Получение и исследование нанотрубок оксида цинка

Получение и исследование нанотрубок оксида цинка

Проведён гидротермальный синтез наноразмерных структур оксида цинка с трубчатой морфологией. Методами рентгеноструктурного анализа, растровой электронной микроскопии, атомной силовой микроскопии, оже-электронной спектроскопии и фотолюминесцентной спектроскопии получены данные о кристаллической струк...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Металлофизика и новейшие технологии
Дата:2016
Автори: Горбик, П.П., Дубровин, И.В., Кашин, Г.Н.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
Теми:
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112486
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Получение и исследование нанотрубок оксида цинка / П. П. Горбик, И. В. Дубровин, Г. Н. Кашин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 3. — С. 341-351. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112486
record_format dspace
spelling Горбик, П.П.
Дубровин, И.В.
Кашин, Г.Н.
2017-01-22T14:51:48Z
2017-01-22T14:51:48Z
2016
Получение и исследование нанотрубок оксида цинка / П. П. Горбик, И. В. Дубровин, Г. Н. Кашин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 3. — С. 341-351. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
1024-1809
PACS: 61.46.Fg, 68.37.Ps, 68.37.Hk, 77.84.Bw, 78.55.Et, 81.07.De, 82.80.Pv
DOI: 10.15407/mfint.38.03.0341
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112486
Проведён гидротермальный синтез наноразмерных структур оксида цинка с трубчатой морфологией. Методами рентгеноструктурного анализа, растровой электронной микроскопии, атомной силовой микроскопии, оже-электронной спектроскопии и фотолюминесцентной спектроскопии получены данные о кристаллической структуре, химическом составе, спектрах фотолюминесценции и морфологии синтезированного материала. Исследовано влияние состава продукта-предшественника и условий проведения гидротермального синтеза на характеристики трубчатых наноструктур.
Здійснено гідротермальний синтез нанорозмірних частинок оксиду цинку з трубчастою морфологією. Методами ренґеноструктурного аналізу, растрової електронної мікроскопії, атомної силової мікроскопії, Оже-електронної мікроскопії та фотолюмінесцентної спектроскопії одержано дані про кристалічну структуру, хімічний склад, спектри фотолюмінесценції та морфологію синтезованого матеріалу. Досліджено вплив складу продукту-попередника й умов проведення гідротермального синтезу на характеристики трубчастих наноструктур.
Zinc-oxide nanosize particles with a tubular morphology are synthesized by the hydrothermal method. Their crystal structure, chemical composition, surface morphology, and photoluminescence spectra are characterized by X-ray diffraction, transmission electron microscopy, atomic force microscopy, Auger electron spectroscopy, and photoluminescence spectroscopy. The effect of both the precursor composition and the conditions under hydrothermal synthesis on the properties of ZnO nanotubes is studied.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
Отримання та дослідження нанотрубок оксиду цинку
Fabrication and Characterization of Zinc Oxide Nanotubes
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
spellingShingle Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
Горбик, П.П.
Дубровин, И.В.
Кашин, Г.Н.
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
title_short Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
title_full Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
title_fullStr Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
title_full_unstemmed Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
title_sort получение и исследование нанотрубок оксида цинка
author Горбик, П.П.
Дубровин, И.В.
Кашин, Г.Н.
author_facet Горбик, П.П.
Дубровин, И.В.
Кашин, Г.Н.
topic Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
topic_facet Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
publishDate 2016
language Russian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Отримання та дослідження нанотрубок оксиду цинку
Fabrication and Characterization of Zinc Oxide Nanotubes
description Проведён гидротермальный синтез наноразмерных структур оксида цинка с трубчатой морфологией. Методами рентгеноструктурного анализа, растровой электронной микроскопии, атомной силовой микроскопии, оже-электронной спектроскопии и фотолюминесцентной спектроскопии получены данные о кристаллической структуре, химическом составе, спектрах фотолюминесценции и морфологии синтезированного материала. Исследовано влияние состава продукта-предшественника и условий проведения гидротермального синтеза на характеристики трубчатых наноструктур. Здійснено гідротермальний синтез нанорозмірних частинок оксиду цинку з трубчастою морфологією. Методами ренґеноструктурного аналізу, растрової електронної мікроскопії, атомної силової мікроскопії, Оже-електронної мікроскопії та фотолюмінесцентної спектроскопії одержано дані про кристалічну структуру, хімічний склад, спектри фотолюмінесценції та морфологію синтезованого матеріалу. Досліджено вплив складу продукту-попередника й умов проведення гідротермального синтезу на характеристики трубчастих наноструктур. Zinc-oxide nanosize particles with a tubular morphology are synthesized by the hydrothermal method. Their crystal structure, chemical composition, surface morphology, and photoluminescence spectra are characterized by X-ray diffraction, transmission electron microscopy, atomic force microscopy, Auger electron spectroscopy, and photoluminescence spectroscopy. The effect of both the precursor composition and the conditions under hydrothermal synthesis on the properties of ZnO nanotubes is studied.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112486
citation_txt Получение и исследование нанотрубок оксида цинка / П. П. Горбик, И. В. Дубровин, Г. Н. Кашин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 3. — С. 341-351. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT gorbikpp polučenieiissledovanienanotrubokoksidacinka
AT dubroviniv polučenieiissledovanienanotrubokoksidacinka
AT kašingn polučenieiissledovanienanotrubokoksidacinka
AT gorbikpp otrimannâtadoslídžennânanotrubokoksiducinku
AT dubroviniv otrimannâtadoslídžennânanotrubokoksiducinku
AT kašingn otrimannâtadoslídžennânanotrubokoksiducinku
AT gorbikpp fabricationandcharacterizationofzincoxidenanotubes
AT dubroviniv fabricationandcharacterizationofzincoxidenanotubes
AT kašingn fabricationandcharacterizationofzincoxidenanotubes
first_indexed 2025-11-24T16:02:45Z
last_indexed 2025-11-24T16:02:45Z
_version_ 1850850537539371008
fulltext 341 PACS numbers:61.46.Fg, 68.37.Ps,68.37.Hk,77.84.Bw,78.55.Et,81.07.De, 82.80.Pv Получение и исследование нанотрубок оксида цинка П. П. Горбик, И. В. Дубровин, Г. Н. Кашин  Институт химии поверхности им. А. А. Чуйко НАН Украины, ул. Генерала Наумова, 17, 03164 Киев, Украина Проведён гидротермальный синтез наноразмерных структур оксида цин- ка с трубчатой морфологией. Методами рентгеноструктурного анализа, растровой электронной микроскопии, атомной силовой микроскопии, оже-электронной спектроскопии и фотолюминесцентной спектроскопии получены данные о кристаллической структуре, химическом составе, спектрах фотолюминесценции и морфологии синтезированного материа- ла. Исследовано влияние состава продукта-предшественника и условий проведения гидротермального синтеза на характеристики трубчатых наноструктур. Ключевые слова: оксид цинка, нанотрубка, гидротермальный синтез, кристаллическая структура, фотолюминесценция. Здійснено гідротермальний синтез нанорозмірних частинок оксиду цинку з трубчастою морфологією. Методами ренґеноструктурного аналізу, раст- рової електронної мікроскопії, атомної силової мікроскопії, Оже-елек- тронної мікроскопії та фотолюмінесцентної спектроскопії одержано дані про кристалічну структуру, хімічний склад, спектри фотолюмінесценції та морфологію синтезованого матеріалу. Досліджено вплив складу проду- кту-попередника й умов проведення гідротермального синтезу на харак- теристики трубчастих наноструктур. Ключові слова: оксид цинку, нанотрубка, гідротермальний синтез, крис- Corresponding author: Grigorii Nikolaevich Kashin E-mail: gk_53@mail.ru Chuiko Institute of Surface Chemistry, N.A.S. of Ukraine, 17 General Naumov Str., 03164 Kyiv, Ukraine Please cite this article as: P. P. Gorbik, G. N. Kashin, and I. V. Dubrovin, Fabrication and Characterization of Zinc Oxide Nanotubes, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 38, No. 3: 341—351 (2016) (in Russian), DOI: 10.15407/mfint.38.03.0341. Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2016, т. 38, № 3, сс. 341—351 / DOI: 10.15407/mfint.38.03.0341 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2016 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 342 П. П. ГОРБИК, И. В. ДУБРОВИН, Г. Н. КАШИН талічна структура, фотолюмінесценція. Zinc-oxide nanosize particles with a tubular morphology are synthesized by the hydrothermal method. Their crystal structure, chemical composition, surface morphology, and photoluminescence spectra are characterized by X- ray diffraction, transmission electron microscopy, atomic force microscopy, Auger electron spectroscopy, and photoluminescence spectroscopy. The ef- fect of both the precursor composition and the conditions under hydrother- mal synthesis on the properties of ZnO nanotubes is studied. Key words: zinc oxide, nanotube, hydrothermal synthesis, crystal structure, photoluminescence. (Получено 8февраля 2016 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ Недорогой, распространённый и нетоксичный оксид цинка (ZnO) относится к перспективным полупроводниковым материалам. Уникальные механические и физические (пьезоэлектрические, се- гнетоэлектрические, электрооптические, акустооптические, лю- минесцентные) свойства этого материала открывают широкие воз- можности его применения в микро- и оптоэлектронике, электро- технике, биомедицине и др. [1—4]. Оксид цинка – это II—VI полупроводник с проводимостью n- типа, который обладает химической стабильностью и имеет широ- кую прямую запрещённую зону (Eg  3,2—3,37 эВ), которую можно изменять путём замещения двухвалентного цинка на другие двух- валентные катионы (кадмий, магний). Исследования методами фо- толюминесценции, фотопроводимости и абсорбции указывают на наличие сильно-связанного экситонного состоянии с большой энер- гией возбуждения экситонов (60 мэВ) и состояний внутри запре- щенной зоны, связанных с точечными дефектами. Оксид цинка ха- рактеризуется тепловой и химической стабильностью, он может выдерживать обработку в диапазоне температур 400—500С, а в не- которых случаях допускает обработку даже при 700С. Высокая прочность связи Zn—O обеспечивает высокий порог повреждения этого материала при лазерном облучении, что открывает возможно- сти применения этого материала в оптоэлектронике. Оксид цинка обычно образует гексагональную (вюрцитную) кри- сталлическую структуру с параметрами решетки a  0,3325 нм и c   0,5213 нм. Такая структура приводит к анизотропии диэлектри- ческой постоянной, коэффициента преломления, а также, что наиболее важно, к анизотропии свободной энергии поверхности. При этом в процессе синтеза поверхностных структур оксида цинка различными методами даже на аморфных подложках наблюдается ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОТРУБОК ОКСИДА ЦИНКА 343 сильная тенденция к текстурированному росту (т.е. росту с выде- ленной ориентацией, при которой ось с направлена перпендику- лярно к поверхности подложки). Благодаря таким параметрам ре- шетки, слои оксида цинка применяются в качестве переходного буферного слоя в некоторых полупроводниковых структурах (например, для структуры GaN на Al2O3, где несоответствие пара- метров решёток уменьшается с 14% до 2%). В видимой области оксид цинка обладает очень хорошей про- зрачностью. Его оптический коэффициент пропускания порядка 90%. В оптических покрытиях плёнки оксида цинка могут заме- нить более дорогой материал SnO2, поскольку коэффициенты пре- ломления обоих материалов близки. Комбинация низкого удельно- го сопротивления ( 310 4 Омсм, а с добавками алюминия – (1,5— 2)10 4 Омсм) и оптической прозрачности делает легированный ок- сид цинка перспективным материалом для изготовления прозрач- ных проводящих плёнок, которые могут составить конкуренцию легированным плёнкам оксида олова и оксидов олова и индия. Электрическая проводимость оксида цинка определяется соб- ственными дефектами, т.е. вакансиями кислорода и атомами цин- ка, находящимися в междоузлиях, которые действуют как доноры n-типа. Удельное сопротивление дополнительно понижается при легировании атомами элементов III группы, например B, Al, Ga, или In. Эксперименты по отжигу до 400С показали, что проводи- мость, связанная с собственными дефектами, термически неустой- чива. В то же время, слои, легированные индием или алюминием, демонстрировали большую устойчивость к воздействию высоких температур. Хорошие пьезоэлектрические свойства оксида цинка делают его перспективным материалом для изготовления приборов на поверх- ностных акустических волнах. Будучи материалом с широкой запрещённой зоной, оксид цинка является перспективным кандидатом на применение в качестве ис- точника автоэлектронной эмиссии, благодаря своей тепловой, хи- мической и механической стойкости, а также благодаря малому сродству к электрону (оценочная работа выхода – 4,45—4,50 эВ). В последние годы значительный интерес вызывают микрострук- туры, в которых по одному или двум измерениям проявляются эф- фекты квантовой локализации. В число таких структур входят объ- екты в виде стержней, вискеров или трубок, у которых один из раз- меров находится в нанометровом диапазоне [5—10]. Интерес к та- ким объектам связан с возможными применениями в электронных и оптических приборах. Так, например, в сканирующей зондовой микроскопии они могут использоваться для изготовления стабиль- ных и острых зондов. Благодаря большой удельной поверхности и избирательной адсорбции на внутренних стенках трубок они могут 344 П. П. ГОРБИК, И. В. ДУБРОВИН, Г. Н. КАШИН использоваться в газовых датчиках и системах хранения водорода. Такие структуры, обладая механической твёрдостью, химической инертностью и высокой электрической проводимостью, а также благодаря своей форме, способны многократно усиливать электри- ческое поле вблизи своих вершин и поэтому могут служить эффек- тивными автоэмиссионными источниками электронов для дис- плейных панелей. Электронная структура таких объектов зависит от их геометрических размеров, и они могут проявлять как свой- ства металлов, так и свойства полупроводников. Кроме этого, стержни, вискеры и трубки характеризуются высокой степенью анизотропии упругих свойств: они обладают жёсткостью в направ- лении своей оси и в то же время гибкостью в направлениях, перпен- дикулярных к оси. То есть они могут стать основой новых компо- зитных материалов, которые, согласно некоторым теоретическим прогнозам, будут обладать чрезвычайной эластичностью и выдер- живать значительные растяжения без каких-либо остаточных де- формаций и других повреждений. Создание таких структур тесно связано с разработкой новых методик их синтеза [11—13]. 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ МЕТОДИКА Для получения нанотрубок оксида цинка использовали модифици- рованную методику гидротермального синтеза, предложенную в работе [5]. В качестве исходной среды использовали 0,50 М раствор аммиачного комплекса ацетата цинка. Добавлением аммиака водо- родный показатель этого раствора устанавливали на значении 12. Затем в раствор добавлялся этанол в соотношения 1:11 по объёму. Термическая обработка этой смеси при температурах 150—200С и давлении 106 Па приводила к образованию ZnO в соответствии с реакцией: Zn(NH3)4 2  2OH   ZnO  4NH3  H2O, в которой NH3, как продукт реакции, играет, по-видимому, важную роль в образовании трубчатой структуры, так как при его отсут- ствии формирование нанотрубок не происходило. Для проведения этой реакции смесь аммиака, ацетата цинка и этанола помещалась в автоклав из нержавеющей стали объёмом 5 мл, внутренняя по- верхность которого была покрыта фторопластом. Автоклав помещался в разогретую печь и выдерживался в ней в течение 10—20 часов. Затем автоклав вынимался из печи и охла- ждался до комнатной температуры естественным образом. После охлаждения автоклава из него вынимался образец, несколько раз промывался дистиллированной водой и высушивался на открытом воздухе. На таком образце методом растровой электронной микро- ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОТРУБОК ОКСИДА ЦИНКА 345 скопии исследовались отдельные скопления наноструктурированно- го оксида цинка. Образцы для исследования методами электронной оже-спектроскопии и фотолюминесценции получались при частич- ном и полном выпаривании раствора при комнатной температуре и при 100С соответственно, поскольку для исследования этими мето- дами требовались более толстые слои осажденного оксида цинка. Образцы плёнок оксида цинка на поверхности полированных пластин монокристаллического кремния для исследования мето- дом АСМ получались одновременно с наноструктурированным ок- сидом цинка. Пластинку кремния Si (111), на которую при синтезе происходило осаждение получаемого наноструктурированного ок- сида цинка, помещали в объём раствора. Для возбуждения спектров фотолюминесценции использовалось сфокусированное излучение импульсного азотного лазера на длине волны 337 нм. Спектры фотолюминесценции снимались при ком- натной температуре. Рентгеноструктурный анализ проводили на спектрометре ДРОН- УМ1, для облучения использовалась линия CuK (  0,15418 нм). Элементный состав полученных образцов исследовался методом оже-электронной спектроскопии на микрозонде JAMP-10S компа- нии JEOL (Япония). Морфология плёнок из наноструктурирован- ного оксида цинка изучалась методом атомно-силовой микроско- пии на приборе NanoScope-300 компании Digital Instruments (США). Микрофотографии частиц наноструктурированного оксида цинка на поверхности подложек Si (111) были получены на растро- вом электронном микроскопе Leo (Low) Ultra 55 FEG SEM (Zeiss). 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ Исследовались образцы в виде структурированного порошка и тон- ких плёнок на поверхности полированных пластин монокристал- лического кремния, полученные гидротермальным синтезом по представленной выше методике. Микрофотографии, полученные методом растровой электронной микроскопии, демонстрируют, что, наряду с осаждением неупоря- доченных кластеров оксида цинка (рис. 1) в объёме раствора, на подложках происходит осаждение и рост четко выраженных труб- чатых структур (рис. 1 и 2) оксида цинка. На рисунке 3, на котором представлена торцевая поверхность полученной частицы ZnO, хо- рошо видно, что мы имеем дело именно с трубками. Длина нанотрубок оксида цинка достигает одного микрона, при этом наружный диаметр трубок изменяется в пределах от 30 до 50 нм, а толщина стенки изменяется от 10 до 15 нм. Удельная поверх- ность трубчатого ZnO измеренная по методу BET равнялась прибли- зительно 25 м 2г1. 346 П. П. ГОРБИК, И. В. ДУБРОВИН, Г. Н. КАШИН Рис. 1. Наноструктуры на основе оксида цинка. Fig. 1. Zinc oxide nanostructures. Рис. 2. РЭМ-изображение нанотрубок ZnO. Fig. 2. REM image of ZnO nanotubes. ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОТРУБОК ОКСИДА ЦИНКА 347 Рис. 3. РЭМ-изображение нанотрубки ZnO. Fig. 3. REM image of a single nanotube of ZnO. Рис. 4. Рентгеновская дифрактограмма осадка из наночастиц ZnO. Fig. 4. XRD spectrum for the deposited film of ZnO nanoparticles. 348 П. П. ГОРБИК, И. В. ДУБРОВИН, Г. Н. КАШИН Результаты рентгенофазового исследования показали, что полу- ченный материал имеет вюрцитную структуру с высокой степенью кристалличности, о чём говорят острые пики дифракционных ре- флексов (рис. 4). Наблюдается хорошее совпадение расположения пиков на рис. 4 и пиков для гексагональной фазы ZnO. Исследования участков подложки методом атомной силовой микроскопии показали, что осаждённые на них наноструктуры представляют собой образования в виде совокупности хаотично ориентированных трубчатых сегментов (волокон, косичек) с харак- Рис. 5. АСМ-изображение поверхности плёнки ZnO на кремниевой подложке. Fig. 5. AFM image of the ZnO film on the Si substrate. Рис. 6. Оже-электронный спектр полученного покрытия из структуриро- ванного ZnO. Fig. 6. Auger-electron spectrum of the structured zinc oxide film. ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОТРУБОК ОКСИДА ЦИНКА 349 терной длиной 500—800 нм и диаметром около 20 нм (рис. 5). Методом оже-электронной спектроскопии подтверждён элемент- ный состав полученного материала (рис. 6). В спектрах фотолюминесценции наряду с широкой полосой в зе- лёной и красной области спектра, которая обычно связывается с дефектами в оксиде цинка (в том числе с кислородными вакансия- ми) также присутствовала линия на длине волны около 380 нм, свя- занная с межзонными переходами (рис. 7). Предварительные экспериментальные данные показали, что за счёт регулирования основных параметров синтеза (состава исход- ного раствора, температуры синтеза и длительности проведения синтеза) предоставляется возможность регулировать рост нанотру- бок и получать нанотрубки с определённым характеристическим отношением «длина/диаметр». 4. ВЫВОДЫ В данной работе было показано, что наноструктуры оксида цинка с большим характеристическим отношением (длина/диаметр), от не- скольких единиц до нескольких десятков, могут быть получены простым низкотемпературным методом. Осуществляя контроль технологических параметров в процессе роста наноструктур, можно управлять величиной их характеристического отношения. За счёт использования различных методов подготовки подложки можно добиться получения упорядоченного роста на них наноструктур ZnO. Такие наноструктуры оксида цинка являются перспективны- Рис. 7. Спектр фотолюминесценции оксида цинка в виде осаждённой плёнки. Fig. 7. Photoluminescence spectrum for the deposited film of ZnO. 350 П. П. ГОРБИК, И. В. ДУБРОВИН, Г. Н. КАШИН ми материалами для применения в микроэлектронике, в качестве газовых сенсоров, в светоизлучающих диодах и лазерах, работаю- щих в видимом и УФ спектральных диапазонах. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА 1. S. J. Pearton, D. P. Norton, K. Ip, W. Heo, and T. Steiner, J. Vac. Sci. Technol. B, 22: 932 (2004). 2. C. P. Burke-Govey and N. O. V. Plank, J. Vac. Sci. Technol. B, 31: 06F101-1 (2013). 3. M. H. Sarvari and H. Sharghi, Tetrahedron, 61: 10903 (2005). 4. C. X. Xu, X. W. Sun, B. J. Chen, P. Shum, S. Li, and X. Hu, J. Appl. Phys., 95: 661 (2004). 5. J. Zhang, L. Sun, C. Liao, and C. Yan, Chem. Commun., 262 (2002). 6. M. J. Zheng, L. D. Zhang, G. H. Li, and W. Z. Shen, Chem. Phys. Lett., 363: 123 (2002). 7. M. Lai and D. J. Riley, Chem. Mater., 18: 2233 (2006). 8. B. Y. Leprince-Wang, A. Yacoubi-Ouslim, and G. Y. Wang, Microelectron. J., 36: 625 (2005). 9. Sh. U. Yuldashev, S. W. Choi, T. Won Kang, and L. A. Nosova, J. Korean Phys. Soc., 42: S216 (2003). 10. Y. Leprince-Wang, G. Y. Wang, X. Z. Zhang, and D. P. Yu, J. Cryst. Growth, 287: 16 (2006). 11. П. П. Горбик, И. В. Дубровин, Ю. А. Демченко, М. М. Филоненко, А. А. Дадыкин, Химия, физика и технология поверхности, вып. 14: 275 (2008). 12. П. П. Горбик, А. А. Дадыкин, И. В. Дубровин, Ю. А. Демченко, Г. Н. Кашин, Поверхность, вып. 1(16): 177 (2009). 13. П. П. Горбик, И. В. Дубровiн, Ю. А. Демченко, Г. Н. Кашин, Ю. М. Литвин, Поверхность, вып. 2(17): 214 (2010). REFERENCES 1. S. J. Pearton, D. P. Norton, K. Ip, W. Heo, and T. Steiner, J. Vac. Sci. Technol. B, 22: 932 (2004). 2. C. P. Burke-Govey and N. O. V. Plank, J. Vac. Sci. Technol. B, 31: 06F101-1 (2013). 3. M. H. Sarvari and H. Sharghi, Tetrahedron, 61: 10903 (2005). 4. C. X. Xu, X. W. Sun, B. J. Chen, P. Shum, S. Li, and X. Hu, J. Appl. Phys., 95: 661 (2004). 5. J. Zhang, L. Sun, C. Liao, and C. Yan, Chem. Commun., 262 (2002). 6. M. J. Zheng, L. D. Zhang, G. H. Li, and W. Z. Shen, Chem. Phys. Lett., 363: 123 (2002). 7. M. Lai and D. J. Riley, Chem. Mater., 18: 2233 (2006). 8. B. Y. Leprince-Wang, A. Yacoubi-Ouslim, and G. Y. Wang, Microelectron. J., 36: 625 (2005). 9. Sh. U. Yuldashev, S. W. Choi, T. Won Kang, and L. A. Nosova, J. Korean Phys. ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОТРУБОК ОКСИДА ЦИНКА 351 Soc., 42: S216 (2003). 10. Y. Leprince-Wang, G. Y. Wang, X. Z. Zhang, and D. P. Yu, J. Cryst. Growth, 287: 16 (2006). 11. P. P. Gorbik, I. V. Dubrovin, Ju. A. Demchenko, M. M. Filonenko, and A. A. Dadykin, Khimiya, Fizika i Tekhnologiya Poverkhnosti, Iss. 14: 275 (2008) (in Russian). 12. P. P. Gorbik, A. A. Dadykin, I. V. Dubrovin, Yu. A. Demchenko, and G. N. Kashin, Poverkhnost’, Iss. 1(16): 177 (2009) (in Russian). 13. P. P. Gorbik, I. V. Dubrovin, Yu. A. Demchenko, G. N. Kashin, and Yu. M. Litvin, Poverkhnost’, Iss. 2(17): 214 (2010) (in Ukrainian). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Схожі ресурси