kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumípaladíiovihíplatinovihnanoplívoknanesenihnaoksidnímateríâli AT naidíčûv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumepalladievyhiplatinovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT gabíí kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumepalladievyhiplatinovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT stecûktv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumepalladievyhiplatinovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT kostûkbd kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumepalladievyhiplatinovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT martinûksí kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumepalladievyhiplatinovyhnanoplenoknanesennyhnaoksidnyematerialy AT naidíčûv dispersionkineticsofthepalladiumandplatinumnanofilmswhichweredepositedontheoxidematerialsunderannealinginvacuum AT gabíí dispersionkineticsofthepalladiumandplatinumnanofilmswhichweredepositedontheoxidematerialsunderannealinginvacuum AT stecûktv dispersionkineticsofthepalladiumandplatinumnanofilmswhichweredepositedontheoxidematerialsunderannealinginvacuum AT kostûkbd dispersionkineticsofthepalladiumandplatinumnanofilmswhichweredepositedontheoxidematerialsunderannealinginvacuum AT martinûksí dispersionkineticsofthepalladiumandplatinumnanofilmswhichweredepositedontheoxidematerialsunderannealinginvacuum |
| first_indexed |
2025-11-26T04:47:44Z |
| last_indexed |
2025-11-26T04:47:44Z |
| _version_ |
1850609532147859456 |
| fulltext |
1225
PACS numbers: 68.35.B-, 68.35.Dv,68.55.-a,68.60.Dv,81.05.Je,81.16.-c, 81.40.Ef
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі паладійових
і платинових наноплівок, нанесених на оксидні матеріяли
Ю. В. Найдіч, І. І. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк, С. І. Мартинюк
Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України,
вул. Кржижановського, 3,
03142 Київ, Україна
Досліджено кінетику дисперґування паладійових і платинових наноплі-
вок у 100 нм завтовшки, нанесених на оксидні підложжя (кварцове скло,
лейкосапфір, кераміка на основі ZrO2) та відпалених у вакуумі за темпе-
ратур 1000—1600С впродовж різного часу витримки при кожній темпе-
ратурі. Побудовано кінетичні криві процесу дисперґування цих плівок та
висловлено рекомендації щодо їх практичного застосування.
Исследована кинетика диспергирования палладиевых и платиновых
наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные подложки
(кварцевое стекло, лейкосапфир, керамика на основе ZrO2) и отожжён-
ных в вакууме при температурах 1000—1600С в течение различного вре-
мени выдержки при каждой температуре. Построены кинетические кри-
вые процесса диспергирования этих плёнок и приведены рекомендации
относительно их практического применения.
The dispersion kinetics of palladium and platinum nanofilms of 100 nm
thickness deposited onto oxide substrate (quartz glass, leucosapphire, ZrO2-
based ceramics) and annealed in a vacuum at 1000—1600C for different ex-
posure times at each temperature is investigated. Kinetic curves of disper-
sion process in these films are plotted and recommendations for practical
application of them are also given.
Ключові слова: платина, паладій, наноплівка, дисперґування, кінетика.
(Отримано 28 травня 2015 р.)
1. ВСТУП
Поглиблене вивчення фізичних властивостей тонких металевих
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2015, т. 37, № 9, сс. 1225—1237
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2015 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
1226 Ю. В. НАЙДІЧ, І. І. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК та ін.
плівок стимульоване широким практичним застосуванням метале-
вих конденсатів у багатьох галузях техніки. Зокрема, при з’єднанні
таких неметалевих матеріялів як оксидна та неоксидна кераміка,
монокристали, матеріяли на основі вуглецю тощо, паянням чи зва-
рюванням тиском часто використовують металеві покриття різних
товщин, яких нанесено на ці матеріяли [1—5]. Металізація повер-
хонь таких матеріялів забезпечує достатнє змочування їх розтопле-
ними металами, що визначає саму технологічну можливість фор-
мування паяного з’єднання, а також обумовлює міцність та інші
властивості з’єднань.
Найчастіше для паяння неметалевих матеріялів використовують
такі адгезійноактивні матеріяли як титан, ніобій та гафній [2—14].
Платинові та паладійові покриття на неметалах також широко за-
стосовуються в техніці [15—20]. Ці метали цікаві тим, що
з’єднання, одержані з їхнім використанням, можуть працювати в
окиснювальному середовищі при високих температурах.
Оскільки при паянні або зварюванні тиском металізовані неме-
талеві деталі мають бути нагрітими до досить високих температур
(1300—1600С), вивчення процесів дисперґування, які відбуваються
при відпалі в цих металевих наноплівках завтовшки 100 нм, стано-
вить не тільки пізнавальний інтерес, але й практичне значення для
розроблення технологічних режимів з’єднання неметалевих мате-
ріялів.
Товщину металевих покриттів 100 нм нами було вибрано з огляду
на те, що, як показали наші попередні дослідження, добре змочуван-
ня металевими припійними розтопами забезпечують плівки завтов-
шки 40—60 нм. Використання більш товстих шарів плівок призво-
дить до труднощів: слабка початкова адгезія нанесеної плівки до ос-
нови при невисоких температурах, зазвичай, не вище 100C (при
цьому діють лише слабкі фізичні сили типу Ван-дер-Вальсової взає-
модії), а також напруження в міжфазній зоні плівка—основа (крис-
талізаційного та іншого характеру) призводять до самовільного від-
шарування плівки від підкладки внаслідок, зокрема, ріжниці кое-
фіцієнтів термічного розширення матеріялу плівок та основи.
2. МАТЕРІЯЛИ ТА МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ
Зразки підкладок були виготовлені з кварцового скла, лейкосапфі-
ру та кераміки на основі ZrO2 і являли собою невеликі тонкі плас-
тинки розмірами 431 мм
3. Одна з пласких поверхонь кожного
зразка добре відполірована до шерсткости Rz 0,03—0,05 мкм. Піс-
ля полірування всі зразки були ретельно знежирені та відпалені у
вакуумі за температури 1100С впродовж однієї години.
На відпалені поверхні зразків наносили електронно-променевим
розпорошенням плівки паладію та платини завтовшки 100 нм
КІНЕТИКА ДИСПЕРҐУВАННЯ ПРИ ВІДПАЛІ У ВАКУУМІ Pd- і Pt-НАНОПЛІВОК 1227
впродовж 10 хв. Зразки в ході нанесення плівок нагрівались не
більш як на 100С, а товщину покриття вимірювали спеціяльним
кварцовим резонатором, який знаходився у вакуумній камері елек-
тронно-променевої установки ЭЛУ-2 поруч зі зразками. Якість на-
несених плівок контролювали за допомогою металографічного мік-
роскопа XJL-17. Зразки з нанесеними на них паладійовими та пла-
тиновими плівками відпалювали у вакуумній камері впродовж різ-
них проміжків часу (від 2 до 20 хв.) та при різних температурах (від
1000 до 1600С) у вакуумі, не гіршому, аніж 210
3
Па.
Відпалені зразки досліджували за допомогою сканівних елект-
ронних мікроскопів JSM-6700 F, ZEISS EVO SO XVP та атомно-
силового мікроскопа NanoScope ІІІa, одержуючи при цьому мікро-
фотографії. З використанням цих мікрофотографій визначено пло-
щі острівців металу на поверхні неметалевих зразків планіметрич-
ним методом, тобто визначенням маси вирізаних елементів металі-
зованих поверхонь зразків зважуванням [21]. Одержані експериме-
нтальні дані представлено у вигляді графіків, які демонструють за-
лежність площ поверхонь зразків, вкритих платиновими та паладі-
йовими наноплівками від параметрів відпалу (температура, час).
3. РЕЗУЛЬТАТИ ДОСЛІДЖЕНЬ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ
Вихідні плівки обох металів на всіх трьох оксидах були суцільни-
ми, без будь-яких суттєвих дефектів, і на мікрофотографіях, одер-
жаних з використанням електронних сканівних мікроскопів видно
лише темне поле однорідного темно-сірого кольору. Внаслідок від-
палу плівок спостерігалися відмінності в поведінці плівок, нанесе-
них на сапфір та діоксид-цирконійову кераміку. Плівки як пала-
дію, так і платини на кварцовому склі почали розпадатися вже вна-
слідок відпалу при 1000С, і після п’ятихвилинної витримки плів-
ки обох металів практично повністю розпадались на доволі великі
тверді «краплі», які вкривають лише близько 40% поверхні квар-
цової підкладки, при чому вже помітна певна взаємодія, зокрема,
паладію з кварцовим склом (рис. 1, 2). Слово краплі написано в ла-
пках тому, що при такій температурі (1000С), яка є набагато ниж-
чою за температуру топлення обох металів, і досить значній товщи-
ні вихідних плівок (100 нм) неможливе утворення рідких крапель.
Збільшення температури відпалу до 1100С практично не змінює як
характер розпаду плівок, так і частину площі кварцової підкладки,
вкритої металом (рис. 2—4).
На фотографії паладійової плівки, відпаленої при 1100С протя-
гом 10 хв., зробленій за допомогою атомно-силового мікроскопа
(рис. 3, а), наочно видно великі «краплі» паладію, висота яких ся-
гає 700 нм (рис. 3, б, в). «Краплі» розташовані на значній віддалі
одна від одної та вкривають близько 25% площі підкладки.
1228 Ю. В. НАЙДІЧ, І. І. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК та ін.
Рис. 1. Плівки паладію завтовшки 100 нм на кварцовому склі (а, б) та лей-
косапфірі (в), відпалені у вакуумі за різних температур впродовж різного
часу, 3000: а – 1000С, 5 хв.; б – 1200С, 20 хв.; в – 1400С, 2 хв.
Fig. 1. Palladium films of 100 nm thickness on quartz glass (a, b) and on leu-
cosapphire (c) annealed in a vacuum at different temperatures during differ-
ent times, 3000: a–1000C, 5 min; b–1200C, 20 min; c–1400C, 2 min.
Рис. 2. Залежність площі кварцового скла, вкритого металевою плівкою,
від часу відпалу за різних температур: а – паладій, б – платина.
Fig. 2. The dependence of quartz glass area covered by metal film on annealing
time at various temperatures: a–palladium, b–platinum.
КІНЕТИКА ДИСПЕРҐУВАННЯ ПРИ ВІДПАЛІ У ВАКУУМІ Pd- і Pt-НАНОПЛІВОК 1229
Внаслідок відпалу плівок при 1200С вони розпадаються ще інтен-
сивніше (рис. 1, б), взаємодія металів з кварцовим склом значно збі-
Рис. 3. Плівка паладію завтовшки 100 нм на кварцовому склі, відпалена у
вакуумі при 1100С впродовж 10 хв.: а – вигляд плівки під сканівним мі-
кроскопом, 3000; б – вигляд плівки під атомно-силовим мікроскопом; в
– профілограма плівки.
Fig. 3. Palladium film of 100 nm thickness on quartz glass annealed in a vacu-
um at 1100C during 10 min: a–film under scanning microscope, 3000; b–
film under atomic force microscope; c–profilogram of film.
1230 Ю. В. НАЙДІЧ, І. І. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК та ін.
льшилась, процес розпаду плівок завершився вже після десятихви-
линного відпалу, і подальша витримка до 20 хв. при цій температурі
майже не змінює площ підкладок, вкритих металами (рис. 2), при
чому «краплі» більш легкотопкого паладію вкривають лише близько
7% поверхні кварцової підкладки, в той час як «краплі» більш тяж-
котопкої платини вкривають 20% поверхні підкладки.
Відпал паладійової плівки на лейкосапфірі виявив стрімкий роз-
пад плівки протягом перших двох хвилин в інтервалі температур
1100—1400С (рис. 5, а). Подальша витримка при кожній темпера-
турі призводить лише до перегрупування «крапель» за розмірами
та чисельністю і незначного зменшення площі лейкосапфіру, вкри-
Рис. 4. Плівки платини завтовшки 100 нм на кварцовому склі (а, б) та лей-
косапфірі (в), відпалені у вакуумі за різних температур впродовж різних
часів, 3000: а – 1100С, 5 хв.; б – 1200С, 5 хв.; в – 1500С, 10 хв.
Fig. 4. Platinum films of 100 nm thickness on quartz glass (a, b) and on leu-
cosapphire (c) annealed in a vacuum at different temperatures during differ-
ent times, 3000: a–1100C, 5 min; b–1200C, 5 min; c–1500C, 10 min.
КІНЕТИКА ДИСПЕРҐУВАННЯ ПРИ ВІДПАЛІ У ВАКУУМІ Pd- і Pt-НАНОПЛІВОК 1231
того ними (рис. 1, в). Внаслідок відпалу за температур 1300—1400С
відбувається часткове випаровування паладію та певна взаємодія
його з лейкосапфіром (рис. 6). На мікрофотографії паладійової плі-
вки на лейкосапфірі, відпаленій у вакуумі при 1400С впродовж 10
хв., зробленій за допомогою атомно-силового мікроскопа, видно,
що плівка перетворилася на окремі поодинокі «краплі» значної
вишини (від 300 до 1000 нм) (рис. 6, б, в), які вкривають лише бли-
зько 5% поверхні лейкосапфірової підкладки.
Поведінка при відпалі більш жароміцної платинової наноплівки,
нанесеної на лейкосапфір, дещо відрізняється від поведінки пала-
дійової плівки. Платинова плівка розпадається значно повільніше
за паладійову і вкриває значно більшу площу підкладки навіть за
досить високих температур відпалу (1500—1600С) (рис. 5, б). Інтен-
сивний розпад більш тяжкотопкої платинової плівки на лейкосап-
фірі впродовж перших двох хвилин витримки відбувається за дещо
вищої температури (1400—1600С) в порівнянні з паладійовою плів-
кою. За температури 1400С після десятихвилинного відпалу пла-
тинова плівка вже повністю розпалася на окремі фраґменти різної
форми, висота деяких з них сягає 400 нм (рис. 7), а після десятих-
вилинного відпалу при 1500С фраґменти плівки починають крис-
талізуватися (рис. 4, в), і з подальшим збільшенням температури та
часу відпалу ця кристалізація стає ще більш виразною.
Характер розпаду при відпалі паладійової та платинової наноплі-
вок, нанесених на діоксид-цирконійову підкладку, подібний до її ро-
зпаду на кварцовому склі (рис. 8), але відбувається трохи повільніше.
Як випливає з наведених графіків, характер розпаду при відпалі
наноплівок паладію та платини на кварцовому склі (рис. 2) має од-
наковий характер, тобто, починаючи вже з температури відпалу
1000С, відбувається протягом 3—5 хв. інтенсивний розпад плівок
Рис. 5. Залежність площі лейкосапфіру, вкритої металевою плівкою, від
часу відпалу за різних температур: а – паладій, б – платина.
Fig. 5. Dependence of leucosapphire area covered by metal film on annealing
time at various temperatures: a–palladium; b–platinum.
1232 Ю. В. НАЙДІЧ, І. І. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК та ін.
на окремі фраґменти та «краплі», які вкривають 30—40% площі пі-
дкладки.
Подальше збільшення часу відпалу призводить до перерозподілу
Рис. 6. Плівка паладію завтовшки 100 нм на лейкосапфірі, відпалена у ва-
куумі при 1400С впродовж 2 хв.: а – вигляд плівки під сканівним мікро-
скопом, 3000; б – вигляд плівки під атомно-силовим мікроскопом; в –
профілограма плівки.
Fig. 6. Palladium film of 100 nm thickness on leucosapphire annealed in a
vacuum at 1400C during 2 min: a–film under scanning microscope, 3000;
b–film under atomic force microscope; c–profilogram of film.
КІНЕТИКА ДИСПЕРҐУВАННЯ ПРИ ВІДПАЛІ У ВАКУУМІ Pd- і Pt-НАНОПЛІВОК 1233
числа та розмірів «крапель» та незначного зменшення площі підк-
ладки, вкритої металевою плівкою, при кожній температурі.
З підвищенням температури відпалу до 1200С плівки обох мета-
Рис. 7. Плівка платини завтовшки 100 нм на лейкосапфірі, відпалена у
вакуумі при 1400С впродовж 10 хв.: а – вигляд плівки під сканівним мі-
кроскопом, 3000; б – вигляд плівки під атомно-силовим мікроскопом;
в – профілограма плівки.
Fig. 7. Platinum film of 100 nm thickness on leucosapphire annealed in a vac-
uum at 1400C during 10 min: a–film under scanning microscope, 3000;
b–film under an atomic force microscope; c–profilogram of film.
1234 Ю. В. НАЙДІЧ, І. І. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК та ін.
лів розпадаються повністю, причому має місце взаємодія фраґмен-
тів плівок з кварцовим склом підкладки, поверхня якої майже пов-
ністю оголюється від залишків паладійової плівки, а фраґменти
платинової плівки вкривають 25% площі підкладки.
На діоксид-цирконійовій кераміці платинова плівка (рис. 8) дис-
перґує дещо повільніше, ніж на кварцовому склі. Так, більш-менш
істотний розпад плівки ми бачимо тільки після 5 хв. відпалу.
Після цієї витримки фраґменти платини вкривають від 60% при
відпалі за температури 1100С до 30% при відпалі за 1500C. При
10 хв. витримці частина оголеної підкладки збільшується несуттє-
во. Отже можна сказати, що платинова плівка придатна для вико-
ристання при виготовленні високотемпературних паяних з’єднань
з діоксид-цирконійовою керамікою з невеликими часами витримки
при температурах 1100—1500С.
На лейкосапфіровій підкладці паладійова плівка, яка не взаємодіє
з матеріялом підкладки, також стрімко розпадається протягом пер-
ших 3—5 хв. відпалу (рис. 5, а), але вкриває близько 20% поверхні
підкладки при 1200С, і лише після відпалу при 1400С залишки па-
ладійової плівки вкривають близько 5% поверхні підкладки.
Значно більш жароміцна платинова плівка на лейкосапфіровій
підкладці поводить себе дещо іншим чином при відпалі (рис. 5, б).
Так, після відпалу за температур до 1300С плівка дисперґує не так
стрімко, як на кварцовому склі, і при цьому вкриває більше поло-
вини площі поверхні підкладки. Стрімкий розпад плівки відбува-
ється лише після відпалу її при 1400С і, навіть після відпалу при
1600С, фраґменти плівки вкривають близько третини площі підк-
ладки. Отже, платинова наноплівка на лейкосапфірі найбільш при-
датна для використання її з метою виготовлення високотемперату-
Рис. 8. Залежність площі діоксид-цирконійової кераміки, вкритої плати-
новою плівкою, від часу відпалу за різних температур.
Fig. 8. Dependence of ZrO2 ceramic area covered by platinum film on anneal-
ing time at various temperatures.
КІНЕТИКА ДИСПЕРҐУВАННЯ ПРИ ВІДПАЛІ У ВАКУУМІ Pd- і Pt-НАНОПЛІВОК 1235
рних паяних з’єднань лейкосапфірових виробів.
4. ВИСНОВКИ
Внаслідок відпалу у вакуумі платинові і паладійові наноплівки на
кварцовому склі досить стрімко дисперґують на окремі фраґменти
та «краплі», і вже після відпалу при 1200С вони повністю розпа-
даються, вкриваючи незначну площу підкладки, причому ще й від-
бувається взаємодія з кварцовим склом. Отже, з точки зору паяння
кварцового скла, ці плівки не придатні як металізаційні матеріяли.
Платинова плівка на діоксид-цирконійовій кераміці розпадаєть-
ся значно повільніше, ніж на кварцовому склі. За температур від-
палу 1100—1200С платинова плівка вкриває близько 50% поверхні
підкладки з діоксид-цирконійової кераміки при витримках до 10
хв., тому її можна рекомендувати для металізації деталей з цієї ке-
раміки для паяння за температур до 1200С.
На лейкосапфіровій підкладці паладійова плівка також стрімко
розпадається при відпалі, оголюючи більш ніж 70% підкладки в
перші хвилини відпалу. Платинова наноплівка на лейкосапфірі
при відпалі, на відміну від паладійової, розпадається значно пові-
льніше і при більш високих температурах. Оскільки за температур
відпалу до 1300С платинова наноплівка вкриває майже 60% лей-
косапфірової підкладки навіть при досить тривалих витримках при
цих температурах, її можна рекомендувати для металізації лейко-
сапфірових деталей з метою подальшого їх паяння за температур до
1300С.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. В. Н. Батыгин, И. И. Метелкин, А. М. Решетников, Вакуумноплотная
керамика и её спаи с металлами (Москва: Энергия: 1982).
2. И. И. Метелкин, М. А. Павлов, Н. В. Поздеева, Сварка керамики с
металлами (Москва: Металлургия: 1977).
3. M. L. Shalz, B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia et al., J. Mater. Sci., 29, No. 14: 3678
(1994).
4. R. A. Marks, J. D. Sugar, and A. M. Glaeser, J. Mater. Sci., 36, No. 23: 5609
(2001).
5. R. A. Marks, D. R. Chapmen, D. T. Danielson, and A. M. Glaeser, Acta Mater.,
48, Nos. 18—19: 4425 (2000).
6. Е. В. Коганицкая, Электроника, 4: 86 (1959).
7. F. L. Harding and D. R. Rossington, J. Amer. Ceram. Soc., 53, No. 2: 87 (1970).
8. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, В. С. Журавлев, В. Ф. Дуброва, А. Н. Гордыня,
Сварочное производство, 2: 12 (1989).
9. S. K. Rhee, J. Amer., Ceram. Soc., 54, No. 7: 332 (1971).
10. В. В. Мельников, С. В. Еремеев, С. Е. Кулькова, Журнал технической
физики, 81, No. 10: 114 (2011).
1236 Ю. В. НАЙДІЧ, І. І. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК та ін.
11. T. Qiao-Ying, C. Lai-Fei, and Z. Li-Tong, J. Aviation Material, 24, No. 1: 53
(2004).
12. N. Masaaki, S. Tohru, and O. Ikuo, Transaction of JWRI, 17, No. 2: 67 (1988).
13. И. И. Габ, В. С. Журавлев, Д. И. Куркова, Т. В. Стецюк, Ю. В. Найдич,
Порошковая металлургия, № 7/8: 69 (1997).
14. Э. С. Каракозов, И. С. Котелкин, Г. Н. Матвеев, А. P. Меркулов,
M. X. Шоршоров, Физика и химия обработки материалов, 3: 123 (1968).
15. E. Ciftyurek, K. Sabolsky, and E. M. Sabolsky, Sensors and Actuators B:
Chemical, 181: 702 (2013).
16. J. D. Wrbanek and K. L. H. Laster, Preparation and Analysis of Platinum Thin
Films for High Temperature Sensor Applications (NASA/TM 2005-213433)
(January, 2005).
17. И. И. Амиров, В. В. Наумов, М. О. Изюмов, Р. С. Селюков, Письма в ЖТФ,
39, No. 2: 68 (2013).
18. R. Nowakowski, P. Grzeszczak, and R. Duš, Surf. Sci., 507—510: 813 (2002).
19. V. Ramaswamy, M. A. Phillips, W. D. Nix, and B. M. Clemens, Mater. Eng. A,
319—321: 887 (2001).
20. J. Y. Shim, J. D. Lee, J. M. Jin, H. Cheong, and S. Lee, Solar Energy Materials
and Solar Cells, 93, No. 12: 2133 (2009).
21. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова,
С. В. Дукаров, Доп. НАН України, 5: 97 (2007).
REFERENCES
1. V. N. Batygin, I. I. Metelkin, and А. M. Reshetnikov, Vacuumnoplotnaya
Keramika i Ee Spai s Metallami (Moscow: Energiya: 1982) (in Russian).
2. I. I. Меtеlkin, М. А. Pavlov, and N. V. Pozdeeva, Svarka Keramiki s Metallami
(Moscow: Metallurgiya: 1977) (in Russian).
3. M. L. Shalz, B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia et al., J. Mater. Sci., 29, No. 14: 3678
(1994).
4. R. A. Marks, J. D. Sugar, and A. M. Glaeser, J. Mater. Sci., 36, No. 23: 5609
(2001).
5. R. A. Marks, D. R. Chapmen, D. T. Danielson, and A. M. Glaeser, Acta Mater.,
48, Nos. 18—19: 4425 (2000).
6. Е. V. Коganitskaya, Elektronika, 4: 86 (1959) (in Russian).
7. F. L. Harding and D. R. Rossington, J. Amer. Ceram. Soc., 53, No. 2: 87 (1970).
8. Yu. V. Naidich, I. I. Gab, V. S. Zhuravlev, V. F. Dubrova, and А. N. Gordynya,
Svarochnoe Proizvodstvo, 2: 12 (1989) (in Russian).
9. S. K. Rhee, J. Amer., Ceram. Soc., 54, No. 7: 332 (1971).
10. V. V. Melnikov, S. V. Еremeev, and S. Е. Kulkova, Zhurnal Tekhnicheskoy
Fiziki, 81, No. 10: 114 (2011) (in Russian).
11. T. Qiao-Ying, C. Lai-Fei, and Z. Li-Tong, J. Aviation Material, 24, No. 1: 53
(2004).
12. N. Masaaki, S. Tohru, and O. Ikuo, Transaction of JWRI, 17, No. 2: 67 (1988).
13. I. I. Gab, V. S. Zhuravlev, D. I. Kurkova, Т. V. Stetsyuk, and Yu. V. Naidich,
Poroshkovaya Metallurgiya, Nos. 7/8: 69 (1997) (in Russian).
14. E. S. Kаrakozov, I. S. Kоtelkin, G. N. Маtveev, А. R. Меrkulov, and
M. H. Shorshorov, Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov, 3: 123 (1968)
КІНЕТИКА ДИСПЕРҐУВАННЯ ПРИ ВІДПАЛІ У ВАКУУМІ Pd- і Pt-НАНОПЛІВОК 1237
(in Russian).
15. E. Ciftyurek, K. Sabolsky, and E. M. Sabolsky, Sensors and Actuators B:
Chemical, 181: 702 (2013).
16. J. D. Wrbanek and K. L. H. Laster, Preparation and Analysis of Platinum Thin
Films for High Temperature Sensor Applications (NASA/TM 2005-213433)
(January, 2005).
17. I. I. Аmirov, V. V. Naumov, М. О. Izyumov, and R. S. Selyukov, Pisma v ZhTF,
39, No. 2: 68 (2013) (in Russian).
18. R. Nowakowski, P. Grzeszczak, and R. Duš, Surf. Sci., 507—510: 813 (2002).
19. V. Ramaswamy, M. A. Phillips, W. D. Nix, and B. M. Clemens, Mater. Eng. A,
319—321: 887 (2001).
20. J. Y. Shim, J. D. Lee, J. M. Jin, H. Cheong, and S. Lee, Solar Energy Materials
and Solar Cells, 93, No. 12: 2133 (2009).
21. Yu. V. Naidich, I. I. Gab, B. D. Kostyuk, Т. V. Stetsyuk, D. I. Kurkova, and
S. V. Dukarov, Dоp. NAN Ukrainy, 5: 97 (2007) (in Russian).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
/ARA <FEFF06270633062A062E062F0645002006470630064700200627064406250639062F0627062F0627062A002006440625064606340627062100200648062B062706260642002000410064006F00620065002000500044004600200645062A064806270641064206290020064406440637062806270639062900200641064A00200627064406450637062706280639002006300627062A0020062F0631062C0627062A002006270644062C0648062F0629002006270644063906270644064A0629061B0020064A06450643064600200641062A062D00200648062B0627062606420020005000440046002006270644064506460634062306290020062806270633062A062E062F062706450020004100630072006F0062006100740020064800410064006F006200650020005200650061006400650072002006250635062F0627063100200035002E0030002006480627064406250635062F062706310627062A0020062706440623062D062F062B002E0635062F0627063100200035002E0030002006480627064406250635062F062706310627062A0020062706440623062D062F062B002E>
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <FEFF0049007a006d0061006e0074006f006a00690065007400200161006f00730020006900650073007400610074012b006a0075006d00750073002c0020006c0061006900200076006500690064006f00740075002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006100730020006900720020012b00700061016100690020007000690065006d01130072006f00740069002000610075006700730074006100730020006b00760061006c0069007401010074006500730020007000690072006d007300690065007300700069006501610061006e006100730020006400720075006b00610069002e00200049007a0076006500690064006f006a006900650074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006f002000760061007200200061007400760113007200740020006100720020004100630072006f00620061007400200075006e002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020006b0101002000610072012b00200074006f0020006a00610075006e0101006b0101006d002000760065007200730069006a0101006d002e>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <FEFF005500740069006c0069007a006500200065007300730061007300200063006f006e00660069006700750072006100e700f50065007300200064006500200066006f0072006d00610020006100200063007200690061007200200064006f00630075006d0065006e0074006f0073002000410064006f0062006500200050004400460020006d00610069007300200061006400650071007500610064006f00730020007000610072006100200070007200e9002d0069006d0070007200650073007300f50065007300200064006500200061006c007400610020007100750061006c00690064006100640065002e0020004f007300200064006f00630075006d0065006e0074006f00730020005000440046002000630072006900610064006f007300200070006f00640065006d0020007300650072002000610062006500720074006f007300200063006f006d0020006f0020004100630072006f006200610074002000650020006f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000650020007600650072007300f50065007300200070006f00730074006500720069006f007200650073002e>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <FEFF04120438043a043e0440043804410442043e043204430439044204350020044604560020043f043004400430043c043504420440043800200434043b044f0020044104420432043e04400435043d043d044f00200434043e043a0443043c0435043d044204560432002000410064006f006200650020005000440046002c0020044f043a04560020043d04300439043a04400430044904350020043f045604340445043e0434044f0442044c00200434043b044f0020043204380441043e043a043e044f043a04560441043d043e0433043e0020043f0435044004350434043404400443043a043e0432043e0433043e0020043404400443043a0443002e00200020042104420432043e04400435043d045600200434043e043a0443043c0435043d0442043800200050004400460020043c043e0436043d04300020043204560434043a0440043804420438002004430020004100630072006f006200610074002004420430002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002004300431043e0020043f04560437043d04560448043e04570020043204350440044104560457002e>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|