Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C
Виготовлено та досліджено багатошарову періодичну композицію Sb/B₄C з аморфними шарами сурми товщиною у 2,59 нм і шарами B₄C товщиною у 1,81 нм, яка є перспективним покриттям для рентґенівської оптики. За допомогою рентґенівської дифрактометрії та електронної мікроскопії вивчено зміни у структурі ці...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2016 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112595 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C / І. А. Копилець, Є. М. Зубарєв, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 7. — С. 911-921. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860241010634784768 |
|---|---|
| author | Копилець, І.А. Зубарєв, Є.М. Кондратенко, В.В. Севрюкова, В.А. |
| author_facet | Копилець, І.А. Зубарєв, Є.М. Кондратенко, В.В. Севрюкова, В.А. |
| citation_txt | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C / І. А. Копилець, Є. М. Зубарєв, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 7. — С. 911-921. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Виготовлено та досліджено багатошарову періодичну композицію Sb/B₄C з аморфними шарами сурми товщиною у 2,59 нм і шарами B₄C товщиною у 1,81 нм, яка є перспективним покриттям для рентґенівської оптики. За допомогою рентґенівської дифрактометрії та електронної мікроскопії вивчено зміни у структурі цієї композиції при нагріванні до 360°C. Встановлено, що тонкі шари Sb у багатошаровій композиції Sb/B₄C залишаються в аморфному стані до 250°C. За температури 290°C відбувається кристалізація шарів сурми. Це приводить до збільшення густини шарів сурми і зменшення періоду багатошарової композиції на 13,8%. Кристалізація сурми супроводжується утворенням сурм’яних лінз, які викривлюють і руйнують багатошарове покриття.
Изготовлена и исследована многослойная периодическая композиция Sb/B₄C с аморфными слоями сурьмы толщиной 2,59 нм и слоями B₄C толщиной 1,81 нм, которая является перспективным покрытием для рентгеновской оптики. С помощью рентгеновской дифрактометрии и электронной микроскопии изучены изменения в структуре этой композиции при нагревании до 360°C. Установлено, что тонкие слои Sb в многослойной композиции Sb/B₄C остаются в аморфном состоянии до 250°C. При температуре 290°C происходит кристаллизация слоёв сурьмы. Это приводит к увеличению плотности слоёв сурьмы и уменьшению периода многослойной композиции на 13,8%. Кристаллизация сурьмы сопровождается образованием сурьмяных линз, которые искажают и разрушают многослойное покрытие.
Periodic multilayer Sb/B₄C composition with amorphous 2.59 nm-thick antimony layers and 1.81 nm-thick B₄C layers, which is a promising coating for X-ray optics, is made and characterized. Structure changes of the composition under heating up to 360°C are investigated using X-ray diffractometry and electron microscopy. As found, the thin Sb layers remain in the amorphous state in the multilayer Sb/B₄C composition up to 250°C. At a temperature of 290°C, the antimony layers are crystallized. This leads to increasing of density of the antimony layers and to reduction of multilayer composition period by 13.8%. The antimony crystallization is accompanied by the formation of antimony lenses, which distort and destroy the multilayer coating.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:29:55Z |
| format | Article |
| fulltext |
911
СТРОЕНИЕ И СВОЙСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ
И МЕЗОСКОПИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ
PACS numbers:07.85.Fv, 61.05.cm,61.05.cp,68.35.Ct,68.55.J-,68.60.Dv, 68.65.Ac
Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій
Sb/B4C при нагріві до 360С
І. А. Копилець, Є. М. Зубарєв, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова
Національний технічний університет
«Харківський політехнічний інститут»,
вул. Кирпичова, 21,
61002 Харків, Україна
Виготовлено та досліджено багатошарову періодичну композицію Sb/В4С
з аморфними шарами сурми товщиною у 2,59 нм і шарами В4С товщиною
у 1,81 нм, яка є перспективним покриттям для рентґенівської оптики. За
допомогою рентґенівської дифрактометрії та електронної мікроскопії ви-
вчено зміни у структурі цієї композиції при нагріванні до 360С. Встанов-
лено, що тонкі шари Sb у багатошаровій композиції Sb/В4С залишаються
в аморфному стані до 250С. За температури 290С відбувається кристалі-
зація шарів сурми. Це приводить до збільшення густини шарів сурми і
зменшення періоду багатошарової композиції на 13,8%. Кристалізація
сурми супроводжується утворенням сурм’яних лінз, які викривлюють і
руйнують багатошарове покриття.
Ключові слова: сурма, карбід бору, аморфний стан, багатошарова компо-
зиція, наношари, рентґенівська дифракція.
Изготовлена и исследована многослойная периодическая композиция
Sb/В4С с аморфными слоями сурьмы толщиной 2,59 нм и слоями В4С
толщиной 1,81 нм, которая является перспективным покрытием для
рентгеновской оптики. С помощью рентгеновской дифрактометрии и
Corresponding author: Igor Anatoliyovych Kopylets
E-mail: kopil@kpi.kharkov.ua
National Technical University ‘Kharkiv Polytechnic Institute’,
21 Kirpichov Str., 61002 Kharkiv, Ukraine
I. A. Kopylets, E. M. Zubarev, V. V. Kondratenko, and V. A. Sevryukova, Changes in
the Structure of the Multilayer Film Sb/B4C Nanocomposition under Heating up to
360C, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 38, No. 7: 911—921 (2016) (in Ukrainian),
DOI: 10.15407/mfint.38.07.0911.
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2016, т. 38, № 7, сс. 911—921 / DOI: 10.15407/mfint.38.07.0911
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2016 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
912 І. А. КОПИЛЕЦЬ, Є. М. ЗУБАРЄВ, В. В. КОНДРАТЕНКО, В. А. СЕВРЮКОВА
электронной микроскопии изучены изменения в структуре этой компози-
ции при нагревании до 360С. Установлено, что тонкие слои Sb в много-
слойной композиции Sb/В4С остаются в аморфном состоянии до 250С.
При температуре 290С происходит кристаллизация слоёв сурьмы. Это
приводит к увеличению плотности слоёв сурьмы и уменьшению периода
многослойной композиции на 13,8%. Кристаллизация сурьмы сопровож-
дается образованием сурьмяных линз, которые искажают и разрушают
многослойное покрытие.
Ключевые слова: сурьма, карбид бора, аморфное состояние, многослой-
ная композиция, нанослои, рентгеновская дифракция.
Periodic multilayer Sb/B4C composition with amorphous 2.59 nm-thick an-
timony layers and 1.81 nm-thick B4C layers, which is a promising coating for
X-ray optics, is made and characterized. Structure changes of the composi-
tion under heating up to 360C are investigated using X-ray diffractometry
and electron microscopy. As found, the thin Sb layers remain in the amor-
phous state in the multilayer Sb/B4C composition up to 250C. At a tempera-
ture of 290C, the antimony layers are crystallized. This leads to increasing
of density of the antimony layers and to reduction of multilayer composition
period by 13.8%. The antimony crystallization is accompanied by the for-
mation of antimony lenses, which distort and destroy the multilayer coating.
Key words: antimony, boron carbide, amorphous state, multilayer composi-
tion, nanoscale layers, X-ray diffraction.
(Отримано 16 травня 2016 р.)
1. ВСТУП
Багатошарові нанотовщинні плівкові композиції Sb/B4C є новим
перспективним покриттям для рентґенівської оптики [1]. Вони яв-
ляють собою десятки почергово нанесених шарів сурми і карбіду
бору з точно заданою товщиною. За відбивною здатністю дзеркала з
таким багатошаровим покриттям є одними з найліпших у діяпазоні
довжин хвиль 6,7—11 нм, поступаючись за коефіцієнтом відбиття
лише дзеркалам з покриттям La/B4C [2—4]. Нами у попередній ро-
боті [2] докладно досліджено структуру багатошарових композицій
Sb/B4C, залежність їхніх властивостей від товщини шарів, часову
стійкість у звичайних умовах. Однак для практичного застосування
рентґенівських дзеркал важливим питанням також є їхня термічна
стійкість, здатність витримувати значні променеві навантаження,
так як експлуатація дзеркал часто відбувається за підвищених тем-
ператур. Термічну стійкість нанотовщинних плівкових композицій
Sb/B4C на сьогодні не досліджено. Певні застереження викликає
низька температура топлення сурми (631С). Вона могла б вияви-
тись причиною дифузійних процесів і руйнування багатошарової
системи за відносно низьких температур.
ЗМІНИ У СТРУКТУРІ ПЛІВКОВИХ НАНОКОМПОЗИЦІЙ Sb/B4C ПРИ НАГРІВІ 913
З точки зору застосування в рентґенівській оптиці найбільший
інтерес визивають багатошарові періодичні композиції (БПК)
Sb/B4C з періодом (сумарною товщиною пари шарів з різних мате-
ріялів) 3—5 нм [5]. В цих БПК товщина шарів сурми становить 1,5—
2,5 нм. Як показано у роботі [2], за такої товщини шари сурми є
аморфними і мають густину значно меншу за густину кристалічної
сурми, що призводить до значного (на третину порівняно з криста-
лічними шарами) зменшення відбивної здатности дзеркал Sb/B4C
на робочих довжинах хвиль. Одним зі шляхів поліпшення характе-
ристик БПК Sb/B4C, який напрошується, є переведення за допомо-
гою термічного оброблення аморфних шарів сурми в композиції
Sb/B4C у кристалічний стан.
Задачею даної роботи було вивчення перебігу структурних змін і
процесів у багатошарових періодичних композиціях Sb/B4C з тов-
щиною шарів близькою 2 нм і аморфним станом шарів у вихідному
стані при відпалах у діяпазоні температур 100—360С, а також
впливу термообробки на рентґенооптичні властивості БПК Sb/B4C
та руйнування таких композицій.
2. ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНА МЕТОДИКА
Досліджувані багатошарові покриття виготовлялися методою прямо-
точного магнетронного розпорошення та нанесення на підложжя з
особливо гладкого скла (з шерсткістю 0,3—0,4 нм). Мішені Sb і B4C
розпорошувалися в середовищі арґону за тиску 1,510
3
мм рт. ст. у
вакуумній установці, яка попередньо відкачувалася до 10
6
мм рт. ст.
Для забезпечення постійної швидкости розпорошення живлення ма-
гнетронів здійснювалося від стабілізованих джерел струму. Товщина
нанесених шарів реґулювалася часом знаходження підложжя над
магнетроном, який контролювався автоматичною системою перемі-
щення.
Відпал зразка в діяпазоні температур 100—360С виконувався
східчасто в печі у вакуумній камері ВУП-5. При кожній температу-
рі зразок відпалювався протягом 1 години, після чого охолоджува-
вся і виймався на повітря для дослідження.
Рентґеноструктурні дослідження здійснювалися за допомогою ре-
нтґенівського дифрактометра ДРОН-3М в CuK-випроміненні у гео-
метрії —2. За даними зйомок на малих кутах визначався період
БПК і загальна конструкція багатошарової композиції. За дифракто-
грамами на великих кутах здійснювався контроль фазового складу.
Числові характеристики конструкції багатошарової періодичної
композиції, такі як товщина складових шарів, їх густина, шерст-
кість міжшарових меж, визначалася шляхом математичного моде-
лювання малокутових рентґенівських дифрактограм з використан-
ням програми X-RayCalc [6]. В цій програмі шляхом зміни параме-
914 І. А. КОПИЛЕЦЬ, Є. М. ЗУБАРЄВ, В. В. КОНДРАТЕНКО, В. А. СЕВРЮКОВА
трів моделю багатошарової композиції (товщини шарів, густини,
шерсткости) здійснюється підгонка розрахункової дифрактограми,
створюваної програмою, до експериментальної.
Електронно-мікроскопічні зображення поперечних зрізів БПК
Sb/B4C одержані у мікроскопі ПЕМ-У.
3. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ
Досліджуваний у даній роботі зразок БПК Sb/B4C був виготовлений
шляхом почергового нанесення ста шарів сурми і карбіду бору на
скляне підложжя. За результатами моделювання малокутової рен-
тґенівської дифрактограми (рис. 1) визначено, що товщина шарів
B4C в композиції складала 1,81 нм, товщина шарів Sb – 2,59 нм
(відповідно період БПК становив 4,4 нм), шерсткість шарів –
0,4 нм, густина Sb – 5,3 г/см
3, густина B4C – 2,5 г/см
3. Добрий збіг
експериментальної та розрахункової дифрактограм після закінчен-
ня підгонки (як видно на рис. 1) свідчить, що параметри модельної
структури близькі до реальних.
Аморфний стан шарів у досліджуваному зразку БПК Sb/B4C під-
Рис. 1. Експериментальна і розрахункова малокутові дифрактограми ба-
гатошарової періодичної композиції Sb/В4С з періодом 4,4 нм в CuK1-
випроміненні.
Fig. 1. Measured and calculated small-angle diffraction patterns with CuK1
radiation for a Sb/B4C periodic multilayer composition with period of 4.4 nm.
ЗМІНИ У СТРУКТУРІ ПЛІВКОВИХ НАНОКОМПОЗИЦІЙ Sb/B4C ПРИ НАГРІВІ 915
тверджується відсутністю будь-яких піків кристалічної ґратниці на
дифрактограмі даної БПК, знятій на великих кутах (рис. 2). На
рис. 2 спостерігається лише широке гало з максимумом на 25, яке
відповідає аморфному стану шарів БПК Sb/B4C і скляного підлож-
жя. Ці дані є у повній відповідності з результатами роботи [2], де
було показано, що в БПК Sb/B4C, виготовлених магнетронним роз-
порошенням, які мають товщину шарів меншу 5 нм (як у даному
випадку), речовини шарів знаходяться в аморфному стані.
Моделювання малокутової рентґенівської дифрактограми дозво-
лило також встановити, що в багатошаровій композиції Sb/В4С гус-
тина Sb становить 5,3 г/см
3, що сильно відрізняється від табличної
для кристалічної сурми (6,69 г/см
3). Таке значення густини близь-
ке до літературних даних для аморфної Sb (5,3 г/см
3
за [7]) і узго-
джується з тим, що за нашими даними шари Sb аморфні.
Було проведено серію відпалів багатошарової періодичної компо-
зиції Sb—В4С зі ступінчастим підвищенням температури. На рисун-
ку 3 наведена частина малокутових рентґенівських дифрактограм,
які знімалися у вихідному стані і після кожного відпалу при 150,
Рис. 2. Рентґенівська дифрактограма багатошарової періодичної компози-
ції Sb/В4С з періодом 4,4 нм у вихідному стані, знята в CuK-випроміненні
на великих кутах. На рисунку також нанесені мітки кутів, на яких за таб-
личними даними ICDD Powder Diffraction File мають знаходитися піки
кристалічних Sb и В4С.
Fig. 2. X-ray diffraction pattern made with the CuK radiation at large angles
for as-deposited Sb/B4C periodic multilayer composition with period of 4.4
nm. In figure, the marking lines correspond to the angles of expected diffrac-
tion peaks from crystalline Sb and B4C according to the ICDD Powder Diffrac-
tion File.
916 І. А. КОПИЛЕЦЬ, Є. М. ЗУБАРЄВ, В. В. КОНДРАТЕНКО, В. А. СЕВРЮКОВА
220, 290 та 360С.
Контроль за малокутовими дифрактограмами уможливлює відс-
лідкувати зміни загальної конструкції БПК: зміни товщини шарів,
шерсткости меж і т.п. До 100С картина малокутової рентґенівської
дифракції не змінювалася. Як видно з рисунку 3, при подальших
відпалах до 250С зменшувалась інтенсивність піків дальніх по-
рядків зі збереженням положення піків. Після 290С відбулося
зниження і розширення всіх дифракційних максимумів та різке
зміщення їх в сторону більших кутів.
Моделювання малокутових дифрактограм показало, що такі змі-
ни дифракційної картини пов’язані з наступними перебудовами
структури БПК.
В інтервалі температур до 250С включно період мінявся мало,
помітних об’ємних змін не відбувалося. Зменшення інтенсивности
піків дальніх порядків описується поступовим розвитком міжша-
рової шерсткости і відповідає збільшенню шерсткости від 0,4 до
0,45 нм. Відпал до 290С супроводжувався різким зменшенням пе-
ріоду БПК. Період змінився на 13,8%. Тобто зменшилася товщина
шарів.
Пропорційне зменшення інтенсивности піків на дифрактограмі
Рис. 3. Малокутові рентґенівські дифрактограми у CuK1-випроміненні
багатошарової періодичної композиції Sb/В4С у вихідному стані і після
відпалу при 150, 220, 290 та 360С.
Fig. 3. Small-angle X-ray diffraction patterns recorded with CuK1 radiation
for Sb/B4C periodic multilayer composition in the initial state and after an-
nealing at 150, 220, 290, and 360C.
ЗМІНИ У СТРУКТУРІ ПЛІВКОВИХ НАНОКОМПОЗИЦІЙ Sb/B4C ПРИ НАГРІВІ 917
після відпалу 290С не вдається промоделювати збільшенням шерс-
ткости. Схоже, що воно пов’язано зі зменшенням ефективної пло-
щі, з якої відбувається відбивання, – відбулася деґрадація струк-
тури багатошарового покриття на значній частині площі зразка
БПК. Розширення дифракційних піків говорить про зменшення
товщини области когерентного розсіяння, тобто когерентно розсію-
вати рентґенівське випромінення стала значно менша кількість
шарів композиції. За моделюванням ширина піків після відпалу на
290С відповідає відбиттю від пакету з 20 періодів замість 100 нане-
сених, як було у початковому стані.
Виявлені моделюванням розвиток міжшарової шерсткости та
зменшення періоду БПК Sb/В4С під термічною дією відображені на
графіках на рис. 4.
Різке зменшення періоду, тобто товщини шарів Sb або В4С, після
відпалу при 290С логічно пояснити кристалізацією сурми. Зміну
об’єму у зв’язку з розчиненням сурми у сусідніх шарах чи у зв’язку
Рис. 4. Залежності від температури відпалу величини періоду (а), шерст-
кости міжшарових меж багатошарової періодичної композиції Sb/В4С (б),
визначені за моделюванням малокутових рентґенівських дифрактограм, і
коефіцієнта відбиття багатошарової періодичної композиції Sb/В4С у
першому дифракційному максимумі у CuK1-випроміненні (в).
Fig. 4. Annealing temperature dependences of the period (а), the interlayer-
boundaries roughness of a Sb/B4C periodic multilayer composition (б), deter-
mined with small-angle X-ray diffraction simulation, and the first diffraction
peak reflectance of a Sb/B4C periodic multilayer composition at the CuK1 ra-
diation (в).
918 І. А. КОПИЛЕЦЬ, Є. М. ЗУБАРЄВ, В. В. КОНДРАТЕНКО, В. А. СЕВРЮКОВА
з утворенням сполук можна виключити, так як за даними діяграм
фазової рівноваги [8, 9] сурма не взаємодіє хемічно ні з бором, ні з
вуглецем і не розчиняється в них.
Підтвердження факту кристалізації сурми дають дані рентґенів-
ської дифрактометрії на великих кутах, наведені на рис. 5.
До відпалу 250С ніяких змін на дифрактограмах на великих ку-
тах не відбувалося, як і у вихідному стані спостерігалося широке
гало. Після відпалу при 290С на куті 28,7 з’явився пік. Цей пік
відповідає найінтенсивнішій лінії кристалічної сурми (площини
(012) ромбоедричної ґратниці). При підвищені температури відпалу
до 360С пік став вищим і з’явилися сліди його другого порядку на
куті 59,4. Відсутність інших дифракційних піків сурми говорить
про текстурованість закристалізованої сурми: кристалічні зерна Sb
орієнтовані так, що кристалографічні площини (012) паралельні
поверхні підложжя.
При 290С всередині композиції шари Sb перейшли з аморфного
стану у кристалічний. Відповідно має змінитися густина шарів Sb (з
Рис. 5. Рентґенівські дифрактограми у CuK1-випроміненні на великих
кутах у геометрії —2 для багатошарової періодичної композиції Sb/В4С у
вихідному стані та після відпалів при 290С і 360С. На рисунку також на-
несені мітки кутів, на яких за табличними даними ICDD Powder Diffrac-
tion File мають знаходитись піки кристалічних Sb и В4С.
Fig. 5. Large-angle diffraction patterns recorded with CuK1 radiation in —
2 geometry for a Sb/B4C periodic multilayer composition in the as-deposited
state and after annealing at 290C and 360C. In figure, the marking lines
correspond to the angles of expected diffraction peaks from crystalline Sb and
B4C according to the ICDD Powder Diffraction File.
ЗМІНИ У СТРУКТУРІ ПЛІВКОВИХ НАНОКОМПОЗИЦІЙ Sb/B4C ПРИ НАГРІВІ 919
5,3 до 6,69 г/см
3). Це відповідає зменшенню об’єму, займаному
сурмою на 20,8%. При такому зменшенні товщини шарів Sb період
повинен зменшитися на 12,1%, що близько до експериментального
значення 13,8%. Тобто зменшення періоду зафіксоване за даними
малокутової дифрактометрії відповідає очікуваному при кристалі-
зації аморфної сурми.
Потрібно відзначити, що в багатошаровій композиції Sb/В4С
кристалізація аморфних шарів Sb відбулася при досить високій те-
мпературі – вищій за 250С. Зазвичай перехід сурми з аморфного у
кристалічний стан відбувається за температури близької до 80С
[10], що відповідає 0,39Tm, де Tm – температура топлення. Високу
стабільність аморфного стану сурми у випадку БПК Sb/В4С можна
пояснити аморфізувальним впливом В4С на тонкі нанотовщинні
шари сурми. При виготовленні БПК Sb/В4С з товщими шарами Sb
( 5 нм) вплив шарів В4С стає меншим, і сурм’яні шари мають крис-
талічну будову вже у вихідному стані.
Причиною руйнування БПК Sb/В4С після відпалу при 290С є
поява у сурм’яних шарах вузлуватих стовщень. Сурма за рахунок
дифузійних процесів стала збиратися у лінзоподібні утворення то-
вщиною близько 12 нм, деформуючи багатошарову структуру. Такі
сурм’яні лінзи між шарами B4C добре видно на електронно-
мікроскопічному знімку поперечного зрізу БПК Sb/В4С після від-
палу при 300С (рис. 6). Саме поява цих лінз зумовлює різке падін-
ня відбивної здатности БПК Sb/В4С після відпалу при 290С, як це
показано на рис. 4. На рисунку 6 видно, що такі сурм’яні утворення
викривлюють шари та розділяють єдиний багатошаровий пакет на
менші за товщиною ділянки. Це зменшує області когерентного роз-
сіювання рентґенівського випромінення як за площею, так і за то-
Рис. 6. Електронно-мікроскопічне зображення поперечного зрізу багато-
шарової періодичної композиції Sb/В4С після відпалу при 300С.
Fig. 6. Cross-section electron-microscopy image of the Sb/B4C periodic multi-
layer composition after annealing at 300C.
920 І. А. КОПИЛЕЦЬ, Є. М. ЗУБАРЄВ, В. В. КОНДРАТЕНКО, В. А. СЕВРЮКОВА
вщиною, призводить до суттєвого зменшення відбивної здатности
БПК і до розширення дифракційних піків, як на робочій довжині
хвилі, так і у жорсткому рентґенівському випроміненні (рис. 3).
4. ВИСНОВКИ
В ході роботи була виготовлена багатошарова композиція Sb/В4С з
періодом 4,4 нм та аморфним станом шарів і за допомогою рентґе-
нівської дифрактометрії досліджені зміни в її структурі при нагріві
до 360С. З результатів дослідження можна зробити наступні ви-
сновки.
1. БПК Sb/В4С здатні працювати без втрати експлуатаційних хара-
ктеристик до температури 100С. Період зберігається до температу-
ри 250С, але в інтервалі температур 100—250С зростає міжшарова
шерсткість.
2. При відпалі вище 290С в багатошаровій композиції Sb/В4С від-
бувається кристалізація аморфних шарів сурми. Це призводить до
збільшення густини шарів сурми і зменшення періоду на 13,8%.
Кристалізація сурми супроводжується утворенням сурм’яних лінз,
які мають розміри, значно більші за період БПК. Такі лінзи викри-
влюють і руйнують шари, що призводить до різкого зниження від-
бивної здатности БПК і до розширення піків дифракції від багато-
шарової композиції. Таким чином, шляхом відпалів неможливо
поліпшити оптичні характеристики БПК Sb/В4С.
3. Встановлено, що тонкі шари Sb ( 2,5 нм) можуть залишатися в
аморфному стані до 250С, що становить 0,6Tm, де Tm – температу-
ра топлення, завдяки аморфізувальному впливу шарів В4С.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. Е. А. Вишняков, М. С. Лугинин, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин, С. А. Старцев,
Квантовая электроника, 41, № 1: 75 (2011).
2. I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, E. M. Gullikson,
E. A. Vishnyakov, and E. N. Ragozin, Appl. Surf. Sci., 307: 360 (2014).
3. M. Barthelmess and S. Bajt, Appl. Opt., 50: 1610 (2011).
4. Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe,
and H. Kinoshita, Proc. SPIE, 8076: 80760N (2011).
5. Е. А. Вишняков, Д. Л. Воронов, E. M. Gullikson, В. В. Кондратенко, И. А. Копылец,
М. С. Лугинин, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин, А. Н. Шатохин, Квантовая
электроника, 43, № 7: 666 (2013).
6. Source: http://sci-progs.com/
7. Van Nostrand’s Scientific Encyclopedia. 10th
ed. (Ed. Glenn D. Considine) (New
York: John Wiley & Sons: 2008), vol. 1.
8. H. Okamoto, J. Phase Equilibria, 12, No. 3: 391 (1991).
9. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник (Ред.
ЗМІНИ У СТРУКТУРІ ПЛІВКОВИХ НАНОКОМПОЗИЦІЙ Sb/B4C ПРИ НАГРІВІ 921
Н. П. Лякишев) (Москва: Машиностроение: 1996), т. 1.
10. R. Wang, Bulletin of Alloy Phase Diagrams, 1, Iss. 1: 23 (1980).
REFERENCES
1. E. A. Vishnyakov, M. S. Luginin, A. S. Pirozhkov, E. N. Ragozin, and
S. A. Startsev, Quantum Electronics, 41, No. 1: 75 (2011).
2. I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, E. M. Gullikson,
E. A. Vishnyakov, and E. N. Ragozin, Appl. Surf. Sci., 307: 360 (2014).
3. M. Barthelmess and S. Bajt, Appl. Opt., 50: 1610 (2011).
4. Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe,
and H. Kinoshita, Proc. SPIE, 8076: 80760N (2011).
5. E. A. Vishnyakov, D. L. Voronov, E. M. Gullikson, V. V. Kondratenko, I. A. Kopylets,
M. S. Luginin, A. S. Pirozhkov, E. N. Ragozin, and A. N. Shatokhin, Quantum
Electronics, 43, No. 7: 666 (2013).
6. Source: http://sci-progs.com/
7. Van Nostrand’s Scientific Encyclopedia. 10th
ed. (Ed. Glenn D. Considine) (New
York: John Wiley & Sons: 2008), vol. 1.
8. H. Okamoto, J. Phase Equilibria, 12, No. 3: 391 (1991).
9. Diagrammy Sostoyaniya Dvoynykh Metallicheskikh Sistem: Spravochnik
[Diagrams of Binary Metallic Systems: Handbook] (Ed. N. P. Lyakishev)
(Moscow: Mashinostroenie: 1996), vol. 1 (in Russian).
10. R. Wang, Bulletin of Alloy Phase Diagrams, 1, Iss. 1: 23 (1980).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <FEFF0054006900650074006f0020006e006100730074006100760065006e0069006100200070006f0075017e0069007400650020006e00610020007600790074007600e100720061006e0069006500200064006f006b0075006d0065006e0074006f0076002000410064006f006200650020005000440046002c0020006b0074006f007200e90020007300610020006e0061006a006c0065007001610069006500200068006f0064006900610020006e00610020006b00760061006c00690074006e00fa00200074006c0061010d00200061002000700072006500700072006500730073002e00200056007900740076006f00720065006e00e900200064006f006b0075006d0065006e007400790020005000440046002000620075006400650020006d006f017e006e00e90020006f00740076006f00720069016500200076002000700072006f006700720061006d006f006300680020004100630072006f00620061007400200061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610020006e006f0076016100ed00630068002e>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <FEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006f006d002000640075002000760069006c006c00200073006b006100700061002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400200073006f006d002000e400720020006c00e4006d0070006c0069006700610020006600f60072002000700072006500700072006500730073002d007500740073006b00720069006600740020006d006500640020006800f600670020006b00760061006c0069007400650074002e002000200053006b006100700061006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006b0061006e002000f600700070006e00610073002000690020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00630068002000730065006e006100720065002e>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112595 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:29:55Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Копилець, І.А. Зубарєв, Є.М. Кондратенко, В.В. Севрюкова, В.А. 2017-01-23T18:02:51Z 2017-01-23T18:02:51Z 2016 Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C / І. А. Копилець, Є. М. Зубарєв, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 7. — С. 911-921. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. 1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.38.07.0911 PACS: 07.85.Fv, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Ct, 68.55.J-, 68.60.Dv, 68.65.Ac https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112595 Виготовлено та досліджено багатошарову періодичну композицію Sb/B₄C з аморфними шарами сурми товщиною у 2,59 нм і шарами B₄C товщиною у 1,81 нм, яка є перспективним покриттям для рентґенівської оптики. За допомогою рентґенівської дифрактометрії та електронної мікроскопії вивчено зміни у структурі цієї композиції при нагріванні до 360°C. Встановлено, що тонкі шари Sb у багатошаровій композиції Sb/B₄C залишаються в аморфному стані до 250°C. За температури 290°C відбувається кристалізація шарів сурми. Це приводить до збільшення густини шарів сурми і зменшення періоду багатошарової композиції на 13,8%. Кристалізація сурми супроводжується утворенням сурм’яних лінз, які викривлюють і руйнують багатошарове покриття. Изготовлена и исследована многослойная периодическая композиция Sb/B₄C с аморфными слоями сурьмы толщиной 2,59 нм и слоями B₄C толщиной 1,81 нм, которая является перспективным покрытием для рентгеновской оптики. С помощью рентгеновской дифрактометрии и электронной микроскопии изучены изменения в структуре этой композиции при нагревании до 360°C. Установлено, что тонкие слои Sb в многослойной композиции Sb/B₄C остаются в аморфном состоянии до 250°C. При температуре 290°C происходит кристаллизация слоёв сурьмы. Это приводит к увеличению плотности слоёв сурьмы и уменьшению периода многослойной композиции на 13,8%. Кристаллизация сурьмы сопровождается образованием сурьмяных линз, которые искажают и разрушают многослойное покрытие. Periodic multilayer Sb/B₄C composition with amorphous 2.59 nm-thick antimony layers and 1.81 nm-thick B₄C layers, which is a promising coating for X-ray optics, is made and characterized. Structure changes of the composition under heating up to 360°C are investigated using X-ray diffractometry and electron microscopy. As found, the thin Sb layers remain in the amorphous state in the multilayer Sb/B₄C composition up to 250°C. At a temperature of 290°C, the antimony layers are crystallized. This leads to increasing of density of the antimony layers and to reduction of multilayer composition period by 13.8%. The antimony crystallization is accompanied by the formation of antimony lenses, which distort and destroy the multilayer coating. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C Изменения в структуре многослойных плёночных нанокомпозиций Sb/B₄C при нагреве до 360°C Changes in the Structure of the Multilayer Film Sb/B₄C Nanocomposition under Heating up to 360°C Article published earlier |
| spellingShingle | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C Копилець, І.А. Зубарєв, Є.М. Кондратенко, В.В. Севрюкова, В.А. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| title | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C |
| title_alt | Изменения в структуре многослойных плёночных нанокомпозиций Sb/B₄C при нагреве до 360°C Changes in the Structure of the Multilayer Film Sb/B₄C Nanocomposition under Heating up to 360°C |
| title_full | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C |
| title_fullStr | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C |
| title_full_unstemmed | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C |
| title_short | Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B₄C при нагріві до 360°C |
| title_sort | зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій sb/b₄c при нагріві до 360°c |
| topic | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| topic_facet | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112595 |
| work_keys_str_mv | AT kopilecʹía zmíniustrukturíbagatošarovihplívkovihnanokompozicíisbb4cprinagrívído360c AT zubarêvêm zmíniustrukturíbagatošarovihplívkovihnanokompozicíisbb4cprinagrívído360c AT kondratenkovv zmíniustrukturíbagatošarovihplívkovihnanokompozicíisbb4cprinagrívído360c AT sevrûkovava zmíniustrukturíbagatošarovihplívkovihnanokompozicíisbb4cprinagrívído360c AT kopilecʹía izmeneniâvstrukturemnogosloinyhplenočnyhnanokompoziciisbb4cprinagrevedo360c AT zubarêvêm izmeneniâvstrukturemnogosloinyhplenočnyhnanokompoziciisbb4cprinagrevedo360c AT kondratenkovv izmeneniâvstrukturemnogosloinyhplenočnyhnanokompoziciisbb4cprinagrevedo360c AT sevrûkovava izmeneniâvstrukturemnogosloinyhplenočnyhnanokompoziciisbb4cprinagrevedo360c AT kopilecʹía changesinthestructureofthemultilayerfilmsbb4cnanocompositionunderheatingupto360c AT zubarêvêm changesinthestructureofthemultilayerfilmsbb4cnanocompositionunderheatingupto360c AT kondratenkovv changesinthestructureofthemultilayerfilmsbb4cnanocompositionunderheatingupto360c AT sevrûkovava changesinthestructureofthemultilayerfilmsbb4cnanocompositionunderheatingupto360c |