Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si
Методами рентгеновской дифракции в жёстком (λ= 0,154 нм) и мягком (0,8 <λ< 2,4 нм) диапазонах исследована структура и оптические свойства серии многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si с систематически изменяющимся периодом в диапазоне 1—6 нм, изготовленных методом магнетронного ра...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2016 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112495 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si / Ю. П. Першин, А. Ю. Девизенко, В. В. Кондратенко, H. Modrow, F.-J. Hormes // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 3. — С. 367-388. — Бібліогр.: 45 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862550960356720640 |
|---|---|
| author | Першин, Ю.П. Девизенко, А.Ю. Кондратенко, В.В. Modrow, H. Hormes, F.-J. |
| author_facet | Першин, Ю.П. Девизенко, А.Ю. Кондратенко, В.В. Modrow, H. Hormes, F.-J. |
| citation_txt | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si / Ю. П. Першин, А. Ю. Девизенко, В. В. Кондратенко, H. Modrow, F.-J. Hormes // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 3. — С. 367-388. — Бібліогр.: 45 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Методами рентгеновской дифракции в жёстком (λ= 0,154 нм) и мягком (0,8 <λ< 2,4 нм) диапазонах исследована структура и оптические свойства серии многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si с систематически изменяющимся периодом в диапазоне 1—6 нм, изготовленных методом магнетронного распыления. Наличие перемешанных прослоек на межфазных границах c составом WSi₂ оказывает основное влияние на снижение отражательной способности МРЗ в мягкой рентгеновской области. Показана возможность изготовления многослойного зеркала с разрешающей способностью на длине волны 2,36 нм, по меньшей мере, в 5 раз выше, чем у стандартных зеркал W/Si.
Методами рентґенівської дифракції в жорсткому (λ= 0,154 нм) та м’якому (0,8 <λ< 2,4 нм) діапазонах досліджено структуру та оптичні властивості серії багатошарових рентґенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методою магнетронного розпорошення, у яких систематично змінюється період у діапазоні 1—6нм. Присутність на міжфазних межах змішаних прошарків силіциду WSi₂ спричиняє найбільший вплив на зменшення коефіцієнту відбивання БРД в м’якій рентґенівській області (λ=2,36нм). Показано можливість виготовлення багатошарового дзеркала з оптичною роздільчою здатністю у м’якому рентґенівському діапазоні щонайменше у 5 разів вище, аніж у стандартних дзеркал W/Si.
By methods of X-ray diffraction in hard (λ= 0.154 nm) and soft (0.8 <λ< 2.4 nm) ranges, the structure and optical properties for series of W/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs) with periods of 1—6 nm are studied. MXMs are deposited with DC magnetron sputtering. Mixed interlayers at MXM interfaces with composition close to WSi₂ make the main contribution to a reduction of MXM reflectivity at soft X-rays (λ= 2.36 nm). A possibility to fabricate MXMs with resolution of at least 5 times better than standard W/Si MXM in the soft X-ray range is demonstrated.
|
| first_indexed | 2025-11-25T20:53:33Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112495 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T20:53:33Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Першин, Ю.П. Девизенко, А.Ю. Кондратенко, В.В. Modrow, H. Hormes, F.-J. 2017-01-22T15:36:39Z 2017-01-22T15:36:39Z 2016 Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si / Ю. П. Першин, А. Ю. Девизенко, В. В. Кондратенко, H. Modrow, F.-J. Hormes // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 3. — С. 367-388. — Бібліогр.: 45 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 07.85.Fv, 41.50.+h, 61.05.cf, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Fx, 78.67.Pt, 81.15.Cd DOI: 10.15407/mfint.38.03.0367 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112495 Методами рентгеновской дифракции в жёстком (λ= 0,154 нм) и мягком (0,8 <λ< 2,4 нм) диапазонах исследована структура и оптические свойства серии многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si с систематически изменяющимся периодом в диапазоне 1—6 нм, изготовленных методом магнетронного распыления. Наличие перемешанных прослоек на межфазных границах c составом WSi₂ оказывает основное влияние на снижение отражательной способности МРЗ в мягкой рентгеновской области. Показана возможность изготовления многослойного зеркала с разрешающей способностью на длине волны 2,36 нм, по меньшей мере, в 5 раз выше, чем у стандартных зеркал W/Si. Методами рентґенівської дифракції в жорсткому (λ= 0,154 нм) та м’якому (0,8 <λ< 2,4 нм) діапазонах досліджено структуру та оптичні властивості серії багатошарових рентґенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методою магнетронного розпорошення, у яких систематично змінюється період у діапазоні 1—6нм. Присутність на міжфазних межах змішаних прошарків силіциду WSi₂ спричиняє найбільший вплив на зменшення коефіцієнту відбивання БРД в м’якій рентґенівській області (λ=2,36нм). Показано можливість виготовлення багатошарового дзеркала з оптичною роздільчою здатністю у м’якому рентґенівському діапазоні щонайменше у 5 разів вище, аніж у стандартних дзеркал W/Si. By methods of X-ray diffraction in hard (λ= 0.154 nm) and soft (0.8 <λ< 2.4 nm) ranges, the structure and optical properties for series of W/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs) with periods of 1—6 nm are studied. MXMs are deposited with DC magnetron sputtering. Mixed interlayers at MXM interfaces with composition close to WSi₂ make the main contribution to a reduction of MXM reflectivity at soft X-rays (λ= 2.36 nm). A possibility to fabricate MXMs with resolution of at least 5 times better than standard W/Si MXM in the soft X-ray range is demonstrated. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si Структурні та рентгено-оптичні характеристики багатошарових рентгенівських дзеркал W/Si Structural and X-Ray—Optical Characteristics of the W/Si Multilayer X-Ray Mirrors Article published earlier |
| spellingShingle | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si Першин, Ю.П. Девизенко, А.Ю. Кондратенко, В.В. Modrow, H. Hormes, F.-J. Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| title | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si |
| title_alt | Структурні та рентгено-оптичні характеристики багатошарових рентгенівських дзеркал W/Si Structural and X-Ray—Optical Characteristics of the W/Si Multilayer X-Ray Mirrors |
| title_full | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si |
| title_fullStr | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si |
| title_full_unstemmed | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si |
| title_short | Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si |
| title_sort | структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал w/si |
| topic | Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| topic_facet | Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112495 |
| work_keys_str_mv | AT peršinûp strukturnyeirentgenooptičeskieharakteristikimnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsi AT devizenkoaû strukturnyeirentgenooptičeskieharakteristikimnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsi AT kondratenkovv strukturnyeirentgenooptičeskieharakteristikimnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsi AT modrowh strukturnyeirentgenooptičeskieharakteristikimnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsi AT hormesfj strukturnyeirentgenooptičeskieharakteristikimnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsi AT peršinûp strukturnítarentgenooptičníharakteristikibagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsi AT devizenkoaû strukturnítarentgenooptičníharakteristikibagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsi AT kondratenkovv strukturnítarentgenooptičníharakteristikibagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsi AT modrowh strukturnítarentgenooptičníharakteristikibagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsi AT hormesfj strukturnítarentgenooptičníharakteristikibagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsi AT peršinûp structuralandxrayopticalcharacteristicsofthewsimultilayerxraymirrors AT devizenkoaû structuralandxrayopticalcharacteristicsofthewsimultilayerxraymirrors AT kondratenkovv structuralandxrayopticalcharacteristicsofthewsimultilayerxraymirrors AT modrowh structuralandxrayopticalcharacteristicsofthewsimultilayerxraymirrors AT hormesfj structuralandxrayopticalcharacteristicsofthewsimultilayerxraymirrors |