Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si

• Date: 2016
• Main Authors: Першин, Ю.П., Девизенко, А.Ю., Кондратенко, В.В., Modrow, H., Hormes, F.-J.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
• Series: Металлофизика и новейшие технологии
• Subjects: Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112495
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si / Ю. П. Першин, А. Ю. Девизенко, В. В. Кондратенко, H. Modrow, F.-J. Hormes // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 3. — С. 367-388. — Бібліогр.: 45 назв. — рос.

Методами рентгеновской дифракции в жёстком (λ= 0,154 нм) и мягком (0,8 <λ< 2,4 нм) диапазонах исследована структура и оптические свойства серии многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si с систематически изменяющимся периодом в диапазоне 1—6 нм, изготовленных методом магнетронного распыления. Наличие перемешанных прослоек на межфазных границах c составом WSi₂ оказывает основное влияние на снижение отражательной способности МРЗ в мягкой рентгеновской области. Показана возможность изготовления многослойного зеркала с разрешающей способностью на длине волны 2,36 нм, по меньшей мере, в 5 раз выше, чем у стандартных зеркал W/Si.