Cover Image

АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»

У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Металлофизика и новейшие технологии
Date:2015
Main Authors: Коман, Б.П., Ровецький, І.М., Юзевич, В.М.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Subjects:
Металлические поверхности и плёнки
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112435
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items