Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности
В работе проведён квантово-механический количественный анализ возможностей повышения чувствительности и информативности картины многократного рассеяния к несовершенствам структуры кристаллов за счёт использования дисперсионных эффектов колоссального усиления структурно чувствительных зависимостей ди...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2015 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112445 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности / Л. Н. Скапа, В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, Е. Г. Лень, Б. В. Шелудченко, С. В. Лизунова, Е. С. Скакунова, Н. Г. Толмачёв, С. В. Дмитриев, Р. В. Лехняк, Г. О. Велиховский, В. В. Молодкин, И. Н. Заболотный, Е. В. Фузик, О. П. Васькевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1567-1582. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859888038939721728 |
|---|---|
| author | Скапа, Л.Н. Лизунов, В.В. Молодкин, В.Б. Лень, Е.Г. Шелудченко, Б.В. Лизунова, С.В. Скакунова, Е.С. Толмачёв, Н.Г. Дмитриев, С.В. Лехняк, Р.В. Велиховский, Г.О. Молодкин, В.В. Заболотный, И.Н. Фузик, Е.В. Васькевич, О.П. |
| author_facet | Скапа, Л.Н. Лизунов, В.В. Молодкин, В.Б. Лень, Е.Г. Шелудченко, Б.В. Лизунова, С.В. Скакунова, Е.С. Толмачёв, Н.Г. Дмитриев, С.В. Лехняк, Р.В. Велиховский, Г.О. Молодкин, В.В. Заболотный, И.Н. Фузик, Е.В. Васькевич, О.П. |
| citation_txt | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности / Л. Н. Скапа, В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, Е. Г. Лень, Б. В. Шелудченко, С. В. Лизунова, Е. С. Скакунова, Н. Г. Толмачёв, С. В. Дмитриев, Р. В. Лехняк, Г. О. Велиховский, В. В. Молодкин, И. Н. Заболотный, Е. В. Фузик, О. П. Васькевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1567-1582. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | В работе проведён квантово-механический количественный анализ возможностей повышения чувствительности и информативности картины многократного рассеяния к несовершенствам структуры кристаллов за счёт использования дисперсионных эффектов колоссального усиления структурно чувствительных зависимостей дифракционной картины от различных условий дифракции. Установлено появление за счёт дисперсионного механизма эффектов взаимосвязанности указанных зависимостей картины от различных условий между собой и с зависимостями от характеристик дефектов и в результате изменения избирательности чувствительности этих зависимостей к дефектам какого-либо типа при вариации условий дифракции. Это существенно расширило возможности применения целенаправленно комбинированной обработки дифрактометрических данных в различных условиях дифракции для повышения информативности многопараметрической диагностики.
У роботі проведено квантово-механічну кількісну аналізу можливостей підвищення чутливости й інформативности картини багаторазового розсіяння до недосконалостей структури кристалів через використання дисперсійних ефектів колосального посилення структурно чутливих залежностей дифракційної картини від різних умов дифракції. Встановлено появу через дисперсійний механізм ефектів взаємопов’язаности зазначених залежностей картини від різних умов між собою та із залежностями від характеристик дефектів і в результаті зміни вибірковости чутливости цих залежностей до дефектів якогось типу при варіяції умов дифракції. Це істотно розширило можливості застосування цілеспрямовано комбінованого оброблення дифрактометричних даних у різних умовах дифракції для підвищення інформативности багатопараметричної діягностики.
In this work, the quantum-mechanical quantitative analysis of features to increase the sensitivity and informativeness of multiple-scattering pattern to the imperfections of the crystal structure due to the use of dispersion effects of enormous diffraction-pattern structure dependence gain on various diffraction conditions are performed. The effects of interconnection of these patterns dependences on various diffraction conditions between themselves and with dependences on the defects’ characteristics and the changes in the selective sensitivity to the defects under variation of diffraction conditions are revealed. As shown, these effects are caused by dispersion mechanism. That substantially increases the possibilities of using the purposefully combined diffractometric data given at various diffraction conditions to increasing the informativeness of multiparametric diagnostics.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:53:26Z |
| format | Article |
| fulltext |
1567
PACS numbers: 61.05.cc, 61.05.cf,61.05.cp,61.72.Dd,61.72.Qq,61.72.S-, 68.65.Ac
Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей
от различных условий дифракции картины рассеяния
и колоссального усиления этих зависимостей
и их структурной чувствительности и информативности
Л. Н. Скапа, В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, Е. Г. Лень,
Б. В. Шелудченко, С. В. Лизунова, Е. С. Скакунова, Н. Г. Толмачёв,
С. В. Дмитриев, Р. В. Лехняк, Г. О. Велиховский, В. В. Молодкин,
И. Н. Заболотный, Е. В. Фузик, О. П. Васькевич
Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины,
бульв. Акад. Вернадского, 36,
03680, ГСП, Киев, Украина
В работе проведён квантово-механический количественный анализ воз-
можностей повышения чувствительности и информативности картины
многократного рассеяния к несовершенствам структуры кристаллов за
счёт использования дисперсионных эффектов колоссального усиления
структурно чувствительных зависимостей дифракционной картины от
различных условий дифракции. Установлено появление за счёт диспер-
сионного механизма эффектов взаимосвязанности указанных зависимо-
стей картины от различных условий между собой и с зависимостями от
характеристик дефектов и в результате изменения избирательности чув-
ствительности этих зависимостей к дефектам какого-либо типа при вари-
ации условий дифракции. Это существенно расширило возможности
применения целенаправленно комбинированной обработки дифракто-
Correspondence author: Vadim Borisovich Molodkin
E-mail: v.molodkin@gmail.com
G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics, N. A. S. of Ukraine,
36 Academician Vernadsky Blvd., UA-03680 Kyiv, Ukraine
L. M. Skapa, V. V. Lizunov, V. B. Molodkin, E. G. Len, B. V. Sheludchenko,
S. V. Lizunova, O. S. Skakunova, M. G. Tolmachev, S. V. Dmitriev, R. V. Lekhnyak,
G. O. Velikhovskii, V. V. Molodkin, I. M. Zabolotnyi, K. V. Fuzik, and O. P. Vas’kevich
Dispersion Effects of Interconnection of the Scattering Pattern Dependences on
Different Diffraction Conditions and Huge Intensification of These Dependences and
Their Structure Sensitivity and Informativeness, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 37,
No. 11: 1567—1582 (2015) (in Russian).
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2015, т. 37, № 11, сс. 1567—1582
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2015 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
1568 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
метрических данных в различных условиях дифракции для повышения
информативности многопараметрической диагностики.
Ключевые слова: динамическая дифракция, дисперсионный механизм,
микродефекты.
У роботі проведено квантово-механічну кількісну аналізу можливостей
підвищення чутливости й інформативности картини багаторазового роз-
сіяння до недосконалостей структури кристалів через використання дис-
персійних ефектів колосального посилення структурно чутливих залеж-
ностей дифракційної картини від різних умов дифракції. Встановлено
появу через дисперсійний механізм ефектів взаємопов’язаности зазначе-
них залежностей картини від різних умов між собою та із залежностями
від характеристик дефектів і в результаті зміни вибірковости чутливости
цих залежностей до дефектів якогось типу при варіяції умов дифракції.
Це істотно розширило можливості застосування цілеспрямовано комбіно-
ваного оброблення дифрактометричних даних у різних умовах дифракції
для підвищення інформативности багатопараметричної діягностики.
Ключові слова: динамічна дифракція, дисперсійний механізм, мікродефекти.
In this work, the quantum-mechanical quantitative analysis of features to
increase the sensitivity and informativeness of multiple-scattering pattern
to the imperfections of the crystal structure due to the use of dispersion ef-
fects of enormous diffraction-pattern structure dependence gain on various
diffraction conditions are performed. The effects of interconnection of these
patterns dependences on various diffraction conditions between themselves
and with dependences on the defects’ characteristics and the changes in the
selective sensitivity to the defects under variation of diffraction conditions
are revealed. As shown, these effects are caused by dispersion mechanism.
That substantially increases the possibilities of using the purposefully com-
bined diffractometric data given at various diffraction conditions to increas-
ing the informativeness of multiparametric diagnostics.
Key words: dynamical diffraction, dispersion mechanism, microdefects.
(Получено 25 сентября 2015 г.)
1. ВВЕДЕНИЕ
В работах [1—14] раскрыта дисперсионная природа и показаны воз-
можности дисперсионного принципиально нового уровня повыше-
ния показателей чувствительности и информативности диагности-
ки. В частности, в работах [7, 8] предложена модель, которая позво-
ляет проводить количественный анализ вкладов различных дис-
персионных эффектов в улучшение диагностических возможностей
различных методов дисперсионной дифрактометрии как высоко-
разрешающей, так и интегральной дисперсионной дифрактометрии
при произвольных толщинах образцов. Ниже проведено обобщение
ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ ВЗАИМОСВЯЗАННОСТИ КАРТИНЫ РАССЕЯНИЯ 1569
этой модели также и на случаи многослойных систем.
2. МОДЕЛЬ ПОЛНОЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ ИНТЕНСИВНОСТИ
ДИНАМИЧЕСКОЙ ДИФРАКЦИИ В МНОГОСЛОЙНЫХ СИСТЕМАХ
Схема многослойной структуры и дифрагированных лучей в гео-
метрии Брэгга представлена на рис. 1. Система уравнений для ам-
плитуд j-го слоя:
0 0 00 0 0
0 0 0
( 2 ) ( ) 0,
( ) ( 2 ) 0,
j j j j j j
j j j j j j
D CE D
CE D D
H H H
H H H HH H
(1)
откуда связь между амплитудами падающей и отражённой волн:
( ) ( ) ( )
0 ,j j jD c D H (2)
( ) 2
0( ( 1) 1), / , / ,j j j j j j j j j jjc b y y b
H H H
0 B B B Bsin( ), sin( ), ,j j j j j sj H
2 2
B|| ||( cos sin )tg sgn(1 )( ) sin cos ,sj j j jj jb
2 2 2
0( ) / , ,j j j j j j j jjy b C E H H
2
B( ) / sin(2 ), ,j j j j j j sjK K H H
0 0 0 00 02 / , / ,j j j j j j j j Hj jb HH
Рис. 1. Схема многослойной кристаллической системы.
Fig. 1. Scheme of multilayer crystal system.
1570 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
где учтено, что 0 0j H и 0 0,j H 00 ds ( ) / ,j j j K HH B –
угол Брэгга подложки, – угол асимметрии, j , ||j – перпенди-
кулярная и параллельная компоненты деформации j-го слоя.
Для нахождения амплитуд падающей и отражённой волн, необ-
ходимо уравнение (2) дополнить граничными условиями для соот-
ветствующих волн:
0 0 1( )
T 00( ) ,j j
j
i i
j jj z t
D D e E e
K r K rr (3)
1
1
( )
S 1( ) .j j
j
i i
j jj z t
D D e E e
H HK r K r
HHr (4)
Учитывая, что
( ) ( )
0 10 jj jK
K K n на поверхности tj, и
( ) ( )
1jj jK
HHK K n на поверхности tj1, а также уравнение (2), полу-
чим следующую систему уравнений для падающих волн в j-ом слое:
(1) (2)
(1) (2)
1 1
(1) (2)
00 0
(1) (1) (2) (2)
10 0
,
,
j jj j
j jj j
iK t iK t
jj j
iK t iK t
jj j j j
D e D e E
c D e c D e E
H
(5)
( ) 2
0 00
0
1
( ) [ ( 1) 1].
2 2
j j jj j
j j
y y
Решение этой системы уравнений даёт следующее выражение
для амплитуд падающих волн:
( )
( )
1
( ) ( )
( )
0 1( )
10
( ) ( )
, , , 1,2, .
jj
jj
j jj j
iK d
j jj iK t
j j jj iK d iK d
j j
E c E e
D e d t t
c e c e
H
(6)
Запишем третье граничное условие для рассеянной волны на по-
верхности z tj:
( )
1( )
S .j j
j
i i
j jj
z t
D D e E e
H HK r K r
HH (7)
Учитывая, что
( ) ( )
1jj jK
HHK K n на поверхности z tj, и подстав-
ляя (2) и (6) в (7), для EHj получим:
( )
( )
0 1,
jjiK t
j j j j jjE D e E E
H HH (8)
где
( )
(1) (2)
( )
( )
( ) ( )
, ,
jj
jj j
iK d
jiK d
j j j
j j
ce
b e
A A
( ) ( )
( ) ( ) ( ) .j jj jiK d iK d
j j jA c e c e
Заменив в (8) индекс j на j 1, получим:
ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ ВЗАИМОСВЯЗАННОСТИ КАРТИНЫ РАССЕЯНИЯ 1571
1 1 0 1 1 2,j j j j jE E E H H
подставив это выражение в правую часть (8), получим:
0 1 0 1 1 2(2) .j j j j j j j j jE E E E H H (8.1)
Тут обозначение в скобках k 2 означает, что амплитуда волны, от-
ражённой от j-го слоя, выражена через амплитуду волны, отражён-
ной от j k j 2 слоя.
Далее, подставим в (8) вместо j индекс j 2 и подставим получен-
ное выражение в правую часть (8.1). Получим:
0 1 0 1 2 1 0 2 1 2 3(3) .j j j j j j j j j j j j j jE E E E E H H (8.2)
Продолжая подобную процедуру, можно заметить закономерность
формирования слагаемых и множителей в них. В общем случае
можно записать:
1 11
0
0 0 0
( ) ,
i kk
j j i j m j i j m j k
i m m
E k E E
H H (9)
где следует положить
0
1
N
m
m
x
при N 0.
Для нахождения амплитуд E0 ji, которые входят в (9), запишем
четвёртое граничное условие для j-го слоя:
( )
0 0 1
1
( )
0 10 .j j
j
i i
Tj jj
z t
D D e E e
K r K r (10)
Учитывая, что
( ) ( )
0 1 0j j jK
K K n на поверхности z tj1, и под-
ставляя (6) в (10), получим:
0 1 0 1,j j j j jE E E H (11)
где
( )( )
( ) ( )
, .
jjiK d
j
j j
j j
c e
A A
Уравнения (11) и (8) составляют систему рекуррентных уравне-
ний для амплитуд падающей и отражённой волн. Из (11) следует:
1 0 0 1 1 0 1 0
1
1 1
( ) и ( ).j j j j j j j j
j j
E E E E E E
H H
Подставив эти уравнения в (8), получим:
1572 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
0 1 0 1 2 0 2,j j j j jE a E b E (12)
1 1 2
1 1 1 2
1
, .
j j j j j
j j j
j j j j j
a b
Итак, найдено рекуррентное соотношение (12) для E0j. Однако,
для нахождения амплитуд в произвольном слое из рекуррентной
формулы (12) необходимо иметь два начальных значения для ам-
плитуд падающей волны. В то же время известны первое и послед-
нее значения. Одно из них является амплитудой падающей на кри-
сталл волны в вакууме E0M, а другое – амплитудой падающей вол-
ны на выходящей поверхности кристалла, которая в случае геомет-
рии Брэгга в приближении толстого кристалла равняется нулю, т.е.
E0 1 0 (согласно обозначениям на рис. 1.).
Преобразуя формулу (12) аналогично тому, как выводилась фор-
мула (9), можно выразить амплитуду падающей на подложку вол-
ны через амплитуду волны, падающей на кристалл в вакууме. Под-
ставим в (12) вместо j последовательно j 1, j 2, j 3. В результате
получим:
0 1 0 1 2 0 2(1) ,j j j j jE a E b E
0 1 2 2 0 2 1 3 0 3(2) ( ) ,j j j j j j j jE a a b E a b E
0 1 2 2 3 1 3 0 3 1 2 2 4 0 4(3) [( ) ] ( ) ,j j j j j j j j j j j j jE a a b a a b E a a b b E
0 1 2 2 3 1 3 4 1 2 2 4 0 4
1 2 2 3 1 3 5 0 5
(4) ([( ) ] ( ) )
[( ) ] .
j j j j j j j j j j j j j
j j j j j j j j
E a a b a a b a a a b b E
a a b a a b b E
В общем случае, отметив соответствующую закономерность, по-
лучим:
0 , 0 , 1 1 0 1( ) ,j j k j k j k j k j kE k c E c b E (13)
где коэффициенты cj,k определяются рекуррентным соотношением:
, , 1 , 2j k j k j k j k j kc a c b c (14)
с граничными условиями: cj1 aj1, cj2 aj1aj2 bj2.
Подставив в (13) j M, получим выражение, которое связывает
падающую волну в вакууме с амплитудами падающих волн в двух
произвольных соседних слоях (заданных индексом k):
0 , 0 , 1 1 0 1( ) .M M k M k M k M k M kE k c E c b E (15)
Если в (15) взять k M, тогда:
ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ ВЗАИМОСВЯЗАННОСТИ КАРТИНЫ РАССЕЯНИЯ 1573
0 , 00 , 1 1 0, 1( ) .M M M M ME M c E c b E
Поскольку для амплитуды падающей волны, которая в геометрии
Брэгга выходит с противоположной стороны кристалла, E0 1 0,
получаем:
0 , 00( ) .M M ME M c E (16)
Выражение (16) связывает между собой падающие волны в ваку-
уме и в подложке. Коэффициент cM,M является последним членом
рекуррентного соотношения
, , 1 , 2M k M k M k M k M kc a c b c
с граничными условиями cM1 aM1, cM2 aM1aM2 bM2 и зависит от
характеристик всех слоёв.
Из (16) получаем для падающей на подложку волны:
0 0
00
, ,
( )
.
M
M M M M
E M E
E
c c
(17)
Выражение (17) вместе с E0 1 0 являются двумя искомыми
начальными условиями для рекуррентного соотношения (12).
Подставляя эти начальные условия в (12), получим выражения
для нескольких первых значений:
0
00
,
,
M M
E
E
c
0
01 0
,
,
M M
E
E a
c
0
02 0 1 0
,
( ) ,
M M
E
E a a b
c
0
03 2 0 1 0 1 0
,
[ ( ) ] ,
M M
E
E a a a b b a
c
0
04 3 2 0 1 0 1 0 2 0 1 0
,
( [ ( ) ] ( )) .
M M
E
E a a a a b b a b a a b
c
Заметив закономерность, в общем случае можно записать:
0
0
,
,j j
M M
E
E
c
(18)
где j определяется рекуррентным соотношением:
1 1 2 2j j j j ja b
с начальными условиями 0 1, 1 a0.
Подставив (18) в (9,) получим:
1574 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
1 11
0
, 0 0 0
( ) .
i kk
j j i j m j i j m j k
M M i m m
E
E k E
c
H H (19)
Взяв в (19) j M, получим слева амплитуду отражённой от кристал-
ла волны в вакууме, которая связана с амплитудой волны, отра-
жённой от (M k)-го слоя. Известно, что амплитуда отражённой
волны на обратной стороне кристалла в геометрии Брэгга равна ну-
лю (EH, 1 0). Учитывая это, и подставляя в (19) также k M 1,
получим:
1
0
, 0 0
( 1) .
iM
M M i M m M i
M M i m
E
E M
c
H
Для дифференциальной отражательной способности получим:
22
coh coh,2
0 0,
1 ( 1) 1
( ) ( ) ,
M
M
j j
jM M
E M
R r
b E b c
H
(20)
1
coh,
0
( ) .
j
j j M j M m M j
m
r
Для интегральной интенсивности получим:
2
i
coh,coh 2
0,
1 1
( ) ( ).
M
j j
jM M
R r d
b c
3. ПОЛУЧЕННЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
На основе построенной обобщённой модели дисперсионно чувстви-
тельной дифрактометрии неидеальных кристаллов произвольной
толщины проведён анализ дифференциальных и интегральных
картин рассеяния для широкого интервала эффективных толщин
кристалла.
На рисунке 2 представлены толщинные зависимости полной инте-
гральной интенсивности динамической дифракции (ПИИДД) для
несовершенных кристаллов с различными дефектными структурами,
нормированные (рис. 2, а—в) и не нормированные (рис. 2, г) на соответ-
ствующую зависимость для совершенного кристалла. На графиках
рис. 2, а и г кроме толщинной зависимости ПИИДД представлены
также аналогичные зависимости брэгговской и диффузной составля-
ющих ПИИДД. Фиттированием экспериментальной толщинной за-
висимости (рис. 2, а) получены следующие параметры дефектной
структуры исследуемого кристалла Si: сферические кластеры Cu3Si
ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ ВЗАИМОСВЯЗАННОСТИ КАРТИНЫ РАССЕЯНИЯ 1575
с деформацией на границе кластера 0,13, радиусом RP 0,02 мкм
и концентрацией cP 91010
см
3
(LH 0,018). Отметим, что данный
метод позволяет надёжно фиксировать рекордно низкие концен-
трации дефектов кулоновского типа.
Расчёты для различных дефектных структур рассмотренного
кристалла Si демонстрируют высокую чувствительность толщин-
ных зависимостей ПИИДД к изменению, как типа (радиуса) дефек-
тов, так и их концентрации. Чувствительность к типу дефекта демон-
-2 -1 0 1 2 3
0
1
2
3
4
5
R
in
ln(
0
t)
R
in
R
iBn
R
iDn
R
in perf
R
exp
-2 -1 0 1 2 3
0
1
2
3
4
5
R
in
ln(
0
t)
L
H
=0,018
R
P
=0,02 мкм
R
P
=0,2 мкм
R
P
=2 мкм
Perf.
Exp.
а б
-2 -1 0 1 2 3
0
2
4
6
8
R i
n
ln(
0
t)
R
P
=0,02 мкм
L
H
=0,018
L
H
=0,009
L
H
=0,036
perf.
Exp
-6 -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3
0,00000
0,00002
0,00004
R
i
ln(
0
t)
R
i
R
iB
R
iD
R
i perf
в г
Рис. 2. Теоретические (сплошные линии) и экспериментальные (маркеры)
толщинные зависимости нормированной ПИИДД (Rin) (а—в) и её брэггов-
ской (RiBn) и диффузной (RiDn) составляющих (а), а также не нормирован-
ная на интегральную интенсивность идеального кристалла зависимость
ПИИДД (Ri) и её составляющие (г) для монокристаллов Si с различной де-
фектной структурой (Лауэ-дифракция, рефлекс (220)).
Fig. 2. Theoretical (solid line) and experimental (markers) thickness depend-
ences of normalized on integral intensity of perfect crystal the total integral
intensity of dynamical diffraction (TIIDD) (Rin) for single Si crystal with var-
ious defect structures (а—в) and its Bragg (RiBn) and diffuse (RiDn) components
(а), as well as the thickness dependence of non-normalized TIIDD (Ri) and its
components (г) (Laue-diffraction, reflex (220)).
1576 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
стрирует рис. 2, б, где представлены расчёты для кластеров с радиуса-
ми RP 0,02, 0,2, 2 мкм при одинаковых значениях LH 0,018, т.е.
при cP 91010, 3,8109, 1,2106
см
3
соответственно, а к концентрации
дефектов – рис. 2, в, где представлены расчёты для кластеров с RP
0,02 мкм и концентрациями в два раза меньше (LH 0,009) и в два
раза больше (LH 0,036) восстановленной из эксперимента кон-
центрации cP 91010
см
3
(LH 0,018).
Кроме того, из рис. 2 видно, что существенные отклонения (их знак
и величина) ПИИДД несовершенного кристалла от соответствующей
интенсивности в совершенном кристалле подтверждаются экспери-
ментально и обуславливаются результатом конкуренции разных со-
ставляющих дисперсионного механизма, которые влияют на соотно-
шение брэгговской и диффузной компонент ПИИДД и зависят от
условий дифракции (в частности, от эффективной толщины). Так, для
динамически тонких кристаллов (t 1) наблюдается увеличение
ПИИДД до 400% за счёт дисперсионного эффекта аномального роста
вклада диффузной составляющей. При этом для динамически тол-
стых кристаллов (t 1) ПИИДД уменьшается на 1—2 порядка вели-
чины за счёт определяющего вклада увеличения дисперсионных ин-
терференционного поглощения и эффекта экстинкции.
При этом зависимости от толщины и их чувствительность к несо-
вершенствам структуры отдельно для брэгговской и диффузной со-
ставляющих ПИИДД существенно отличаются (даже знаком) между
собой и демонстрируют радикально повышенную чувствительность
к дефектам в сравнении с чувствительностью непосредственно самой
ПИИДД. Это свидетельствует о целесообразности использования
методов именно трёхкристальной интегральной дифрактометрии.
Таким образом, показано, что максимальная информативность и
чувствительность к дефектам за счёт роста вклада диффузной со-
ставляющей ПИИДД наблюдается в области промежуточных значе-
ний эффективной толщины кристалла, где в результате дефекты
первого класса по Кривоглазу проявляются в динамической картине,
как дефекты второго класса. При дальнейшем увеличении эффек-
тивной толщины кристалла изменяется характер дисперсионного
влияния дефектов от их определяющего влияния на отражательные
способности к определяющей роли их влияния на поглощательную
способность. При этом в первом случае дефекты обеспечивают за счёт
указанного увеличения вклада диффузной составляющей значи-
тельное повышение полной отражательной способности кристалла с
ростом его неидеальности, т.е. общее повышение дифрагированной
интенсивности. При увеличении толщины переход к определяющей
роли поглощательной способности приводит к изменению знака
влияния дефектов на картину рассеяния, а именно к общему суще-
ственному уменьшению дифрагированной интенсивности с ростом
неидеальности кристалла, которое обеспечивается соответствующим
ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ ВЗАИМОСВЯЗАННОСТИ КАРТИНЫ РАССЕЯНИЯ 1577
дисперсионным влиянием неидеальностей за счёт динамического
фактора Кривоглаза—Дебая—Валлера на интерференционные коэф-
фициенты поглощения брэгговской и диффузной составляющих и на
коэффициенты их экстинкции за счёт эффектов многократности рас-
сеяния на неидеальностях структуры кристаллов.
Результаты, представленные на рис. 3, дали возможность устано-
вить, дисперсионный эффект взаимосвязанности влияний различ-
ных условий дифракции на картину рассеяния, а именно, что на ха-
рактер толщинной зависимости ПИИДД существенно влияют другие
условия дифракции, в частности, использование жёсткого излуче-
ния WK1 и больших векторов дифракции (333) позволяет повысить
чувствительность ПИИДД к дефектам за счёт дисперсионного эф-
фекта аномального повышения вклада диффузной составляющей на
четыре порядка величины для динамически тонких кристаллов и
дополнительно повысить её ещё на 1—2 порядка при переходе к мяг-
кому излучению (CuK1) и понижения ПИИДД неидеальных кри-
сталлов относительно соответствующего случая полностью идеаль-
ных кристаллов за счёт относительного повышения интерференци-
онного поглощения и эффектов экстинкции. При этом эффект уси-
ления чувствительности к несовершенствам структуры толщинных
зависимостей ПИИДД за счёт изменения длины волны излучения
может дополнительно усиливаться при переходе к отражениям с бо-
лее высокими индексами, т.е. может управляться выбором рефлек-
сов или геометрии дифракции.
Таким образом, используя различные условия дифракции (о ком-
бинации различных методов см. [15]), можно достигнуть повышения
диапазона изменений величины ПИИДД до 5—6 порядков величины.
Проведённый анализ рис. 3 позволил сделать заключение, что с
изменением условий дифракции изменяются определяющие меха-
низмы дисперсионных эффектов и соотношения вкладов брэггов-
ской и диффузной составляющих и вкладов от дефектов разного ти-
па, и это приводит к радикальному усилению и к изменению харак-
тера (даже знака) влияния дефектов на динамическую картину рас-
сеяния, т.е. дефекты могут как уменьшать, так и повышать интен-
сивность рассеяния в какой-либо точке пространства обратной ре-
шётки, как и интегральную интенсивность, в сравнении с таковой в
идеальном кристалле и при этом очень существенно (на порядки ве-
личины). Отличия взаимосвязанных зависимостей всех перечис-
ленных дисперсионных эффектов от характеристик дефектов раз-
ного типа так же, как и от условий дифракции, обеспечивают уни-
кально чувствительную к характеристикам дефектов многообраз-
ность (подтверждённую экспериментально) динамической карти-
ны, обусловленную взаимосвязанной зависимостью от условий ди-
фракции характера результирующего влияния дефектов разного
типа на картину рассеяния, и обуславливают качественно новые
1578 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
функциональные возможности информативности диагностики, в
частности, возможность однозначной высокочувствительной мно-
гопараметрической дифрактометрии.
10 100 1000 10000 100000
1E-3
0,01
0,1
1
10
100
1000
10000
R
in
t, мкм
Laue
CuK1
Si(111)
CuK1
Si(333)
MoK1
Si(111)
MoK1
Si(333)
WK1
Si(111)
WK1
Si(333)
Perfect
0,001
а
0 500 1000 1500 2000 2500 3000
2
4
6
8
10
Bragg
CuK1
Si(111)
CuK1
Si(333)
MoK1
Si(111)
MoK1
Si(333)
WK1
Si(111)
WK1
Si(333)
Perfect
R
in
t, мкм
б
Рис. 3. Влияние на зависимость от эффективной толщины ПИИДД других
условий дифракции: дины волны, отражения и геометрии дифракции.
Кластеры SiO2 в монокристалле Si: RP 0,01, cP 6,911014
см
3
(L111
0,001, L333 0,0085).
Fig. 3. Influence on TIIDD dependence from effective thickness of other dif-
fraction conditions: wave length, reflex, and geometry of diffraction. Clus-
ters SiO2 in single Si crystal: RP 0.01, cP 6.911014
cm
3
(L111 0.001, L333
0.0085).
ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ ВЗАИМОСВЯЗАННОСТИ КАРТИНЫ РАССЕЯНИЯ 1579
Полученные результаты демонстрируют, что установленная при-
рода (дисперсионный механизм) уникальной чувствительности к де-
фектам взаимосвязанных зависимостей от условий дифракции ди-
намической картины, что наблюдается на эксперименте, может быть
использована при решении проблемы однозначной диагностики
структурного совершенства многопараметрических систем путём
применения комбинированного подхода при обработке эксперимен-
тальных картин рассеяния в целенаправленно выбранных (на основе
анализа особенностей проявления дисперсионного механизма в зави-
симости от типа дефектов и методов дифрактометрии) условиях ди-
намической дифракции.
4. ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Таким образом, в работе установлены дисперсионные эффекты взаи-
мосвязанности и колоссального усиления зависимостей картины мно-
гократного рассеяния от разных условий дифракции, которые оказа-
лись взаимосвязанными как между собой, так и с зависимостями кар-
тины рассеяния от характеристик несовершенств структуры. Это
обеспечило возможность целенаправленного изменения избиратель-
ности чувствительности этих зависимостей к дефектам одного или
другого типа при вариации остальных условий дифракции и в резуль-
тате радикальное улучшение показателей чувствительности и инфор-
мативности диагностики и решило проблему неразрушающей диагно-
стики структурного совершенства многопараметрических систем.
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
1. В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, С. В. Лизунова, Н. Г. Толмачев, Е. С. Скакунова,
С. В. Дмитриев, Б. В. Шелудченко, С. М. Бровчук, Л. Н. Скапа, Р. В. Лехняк,
Е. В. Фузик, Металлофиз. новейшие технол., 36, № 7: 857 (2014).
2. В. Б. Молодкин, С. В. Лизунова, Н. Г. Толмачев, Е. С. Скакунова,
С. В. Дмитриев, Б. В. Шелудченко, С. М. Бровчук, Л. Н. Скапа, Р. В. Лехняк,
В. В. Молодкин, Е. В. Фузик, Успехи физики металлов, 15, № 2: 55 (2014).
3. S. M. Brovchuk, V. B. Molodkin, A. I. Nizkova, I. I. Rudnytska, G. I. Grankina,
V. V. Lizunov, S. V. Lizunova, B. V. Sheludchenko, E. S. Skakunova, S. V. Dmitriev,
I. N. Zabolotnyi, A. A. Katasonov, B. F. Zhuravlev, R. V. Lekhnyak, L. N. Skapa,
and N. P. Irha, Металлофиз. новейшие технол., 36, № 8: 1035 (2014).
4. В. В. Лизунов, С. М. Бровчук, А. И. Низкова, В. Б. Молодкин, С. В. Лизунова,
Б. В. Шелудченко, А. И. Гранкина, И. И. Рудницкая, С. В. Дмитриев,
Н. Г. Толмачев, Р. В. Лехняк, Л. Н. Скапа, Н. П. Ирха, Металлофиз. новейшие
технол., 36, № 9: 1271 (2014).
5. В. Б. Молодкин, В. В. Лизунов, С. В. Лизунова, Е. С. Скакунова, С. В. Дмитриев,
Б. В. Шелудченко, С. М. Бровчук, Л. Н. Скапа, Наноразмерные системы и
наноматериалы: состояние и перспективы развития исследований в Украине
(Киев: Академпериодика: 2014), с. 253.
1580 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
6. В. В. Лизунов, С. М. Бровчук, А. И. Низкова, В. Б. Молодкин, С. В. Лизунова,
Б. В. Шелудченко, А. И. Гранкина, И. И. Рудницкая, С. В. Дмитриев,
Н. Г. Толмачев, Р. В. Лехняк, Л. Н. Скапа, Н. П. Ирха, Наносистеми,
наноматеріали, нанотехнології, 12, № 3: 565 (2014).
7. В. В. Лизунов, Е. В. Кочелаб, Е. С. Скакунова, Е. Г. Лень, В. Б. Молодкин,
С. И. Олиховский, Н. Г. Толмачёв, Б. В. Шелудченко, С. В. Лизунова,
Л. Н. Скапа, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 13, № 1: 99 (2015).
8. В. В. Лизунов, Е. В. Кочелаб, Е. С. Скакунова, Е. Г. Лень, В. Б. Молодкин,
С. И. Олиховский, Н. Г. Толмачёв, Б. В. Шелудченко, С. В. Лизунова,
Л. Н. Скапа, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 13, № 2: 349
(2015).
9. В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, С. В. Лизунова,
Н. Г. Толмачев, А. И. Низкова, Е. С. Скакунова, С. В. Дмитриев,
Б. В. Шелудченко, Я. В. Василик, Т. Г. Сыч, Е. В. Фузик, Р. В. Лехняк,
Л. Н. Скапа, Металлофиз. новейшие технол., 37, № 2: 265 (2015).
10. В. Б. Молодкін, В. Ю. Сторіжко, В. В. Лизунов, С. В. Лізунова, М. Г. Толмачов,
Л. М. Скапа, К. В. Фузік, В. В. Молодкін, О. С. Скакунова, Б. В. Шелудченко,
С. В. Дмітрієв, Є. В. Кочелаб, Р. В. Лехняк, Успехи физики металлов, 16, № 2:
159 (2015).
11. О. С. Скакунова, С. Й. Оліховський, В. Б. Молодкін, Є. Г. Лень,
Є. М. Кисловський, О. В. Решетник, Т. П. Владімірова, Є. В. Кочелаб,
В. В. Лизунов, С. В. Лізунова, В. Л. Маківська, М. Г. Толмачов, Л. М. Скапа,
Я. В. Василик, К. В. Фузік, Металлофиз. новейшие технол., 37, № 3: 409
(2015).
12. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. S. Skakunova, E. G. Len, E. N. Kislovskii,
O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, V. V. Lizunov, L. N. Skapa, S. V. Lizunova,
E. V. Fuzik, N. G. Tolmachev, B. K. Ostafiychuk, V. M. Pylypiv, and O. Z. Garpul’,
Металлофиз. новейшие технол., 37, № 8: 1017 (2015).
13. С. В. Дмитриев, Р. В. Лехняк, В. Б. Молодкин, В. В. Лизунов, Л. Н. Скапа,
Е. С. Скакунова, С. В. Лизунова, С. И. Олиховский, Е. Г. Лень, Н. Г. Толмачев,
Б. В. Шелудченко, Е. В. Фузик, Г. О. Велиховский, Металлофиз. новейшие
технол., 37, № 9: 1169 (2015).
14. В. Б. Молодкін, В. Ю. Сторіжко, С. В. Лізунова, Б. В. Шелудченко,
В. В. Лізунов, М. Г. Толмачов, Є. М. Кисловський, С. Й. Оліховський,
С. О. Вершинський, В. Л. Денисенко, К. В. Фузік, Г. О. Веліховський,
Р. В. Лехняк, Є. Г. Лень, Л. М. Скапа, С. М. Бровчук, Наносистеми,
наноматеріали, нанотехнології, 13, № 3: 469 (2015).
15. A. P. Shpak, V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, Ye. M. Kyslovskyy,
O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, E. G. Len, A. I. Nizkova, V. M. Venger,
and S. V. Dmitriev, phys. stat. sol. (a), 204, No.8: 2651 (2007).
REFERENCES
1. V. V. Lizunov, V. B. Molodkin, S. V. Lizunova, N. G. Tolmachev, E. S. Skakunova,
S. V. Dmitriev, B. V. Sheludchenko, S. M. Brovchuk, L. N. Skapa, R. V. Lekhnyak,
and E. V. Fuzik, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 36, No. 7: 857 (2014) (in Russian).
2. V. V. Lizunov, V. B. Molodkin, S. V. Lizunova, N. G. Tolmachev, E. S. Skakunova,
S. V. Dmitriev, B. V. Sheludchenko, S. M. Brovchuk, L. N. Skapa, R. V. Lekhnyak,
V. V. Molodkin, and E. V. Fuzik, Uspehi Fiziki Metallov, 15, No. 2: 55 (2014)
ДИСПЕРСИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ ВЗАИМОСВЯЗАННОСТИ КАРТИНЫ РАССЕЯНИЯ 1581
(in Russian).
3. S. M. Brovchuk, V. B. Molodkin, A. I. Nizkova, I. I. Rudnytska, G. I. Grankina,
V. V. Lizunov, S. V. Lizunova, B. V. Sheludchenko, E. S. Skakunova, S. V. Dmitriev,
I. N. Zabolotnyi, A. A. Katasonov, B. F. Zhuravlev, R. V. Lekhnyak, L. N. Skapa,
and N. P. Irha, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 36, No. 8: 1035 (2014).
4. V. V. Lizunov, S. M. Brovchuk, A. I. Nizkova, V. B. Molodkin, S. V. Lizunova,
B. V. Sheludchenko, G. I. Grankina, I. I. Rudnitska, S. V. Dmitriev,
M. G. Tolmachev, R. V. Lekhnyak, L. M. Skapa, and N. P. Irha, Metallofiz.
Noveishie Tekhnol., 36, No. 9: 1271 (2014) (in Russian).
5. V. B. Molodkin, V. V. Lizunov, S. V. Lizunova, E. S. Skakunova, S. V. Dmitriev,
B. V. Sheludchenko, S. M. Brovchuk, and L. N. Skapa, Nanorazmernye Sistemy i
Nanomaterialy: Sostoyanie i Perspektivy Razvitiya Issledovaniy v Ukraine [Na-
noscale systems and Nanomaterials: State and
Perspectives of Investigation Development in Ukraine] (Kyiv: Akademperiodika:
2014), p. 253 (in Russian).
6. V. V. Lizunov, S. M. Brovchuk, A. I. Nizkova, V. B. Molodkin, S. V. Lizunova,
B. V. Sheludchenko, G. I. Grankina, I. I. Rudnytska, S. V. Dmitriev,
M. G. Tolmachov, R. V. Lekhnyak, L. M. Skapa, and N. P. Irha, Nanosistemi,
Nanomateriali, Nanotehnologii, 12, No. 3: 565 (2014) (in Russian).
7. V. V. Lizunov, E. V. Kochelab, O. S. Skakunova, E. G. Len, V. B. Molodkin,
S. J. Olikhovs’kyy, M. G. Tolmachov, B. V. Sheludchenko, S. V. Lizunova, and
L. M. Skapa, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 13, No. 1: 99 (2015) (in
Russian).
8. V. V. Lizunov, E. V. Kochelab, O. S. Skakunova, E. G. Len, V. B. Molodkin,
S. J. Olikhovs’kyy, M. G. Tolmachov, B. V. Sheludchenko, S. V. Lizunova, and
L. M. Skapa, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 13, No. 2: 349 (2015)
(in Russian).
9. V. V. Lizunov, V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, S. V. Lizunova, N. G. Tolmachev,
H. I. Nizkova, O. S. Skakunova, S. V. Dmitriev, B. V. Sheludchenko, Ya. V. Vasylyk,
T. G. Sych, K. K. Fuzik, R. V. Lekhnyak, and L. M. Skapa, Metallofiz. Noveishie
Tekhnol., 37, No. 2: 265 (2015)
(in Russian).
10. V. B. Molodkin, V. E. Storizhko, V. V. Lizunov, S. V. Lizunova, M. H. Tolmachov,
L. M. Skapa, K. V. Fuzik, V. V. Molodkin, O. S. Skakunova, B. V. Sheludchenko,
S. V. Dmitriev, Ye. V. Kochelab, and R. V. Lekhnyak, Uspehi Fiziki Metallov, 16,
No. 2: 159 (2015) (in Ukrainian).
11. O. S. Skakunova, S. I. Olikhovskii, V. B. Molodkin, E. G. Len, E. M. Kislovskii,
O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, E. V. Kochelab, V. V. Lizunov, S. V. Lizunova,
V. L. Makivs’ka, M. G. Tolmachov, L. M. Skapa, Ya. V. Vasylyk, and K. V. Fuzik,
Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 37, No. 3: 409 (2015) (in Ukrainian).
12. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. S. Skakunova, E. G. Len, E. N. Kislovskii,
O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, V. V. Lizunov, L. N. Skapa, S. V. Lizunova,
E. V. Fuzik, N. G. Tolmachev, B. K. Ostafiychuk, V. M. Pylypiv, and O. Z. Garpul’,
Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 37, No. 8: 1017 (2015).
13. S. V. Dmitriev, R. V. Lekhnyak, V. B. Molodkin, V. V. Lizunov, L. M. Skapa,
O. S. Skakunova, S. V. Lizunova, S. I. Olikhovskii, E. G. Len, M. G. Tolmachyov,
B. V. Sheludchenko, K. V. Fuzik, and G. O. Velikhovskii, Metallofiz. Noveishie
Tekhnol., 37, No. 9: 1169 (2015) (in Russian).
14. V. B. Molodkin, V. Yu. Storizhko, S. V. Lizunova, B. V. Sheludchenko,
V. V. Lizunov, M. G. Tolmachov, E. M. Kyslovskyi, S. J. Olikhovskyi,
1582 Л. Н. СКАПА, В. В. ЛИЗУНОВ, В. Б. МОЛОДКИН и др.
S. O. Vershynskiy, V. L. Denysenko, K. V. Fuzik, G. O. Velikhovskyi,
R. V. Lekhnyak, E. G. Len, L. M. Skapa, and S. M. Brovchuk, Nanosistemi,
Nanomateriali, Nanotehnologii, 13, No. 3: 469 (2015) (in Ukrainian).
15. A. P. Shpak, V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, Ye. M. Kyslovskyy,
O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, E. G. Len, A. I. Nizkova, V. M. Venger,
and S. V. Dmitriev, phys. stat. sol. (a), 204, No.8: 2651 (2007).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <FEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006f006d002000640075002000760069006c006c00200073006b006100700061002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400200073006f006d002000e400720020006c00e4006d0070006c0069006700610020006600f60072002000700072006500700072006500730073002d007500740073006b00720069006600740020006d006500640020006800f600670020006b00760061006c0069007400650074002e002000200053006b006100700061006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006b0061006e002000f600700070006e00610073002000690020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00630068002000730065006e006100720065002e>
/TUR <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>
/UKR <FEFF04120438043a043e0440043804410442043e043204430439044204350020044604560020043f043004400430043c043504420440043800200434043b044f0020044104420432043e04400435043d043d044f00200434043e043a0443043c0435043d044204560432002000410064006f006200650020005000440046002c0020044f043a04560020043d04300439043a04400430044904350020043f045604340445043e0434044f0442044c00200434043b044f0020043204380441043e043a043e044f043a04560441043d043e0433043e0020043f0435044004350434043404400443043a043e0432043e0433043e0020043404400443043a0443002e00200020042104420432043e04400435043d045600200434043e043a0443043c0435043d0442043800200050004400460020043c043e0436043d04300020043204560434043a0440043804420438002004430020004100630072006f006200610074002004420430002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002004300431043e0020043f04560437043d04560448043e04570020043204350440044104560457002e>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112445 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:53:26Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Скапа, Л.Н. Лизунов, В.В. Молодкин, В.Б. Лень, Е.Г. Шелудченко, Б.В. Лизунова, С.В. Скакунова, Е.С. Толмачёв, Н.Г. Дмитриев, С.В. Лехняк, Р.В. Велиховский, Г.О. Молодкин, В.В. Заболотный, И.Н. Фузик, Е.В. Васькевич, О.П. 2017-01-21T17:47:51Z 2017-01-21T17:47:51Z 2015 Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности / Л. Н. Скапа, В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, Е. Г. Лень, Б. В. Шелудченко, С. В. Лизунова, Е. С. Скакунова, Н. Г. Толмачёв, С. В. Дмитриев, Р. В. Лехняк, Г. О. Велиховский, В. В. Молодкин, И. Н. Заболотный, Е. В. Фузик, О. П. Васькевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1567-1582. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 61.05.cc, 61.05.cf, 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Qq, 61.72.S-, 68.65.Ac https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112445 В работе проведён квантово-механический количественный анализ возможностей повышения чувствительности и информативности картины многократного рассеяния к несовершенствам структуры кристаллов за счёт использования дисперсионных эффектов колоссального усиления структурно чувствительных зависимостей дифракционной картины от различных условий дифракции. Установлено появление за счёт дисперсионного механизма эффектов взаимосвязанности указанных зависимостей картины от различных условий между собой и с зависимостями от характеристик дефектов и в результате изменения избирательности чувствительности этих зависимостей к дефектам какого-либо типа при вариации условий дифракции. Это существенно расширило возможности применения целенаправленно комбинированной обработки дифрактометрических данных в различных условиях дифракции для повышения информативности многопараметрической диагностики. У роботі проведено квантово-механічну кількісну аналізу можливостей підвищення чутливости й інформативности картини багаторазового розсіяння до недосконалостей структури кристалів через використання дисперсійних ефектів колосального посилення структурно чутливих залежностей дифракційної картини від різних умов дифракції. Встановлено появу через дисперсійний механізм ефектів взаємопов’язаности зазначених залежностей картини від різних умов між собою та із залежностями від характеристик дефектів і в результаті зміни вибірковости чутливости цих залежностей до дефектів якогось типу при варіяції умов дифракції. Це істотно розширило можливості застосування цілеспрямовано комбінованого оброблення дифрактометричних даних у різних умовах дифракції для підвищення інформативности багатопараметричної діягностики. In this work, the quantum-mechanical quantitative analysis of features to increase the sensitivity and informativeness of multiple-scattering pattern to the imperfections of the crystal structure due to the use of dispersion effects of enormous diffraction-pattern structure dependence gain on various diffraction conditions are performed. The effects of interconnection of these patterns dependences on various diffraction conditions between themselves and with dependences on the defects’ characteristics and the changes in the selective sensitivity to the defects under variation of diffraction conditions are revealed. As shown, these effects are caused by dispersion mechanism. That substantially increases the possibilities of using the purposefully combined diffractometric data given at various diffraction conditions to increasing the informativeness of multiparametric diagnostics. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Дефекты кристаллической решётки Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности Дисперсійні ефекти взаємопов’язаності залежностей від різних умов дифракції картини розсіяння та колосального посилення цих залежностей та їх структурної чутливості та інформативності Dispersion Effects of Interconnection of the Scattering Pattern Dependences on Different Diffraction Conditions and Huge Intensification of These Dependences and Their Structure Sensitivity and Informativeness Article published earlier |
| spellingShingle | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности Скапа, Л.Н. Лизунов, В.В. Молодкин, В.Б. Лень, Е.Г. Шелудченко, Б.В. Лизунова, С.В. Скакунова, Е.С. Толмачёв, Н.Г. Дмитриев, С.В. Лехняк, Р.В. Велиховский, Г.О. Молодкин, В.В. Заболотный, И.Н. Фузик, Е.В. Васькевич, О.П. Дефекты кристаллической решётки |
| title | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности |
| title_alt | Дисперсійні ефекти взаємопов’язаності залежностей від різних умов дифракції картини розсіяння та колосального посилення цих залежностей та їх структурної чутливості та інформативності Dispersion Effects of Interconnection of the Scattering Pattern Dependences on Different Diffraction Conditions and Huge Intensification of These Dependences and Their Structure Sensitivity and Informativeness |
| title_full | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности |
| title_fullStr | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности |
| title_full_unstemmed | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности |
| title_short | Дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности |
| title_sort | дисперсионные эффекты взаимосвязанности зависимостей от различных условий дифракции картины рассеяния и колоссального усиления этих зависимостей и их структурной чувствительности и информативности |
| topic | Дефекты кристаллической решётки |
| topic_facet | Дефекты кристаллической решётки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112445 |
| work_keys_str_mv | AT skapaln dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT lizunovvv dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT molodkinvb dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT lenʹeg dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT šeludčenkobv dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT lizunovasv dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT skakunovaes dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT tolmačevng dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT dmitrievsv dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT lehnâkrv dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT velihovskiigo dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT molodkinvv dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT zabolotnyiin dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT fuzikev dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT vasʹkevičop dispersionnyeéffektyvzaimosvâzannostizavisimosteiotrazličnyhusloviidifrakciikartinyrasseâniâikolossalʹnogousileniâétihzavisimosteiiihstrukturnoičuvstvitelʹnostiiinformativnosti AT skapaln dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT lizunovvv dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT molodkinvb dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT lenʹeg dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT šeludčenkobv dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT lizunovasv dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT skakunovaes dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT tolmačevng dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT dmitrievsv dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT lehnâkrv dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT velihovskiigo dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT molodkinvv dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT zabolotnyiin dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT fuzikev dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT vasʹkevičop dispersíiníefektivzaêmopovâzanostízaležnosteivídríznihumovdifrakcííkartinirozsíânnâtakolosalʹnogoposilennâcihzaležnosteitaíhstrukturnoíčutlivostítaínformativností AT skapaln dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT lizunovvv dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT molodkinvb dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT lenʹeg dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT šeludčenkobv dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT lizunovasv dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT skakunovaes dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT tolmačevng dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT dmitrievsv dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT lehnâkrv dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT velihovskiigo dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT molodkinvv dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT zabolotnyiin dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT fuzikev dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness AT vasʹkevičop dispersioneffectsofinterconnectionofthescatteringpatterndependencesondifferentdiffractionconditionsandhugeintensificationofthesedependencesandtheirstructuresensitivityandinformativeness |