Эволюция структуры многослойных рентгеновских зеркал Si/Mg₂Si при термическом воздействии

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2016
• Main Authors: Конотопский, Л.Е., Копылец, И.А., Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
• Subjects: Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112578
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Эволюция структуры многослойных рентгеновских зеркал Si/Mg₂Si при термическом воздействии / Л. Е. Конотопский, И. А. Копылец, В. А. Севрюкова, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 825-838. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Методами рентгеновской дифрактометрии и просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов исследована структура многослойного рентгеновского зеркала (МРЗ) Si/Mg₂Si в исходном состоянии и после термического отжига в интервале температур 50—750°C. В исходном состоянии в МРЗ Si/Mg₂Si слои Si – а...