Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния - Коломиец, В.Н.; Кононенко, И.Н.; Кравченко, С.Н.; Захарец, М.И.; Сторижко, В.Е.; Возный, В.И.; Бугай, А.Н.; Девизенко, А.Ю. (Металлофизика и новейшие технологии, 2016)
Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия. Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]₁₀, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття. The periodic multilayer [Со/С]₁₀ coating is deposited by means of the magnetron sputtering. The thicknesses of the cobalt and carbon layers are determined by the Rutherford backscattering (RBS) method. These results are in a good agreement (with divergence less than 6%) with results of simulation of small-angle X-ray diffraction.