АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112435 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112435 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. 2017-01-21T16:13:50Z 2017-01-21T16:13:50Z 2015 АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.Ct, 68.35.Gy, 68.35.Md, 68.35.Np, 68.37.Ps, 68.55.J-, 81.15.Gh https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112435 У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів з використанням алґоритму Хошена—Копельмана, визначено характерні геометричні параметри кластерних наноутворень. Для досліджуваних металів з використанням макроскопічного підходу, що базується на співвідношеннях нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні, оцінено енергетичні параметри міжфазової взаємодії у системі «металічний конденсат—кремній»: енергію міжфазової взаємодії, міжфазовий натяг, енергію адгезійних зв’язків та роботу адгезії. Обґрунтовуються відмінності морфології металічних конденсатів на кремнії. В работе по результатам атомно-силовой микроскопии исследована топология поверхности и структура конденсатов меди, алюминия и хрома на подложках монокристаллического кремния плоскости (111) для характерных толщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Выполнен кластерный статистический анализ поверхности полученных конденсатов с использованием алгоритма Хошена—Копельмана, определены характерные геометрические параметры кластерных нанообразований. Для исследованных металлов с использованием макроскопического подхода, базирующегося на соотношениях неравновесной термодинамики и физики поверхности, оценены энергетические параметры межфазного взаимодействия в системе «металлический конденсат—кремний»: энергия межфазного взаимодействия, межфазное натяжение, энергия адгезионных связей и работа адгезии. Обосновываются отличия морфологии металлических конденсатов на кремнии. In this paper, the results of atomic force microscopy are used to investigate the surface topology and structure of condensates of copper, aluminium, and chromium on the (111) plane of monocrystalline silicon substrates with the characteristic thicknesses d: 2.5, 10, 50, and 100 nm. A cluster statistical analysis of obtained condensates’ surface is performed by means of the Hoshen—Kopelman algorithm; the character geometric parameters of cluster nanoformations are determined. For studied metals, the energy parameters of interphase interactions in the ‘metallic condensate—silicon’ system, such as energy of interface interaction, interfacial tension, adhesive bond energy and the work of adhesion, are estimated using macroscopic approach based on the relations of the surface non-equilibrium thermodynamics and physics. Differences in the morphology of metallic condensates on silicon are substantiated. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» АСМ-исследования поверхности металлических конденсатов на монокристаллическом кремнии и энергетические параметры межфазного взаимодействия в системе «металлический конденсат—полупроводник» AFM Study of Surface of the Metallic Condensates on the Monocrystalline Silicon and Energy Parameters of Interface Interactions in the ‘Metallic Condensate— Semiconductor’ System Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» |
| spellingShingle |
АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. Металлические поверхности и плёнки |
| title_short |
АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» |
| title_full |
АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» |
| title_fullStr |
АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» |
| title_full_unstemmed |
АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» |
| title_sort |
асм-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» |
| author |
Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. |
| author_facet |
Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| publishDate |
2015 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
АСМ-исследования поверхности металлических конденсатов на монокристаллическом кремнии и энергетические параметры межфазного взаимодействия в системе «металлический конденсат—полупроводник» AFM Study of Surface of the Metallic Condensates on the Monocrystalline Silicon and Energy Parameters of Interface Interactions in the ‘Metallic Condensate— Semiconductor’ System |
| description |
У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів з використанням алґоритму Хошена—Копельмана, визначено характерні геометричні параметри кластерних наноутворень. Для досліджуваних металів з використанням макроскопічного підходу, що базується на співвідношеннях нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні, оцінено енергетичні параметри міжфазової взаємодії у системі «металічний конденсат—кремній»: енергію міжфазової взаємодії, міжфазовий натяг, енергію адгезійних зв’язків та роботу адгезії. Обґрунтовуються відмінності морфології металічних конденсатів на кремнії.
В работе по результатам атомно-силовой микроскопии исследована топология поверхности и структура конденсатов меди, алюминия и хрома на подложках монокристаллического кремния плоскости (111) для характерных толщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Выполнен кластерный статистический анализ поверхности полученных конденсатов с использованием алгоритма Хошена—Копельмана, определены характерные геометрические параметры кластерных нанообразований. Для исследованных металлов с использованием макроскопического подхода, базирующегося на соотношениях неравновесной термодинамики и физики поверхности, оценены энергетические параметры межфазного взаимодействия в системе «металлический конденсат—кремний»: энергия межфазного взаимодействия, межфазное натяжение, энергия адгезионных связей и работа адгезии. Обосновываются отличия морфологии металлических конденсатов на кремнии.
In this paper, the results of atomic force microscopy are used to investigate the surface topology and structure of condensates of copper, aluminium, and chromium on the (111) plane of monocrystalline silicon substrates with the characteristic thicknesses d: 2.5, 10, 50, and 100 nm. A cluster statistical analysis of obtained condensates’ surface is performed by means of the Hoshen—Kopelman algorithm; the character geometric parameters of cluster nanoformations are determined. For studied metals, the energy parameters of interphase interactions in the ‘metallic condensate—silicon’ system, such as energy of interface interaction, interfacial tension, adhesive bond energy and the work of adhesion, are estimated using macroscopic approach based on the relations of the surface non-equilibrium thermodynamics and physics. Differences in the morphology of metallic condensates on silicon are substantiated.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112435 |
| fulltext |
|
| citation_txt |
АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT komanbp asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčniikondensatnapívprovídnik AT rovecʹkiiím asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčniikondensatnapívprovídnik AT ûzevičvm asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčniikondensatnapívprovídnik AT komanbp asmissledovaniâpoverhnostimetalličeskihkondensatovnamonokristalličeskomkremniiiénergetičeskieparametrymežfaznogovzaimodeistviâvsistememetalličeskiikondensatpoluprovodnik AT rovecʹkiiím asmissledovaniâpoverhnostimetalličeskihkondensatovnamonokristalličeskomkremniiiénergetičeskieparametrymežfaznogovzaimodeistviâvsistememetalličeskiikondensatpoluprovodnik AT ûzevičvm asmissledovaniâpoverhnostimetalličeskihkondensatovnamonokristalličeskomkremniiiénergetičeskieparametrymežfaznogovzaimodeistviâvsistememetalličeskiikondensatpoluprovodnik AT komanbp afmstudyofsurfaceofthemetalliccondensatesonthemonocrystallinesiliconandenergyparametersofinterfaceinteractionsinthemetalliccondensatesemiconductorsystem AT rovecʹkiiím afmstudyofsurfaceofthemetalliccondensatesonthemonocrystallinesiliconandenergyparametersofinterfaceinteractionsinthemetalliccondensatesemiconductorsystem AT ûzevičvm afmstudyofsurfaceofthemetalliccondensatesonthemonocrystallinesiliconandenergyparametersofinterfaceinteractionsinthemetalliccondensatesemiconductorsystem |
| first_indexed |
2025-11-24T06:11:08Z |
| last_indexed |
2025-11-24T06:11:08Z |
| _version_ |
1850843000329994240 |