Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини

Розмірні залежності електропровідности плівок хрому товщиною, меншою за 50 нм, сформованих в умовах надвисокого вакууму на поверхні скла та поверхні скла, попередньо покритій підшарами ґерманію, кількісно описано за допомогою теорій квазикласичного та квантового розмірних ефектів. Експериментальні д...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Металлофизика и новейшие технологии
Дата:	2016
Автори:	Бігун, Р.І., Гаврилюх, В.М., Коман, Б.П., Пастирський, Я.А., Стасюк, З.В., Леонов, Д.С.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
Теми:	Металлические поверхности и плёнки
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112607
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини / Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, Б. П. Коман, Я. А. Пастирський, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 9. — С. 1167-1177. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

_version_	1860038649559646208
author	Бігун, Р.І. Гаврилюх, В.М. Коман, Б.П. Пастирський, Я.А. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С.
author_facet	Бігун, Р.І. Гаврилюх, В.М. Коман, Б.П. Пастирський, Я.А. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С.
citation_txt	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини / Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, Б. П. Коман, Я. А. Пастирський, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 9. — С. 1167-1177. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.
collection	DSpace DC
container_title	Металлофизика и новейшие технологии
description	Розмірні залежності електропровідности плівок хрому товщиною, меншою за 50 нм, сформованих в умовах надвисокого вакууму на поверхні скла та поверхні скла, попередньо покритій підшарами ґерманію, кількісно описано за допомогою теорій квазикласичного та квантового розмірних ефектів. Експериментальні дані добре узгоджуються з результатами теоретичних розрахунків, при проведенні яких враховано особливості структури плівок і морфології їхньої поверхні. Розраховано параметри перенесення заряду в досліджуваних зразках. Размерные зависимости электропроводности плёнок хрома толщиной менее 50 нм, сформированных в условиях сверхвысокого вакуума на поверхности стекла и поверхности стекла, предварительно покрытой подслоями германия, количественно описаны с помощью теорий квазиклассического и квантового размерных эффектов. Экспериментальные данные хорошо согласуются с результатами теоретических расчётов, в которых учитываются особенности строения плёнок и морфологии их поверхности. Рассчитаны параметры переноса заряда в исследованных образцах. Conductivity—size dependences of chromium films with thickness d < 50 nm fabricated under ultrahigh vacuum conditions on both the surface of glass and the surface of glass predeposited with germanium underlayers are quantitatively described by quasi-classical and quantum size effects’ theories. The experimental data are agreed with theoretical calculations taking into account the structure and surface-morphology peculiarities of thin metal films. The charge transport parameters of experimental samples are calculated.
first_indexed	2025-12-07T16:54:58Z
format	Article
fulltext	1167 МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ И ПЛЁНКИ PACS numbers:72.10.Fk, 73.23.Ad,73.25.+i,73.50.Bk,73.61.At,73.63.Bd,81.15.Kk, 85.40.Xx Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, Б. П. Коман, Я. А. Пастирський, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов * Львівський національний університет імені Івана Франка, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна Технічний центр НАН України, вул. Покровська, 13, 04070 Київ, Україна  Розмірні залежності електропровідности плівок хрому товщиною, мен- шою за 50 нм, сформованих в умовах надвисокого вакууму на поверхні скла та поверхні скла, попередньо покритій підшарами ґерманію, кількі- сно описано за допомогою теорій квазикласичного та квантового розмір- них ефектів. Експериментальні дані добре узгоджуються з результатами теоретичних розрахунків, при проведенні яких враховано особливості структури плівок і морфології їхньої поверхні. Розраховано параметри перенесення заряду в досліджуваних зразках. Ключові слова: тонкі металеві плівки, поверхневе та зерномежове розсі- яння, напівпровідникові підшари субатомової товщини. Conductivity—size dependences of chromium films with thickness d50 nm fabricated under ultrahigh vacuum conditions on both the surface of glass and the surface of glass predeposited with germanium underlayers are quan- titatively described by quasi-classical and quantum size effects’ theories. The Corresponding authors: Roman Ivanovych Bihun E-mail: bihun28@ukr.net Ivan Franko National University of Lviv, 50 Dragomanov Str., 79005 Lviv, Ukraine Technical Centre, N.A.S. of Ukraine, 13 Pokrovs’ka Str., 04070 Kyiv, Ukraine Please cite this article as: R. I. Bihun, V. M. Gavrylyukh, B. P. Koman, Ya. A. Pastyrskyy, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Influence of Sublayers of Germanium on Charge Transfer in Films of Chromium of Nanometre Thickness, Metallofiz. Noveishie Tekhnol, 38, No. 9: 1167—1177 (2016) (in Ukrainian), DOI: 10.15407/mfint.38.09.1167. Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2016, т. 38, № 9, сс. 1167—1177 / DOI: 10.15407/mfint.38.09.1167 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2016 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1168 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, Б. П. КОМАН та ін. experimental data are agreed with theoretical calculations taking into ac- count the structure and surface-morphology peculiarities of thin metal films. The charge transport parameters of experimental samples are calculated. Key words: metal thin films, surface and grain boundary scatterings, semi- conductor sublayers of subatomic thickness. Размерные зависимости электропроводности плёнок хрома толщиной ме- нее 50 нм, сформированных в условиях сверхвысокого вакуума на по- верхности стекла и поверхности стекла, предварительно покрытой под- слоями германия, количественно описаны с помощью теорий квазиклас- сического и квантового размерных эффектов. Экспериментальные данные хорошо согласуются с результатами теоретических расчётов, в которых учитываются особенности строения плёнок и морфологии их поверхно- сти. Рассчитаны параметры переноса заряда в исследованных образцах. Ключевые слова: тонкие металлические плёнки, поверхностное и зерно- граничное рассеяния, полупроводниковые подслои субатомной толщины. (Отримано 15 липня 2016 р.) 1. ВСТУП Мініатюризація елементів пристроїв сучасної мікро- та наноелект- роніки є одним з основних напрямів розвитку сучасних нанотехно- логій, що уможливить ущільнити елементи на поверхні інтеґраль- ної схеми і таким чином зменшити лінійні розміри системи. Досяг- ненню даної мети сприяє створення тонкоплівкових зразків нано- метрових розмірів з наперед заданими структурою та електрични- ми властивостями. При формуванні електричносуцільної металевої плівки нанометрової товщини виникає низка технологічних труд- нощів, пов’язаних з тим, що ріст плівки на діелектричному під- ложжі розпочинається з виникнення ізольованих зародків криста- лізації, у яких внаслідок більш сильної взаємодії між атомами ме- талу в порівнянні із взаємодією атомів металу з атомами поверхні підкладинки зберігається тенденція до коалесценції. Це явище ускладнює одержання дуже тонкої плівки у вигляді суцільного провідного шару. Перспективним шляхом вирішення даної про- блеми виявилось поєднання методики замороженої конденсації та використання ультратонких підшарів поверхневоактивних речо- вин, попередньо нанесених на поверхню діелектричної підкладин- ки. Зокрема, для плівок хрому було показано, що використання згаданих технологій уможливлює забезпечити формування однорі- дних дрібнокристалічних шарів металу з передбачуваною структу- рою [1]. Завдяки змінам масової товщини підшару ґерманію, попе- редньо нанесеного на підкладинку, забезпечувалася можливість керування лінійними розмірами кристалітів металу у площині, па- ВПЛИВ ПІДШАРІВ Ge НА ПЕРЕНЕСЕННЯ ЗАРЯДУ В ПЛІВКАХ Cr 1169 ралельній підложжю. Метою даної роботи було виявити можливос- ті надійного кількісного опису розмірних залежностей явищ елект- роперенесення в плівках хрому на основі сучасних модельних уяв- лень про кінетичні явища в плівках металів. 2. ОСОБЛИВОСТІ МЕТОДИКИ ЕКСПЕРИМЕНТУ, ДОСЛІДЖУВАНІ ОБ’ЄКТИ Експеримент реалізовано в суцільнометалевій експериментальній системі на основі стандартного вакуумного поста УСУ-4 при сумар- ному тиску залишкових газів не вищому за 10 7 Па з використан- ням модернізованих метод препарування плівок, описаних деталь- но для скляних експериментальних приладів [2, 3] та для металевої системи [1]. В якості підкладинок для формування плівок викорис- тано пластини полірованого, отопленого скла, на краї поверхні яких нанесено срібні контакти. Хром та ґерманій наносили на по- верхню підкладинки шляхом конденсації пари термічно випарува- них матеріялів. Масову товщину нанесених плівок хрому та ґерма- нію оцінювали по зсуву резонансної частоти п’єзокварцового вібра- тора, розміщеного в потоці пари випаровуваної речовини. Інформа- цію про структуру плівок хрому використано з даних роботи [1], в якій детально описано особливості формування плівок з викорис- танням методики «замороженої конденсації» на поверхні скла та на поверхні підшару ґерманію, попередньо нанесеного на поверхню скла. Температурний режим препарування і дослідження електри- чних параметрів плівок відповідає режиму T  (0,1—0,2)Тп (Тп – температура топлення металу). Досліджено електропровідність свіжонанесених на підкладинку при T  293 К плівок хрому з вико- ристанням двозондової методики вимірювання за допомогою циф- рового приладу В7-34А, спряженого з комп’ютером. Вимірювальна система обладнана електронним комутатором для здійснення поче- ргового вимірювання опору декількох плівок одночасно в процесі їхнього формування. Використання комутатора забезпечувало ко- роткотривале вимірювання опору кожної плівки і тим самим змен- шувало вплив відпалу плівки при протіканні через неї вимірювано- го струму. З результатів структурних досліджень [1] випливає, що викорис- тання даної методики препарування плівок, забезпечує формуван- ня дрібнокристалічних плівок хрому з середніми лінійними розмі- рами зерна в площині, паралельній підложжю, незалежними від товщини плівки металу. Розміри зерна в плівці можна було зміню- вати шляхом зміни товщини підшару ґерманію в межах від D  5,3 нм для плівок хрому, нанесених на чисту поверхню скла, до D  3,5 нм для плівок хрому, сформованих на поверхні підшару ґерманію масовою товщиною в декілька нанометрів. Зауважимо, що фізична 1170 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, Б. П. КОМАН та ін. картина процесу керування лінійними розмірами у плівках мета- лів, зокрема хрому, випливає з відомих в літературі робіт [4—6]. 3. ПЕРЕНЕСЕННЯ ЗАРЯДУ В ПЛІВКАХ ХРОМУ На рисунку 1 наведено залежності провідности плівок хрому квад- ратної форми (  1/R ⁪, R – опір плівки квадратної форми товщиною d) свіжонанесених при Т  293 К на чисту поверхню скла (1) та по- верхню скла, попередньо покриту підшаром ґерманію масовою то- вщиною 8 нм (2), від товщини плівок хрому. З рисунка видно, що у початковій стадії росту плівки електропровідність виникає раніше для плівок на поверхні підшару ґерманію, а при більших товщинах плівок хрому спостерігається поява провідности у плівках, сформо- ваних на чистій поверхні скла. Наприкінці процесу осадження хрому, за достатньо великих товщин плівок їх провідність у випад- ку нанесення плівки на чисту поверхню скла перевищує провід- ність плівки тієї ж товщини d, але нанесеної на поверхню підшару ґерманію. Подібна поведінка залежностей провідности від товщини плівок металів, нанесених на чисту поверхню діелектрика та на по- Рис. 1. Залежності провідности плівок хрому від товщини плівки (d)   1/R(d): 1 – плівки хрому, осаджені на чисте скляне підложжя, 2 – плі- вки хрому, осаджені на поверхню підшару ґерманію масовою товщиною 8 нм. Fig. 1. Dependences of conductivity of the chrome films on film thickness (d)  1/R(d): 1–chromium films deposited onto the clean glass substrate, 2–chromium films deposited onto the surface of germanium sublayer with mass thickness of 8 nm. ВПЛИВ ПІДШАРІВ Ge НА ПЕРЕНЕСЕННЯ ЗАРЯДУ В ПЛІВКАХ Cr 1171 верхню діелектрика, попередньо покриту підшаром поверхневоак- тивної речовини (ґерманію, кремнію, сурми та ін.), спостерігалась для плівок золота, міді, паладію, нікелю [2, 3]. Існування подібного явища обумовлене впливом внутрішнього розмірного ефекту. Надійний кількісний опис розмірних залежностей питомої про- відности (питомого опору   1/) можна здійснити на основі сучас- них теорій квазикласичного та квантового розмірних ефектів. Ві- домо, що згадані теорії створено для суцільних металевих шарів, а тому мінімальні товщини плівок, при яких можливе використання теорій обмежуються станом системи, коли реалізується металевий характер перенесення заряду з позитивним температурним коефі- цієнтом опору . Найменшу товщину плівки dc, при якій виникає перший канал провідности металічного характеру, можна оцінити в рамках перколяційного підходу. Поріг протікання dc (percolation threshold) оцінюємо шляхом лінеаризації графіка залежности R  R ⁪(d) перетворенням до вигляду R ⁪  (ddc)  [3]. Подібне перет- ворення даних подано на вставці рис. 1. Звідки видно, що для плі- вок хрому, нанесених на чисту поверхню скла dc  2 нм, а для плі- вок, нанесених на поверхню підшару ґерманію товщиною 8 нм, ця величина рівна 1,1 нм. Величини  відповідно 1,11 та 1,02. Останній результат уможливлює стверджувати, що в нашому випадку реалі- зується пошаровий ріст плівки хрому, оскільки згідно з теорією пе- рколяційних явищ при 2D-перколяції величина  має задовольняти нерівності 1    1,3. Перехід до домінувального металічного хара- ктеру провідности з позитивним температурним коефіцієнтом опо- ру звичайно завершується у плівках товщиною d  (1,5—2,0)dc [3]. Тому для плівок хрому, нанесених на чисту поверхню скла, варто очікувати, що теорії розмірних явищ зможуть надійно описати еле- ктричні властивості цих плівок починаючи з товщин більших за 3 нм, а для плівок хрому, нанесених на підшар ґерманію різної масо- вої товщини, – починаючи з d  2 нм. З результатів структурних досліджень випливає, що суцільні шари хрому на поверхні підша- рів ґерманію формуються саме при товщинах плівок хрому більших за 2 нм. Проаналізуємо можливість використання сучасних теорій розмі- рних явищ для кількісного опису результатів дослідження плівок хрому, сформованих на чистій поверхні та на поверхні, покритій підшарами ґерманію різної масової товщини. Найбільш загальний опис геометричних розмірних ефектів у плівках великих товщин, можна здійснити в рамках моделю полікристалічного шару неод- норідної товщини [7, 8]. Однак, завдяки тому, що лінійні розміри кристалітів у плівках хрому не залежать від товщини шару металу, вирази теорії [7, 8] спрощуються до виразу теорії Намба [8] і залеж- ности типу (d)d  f1(d) та (d)d  f2(d) в діяпазоні дуже великих то- вщин стають лінійними. Сказане підтверджують дані, наведені на 1172 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, Б. П. КОМАН та ін. рис. 2, на якому побудовано залежності (d)d  f1(d) плівок хрому, нанесених на чисту поверхню скла та поверхню скла, покриту під- шарами ґерманію масовою товщиною 3 нм. З рисунка видно, що лі- нійний характер згаданих залежностей зберігається, принаймні, до товщин 5 нм. Згідно з теорією класичного розмірного ефекту нахил лінійних ділянок дорівнює питомому опору плівок безмежної тов- щини  (питомий опір плівки даного ступеня досконалости при d  ). На основі кількісного опису експериментальних залежностей, представлених на рис. 2, за допомогою виразів теорії Намба [8] знайдено також величину  – ефективну середню довжину вільно- го пробігу носіїв струму у плівці даного ступеня досконалости та ве- личину h – середню амплітуду макроскопічних поверхневих неод- норідностей. Зауважимо, що величину  розраховано в припущені про дифузний характер розсіяння носіїв струму поверхнями дріб- нокристалічної плівки. З структурних досліджень [1] відомо, що середні лінійні розміри зерна D в площині, паралельній підложжю, D  5,5 нм (для плівок, сформованих на чистій поверхні скла) та D  3,5 нм (для плівок, сформованих на поверхні підшарів ґерманію масовою товщиною 3 Рис. 2. Розмірні залежності (d)d  f1(d) для плівок хрому: 1 – плівки хрому, осаджені на чисту скляну підкладинку, 2 – плівки хрому, оса- джені на підшар ґерманію масовою товщиною 3 нм. Fig. 2. Size dependences (d)d  f1(d) for chromium films: 1–films deposited onto a clean glass substrate, 2–films deposited onto germanium sublayer with mass thickness of 3 nm. ВПЛИВ ПІДШАРІВ Ge НА ПЕРЕНЕСЕННЯ ЗАРЯДУ В ПЛІВКАХ Cr 1173 нм). Тому внесок у величину  розсіяння межами зерен врахуємо на основі моделю Тельє—Тоссе—Пішар [8], ввівши параметер t – ймовірність міжзеренного тунелювання носіїв струму, за допомо- гою модифікованого співвідношення: (  0)/  3(1  t)/(1  t). (1) Результати розрахунку параметрів перенесення заряду у плів- ках, одержані за даними рис. 2, наведено в табл. 1. З даних, наведених у таблиці, видно, що вплив підшарів ґерма- нію на електричні властивості плівок хрому зводиться до зменшен- ня поверхневої шерсткости плівки h завдяки зменшенню розмірів зерен D і, в результаті, до зменшення ефективної середньої довжи- ни вільного пробігу носіїв струму. Подібні явища спостерігались і при дослідженні плівок низки металів, сформованих на поверхні підшарів ґерманію, кремнію і сурми [2, 3]. Вплив підшару ґерманію на лінійні розміри кристалітів у плівках хрому [1], як і у випадку плівок паладію [9], слабший за подібний вплив на розміри зерна у плівках золота та міді, що мабуть обумовлено вищою температурою топлення хрому та паладію у порівнянні із золотом і міддю [2, 3] та відповідно меншою рухливістю атомів цих речовин на поверхні пі- дкладинки при конденсації плівки. Залежності, подібні до даних наведених на рис. 2, одержано також для плівок хрому, сформова- них на поверхні підшарів ґерманію інших товщин. Відмінність цих даних полягає лише в кількісних значеннях h, D, , що обумовлено відмінністю абсолютних величин сил взаємодії атомів Хрому з ато- мами Ґерманію в початковій стадії зародження плівки металу, за- лежно від ступеня покриття діелектричної підкладинки атомами Ґерманію. Величини, наведені у таблиці, використано при розрахунку роз- мірних залежностей питомої провідности плівок хрому за допомо- гою виразів теорії квантового розмірного ефекту в плівках металів [9—15]. Співставлення експериментальних даних, одержаних для плівок хрому, з результатами розрахунків, виконаних на основі те- орій [9—15], проводили методами, аналогічними до метод, описаних ТАБЛИЦЯ 1. Результати розрахунку (здійсненого за даними рис. 2) пара- метрів перенесення заряду у плівках. TABLE 1. The results of calculation (carried out using data from Fig. 2) of parameters of the charge transfer in films. Плівки 10 8, Омм , нм D, нм t Cr 25 7,8 5,5 0,79 Cr—Ge 3 нм 35 5,4 3,5 0,75 1174 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, Б. П. КОМАН та ін. в [1, 16]. На рисунках 3 та 4 наведено результати співставлення експери- ментальних розмірних залежностей питомої провідности плівок хрому, сформованих відповідно на чистій поверхні скла та на пове- рхні скла, покритій підшаром ґерманію масовою товщиною 3 нм. З рисунків видно, що теоретичні залежності, розраховані на основі моделів [10—14], передають характер зміни експериментальних да- них лише у вузькому діяпазоні товщин. Згадані теоретичні залеж- ності взагалі непридатні для опису   (d) при переході до ділянки класичних геометричних ефектів. В кількісному плані, навіть в ді- япазоні збігу характеру залежностей   (d) одержуються запевне неправильні значення параметрів поверхневих неоднорідностей, сумірні з міжатомовими віддалями у плівці металу. В реальних ме- талевих плівках, згідно з результатами дослідження структури по- верхні за допомогою сканувальної тунельної мікроскопії, величи- ни, що характеризують ці неоднорідності, звичайно перевищують 1 нм, а для плівок легкотопких металів амплітуда шерсткости повер- хні може досягати 5—10 нм. На противагу оцінкам, здійсненим на основі моделів [10—14], ро- Рис. 3. Розмірні залежності питомої провідности свіжонанесених на чисту скляну підкладинку при 293 К плівок Cr. Точки – експериментальні дані, суцільні криві – апроксимаційні вирази теоретичних підходів: 1 – [15, 16], 2 – [12], 3 – [10, 11], 4 – [13, 14]. Fig. 3. Size dependences of conductivity of chromium films deposed onto the clean glass substrate at 293 K. Dots–experimental data, solid curves– approximation expressions of theoretical approaches: 1–[15, 16], 2–[12], 3–[10, 11], 4–[13, 14]. ВПЛИВ ПІДШАРІВ Ge НА ПЕРЕНЕСЕННЯ ЗАРЯДУ В ПЛІВКАХ Cr 1175 зрахунки, проведені на основі теорії [15, 16], добре узгоджуються з даними, одержаними експериментально. Таке узгодження досяга- ється завдяки врахуванню особливостей структури реальної плів- ки, зокрема впливу цих особливостей на релаксацію носіїв струму в об’ємі плівки. Величини підгінних параметрів h та , знайдені з ре- зультатів дослідження квазикласичної розмірної залежности про- відности плівок в діяпазоні великих товщин, використано при роз- рахунку згідно [15, 16]. Зауважимо, що величини параметрів, які характеризують особливості макроскопічних поверхневих неодно- рідностей, знайдених для плівок паладію, міді і золота з розмірних залежностей провідности плівок, добре узгоджуються з даними, одержаними при СТМ-дослідженнях структури поверхні плівок [3, 9]. Тому величини, що характеризують поверхневі неоднорідності плівок хрому, також мають бути коректними. 4. ВИСНОВКИ 1. Встановлено, що кількісний опис розмірних залежностей пито- Рис. 4. Розмірні залежності питомої провідности свіжонанесених на скля- ну підкладинку, попередньо покриту підшаром ґерманію масовою товщи- ною 3 нм, при 293 К плівок Cr. Точки – експериментальні дані, суцільні криві – апроксимаційні вирази теоретичних підходів 1 – [15, 16], 2 – [12], 3 – [10, 11], 4 – [13, 14]. Fig. 4. Size dependences of conductivity of the Cr films deposed on a glass substrate precoated with germanium sublayer of mass thickness of 3 nm at 293 K. Dots–experimental data, solid curves–approximation expressions of theoretical approaches: 1–[15, 16], 2–[12], 3–[10, 11], 4–[13, 14]. 1176 Р. І. БІГУН, В. М. ГАВРИЛЮХ, Б. П. КОМАН та ін. мої електропровідности дрібнокристалічних плівок хрому можна здійснити на основі теорій геометричного та квантового розмірних ефектів. 2. Пояснення електропровідности плівок хрому в широкому діяпа- зоні товщин здійснюється за допомогою сумісного використання виразів теорій квазикласичного та квантового розмірних ефектів. Найкраще узгодження експериментальних і розрахункових залеж- ностей одержується при сумісному використанні теорій [7, 8] і [15, 16]. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. Р. І. Бігун, М. Д. Бучковська, В. М. Гаврилюх, З. В Стасюк, Д. С. Леонов, Наносистеми, наноматеріали та нанотехнології, 13, вип. 2: 285 (2016). 2. А. П. Шпак, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Ю. А. Куницький, Наносистеми, наноматеріали та нанотехнології, 8, вип. 2: 339 (2010). 3. Р. І. Бігун, М. Д. Бучковська, Н. С. Колтун, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 12: 1659 (2013). 4. Н. Т. Гладких, С. В. Дукаров, А. П. Крышталь, В. И. Ларин, В. Н. Сухов, С. И. Богатыренко, Поверхностные явления и фазовые превращения в конденсированных пленках (Ред. Н. Т. Гладких) (Харьков: ХНУ им. В. Н. Каразина: 2004). 5. S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, and I.G. Churilov, Problems of Atomic Science and Technology, 89, No. 1: 110 (2014). 6. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Acta Metall., 46, No. 13: 4549 (1998). 7. Z. Stasyuk, J. Phys. Stud., 3, No. 1: 102 (1999). 8. З. В. Стасюк, А. І. Лопатинський, Фізика і хімія твердого тіла, 2, № 4: 521 (2001). 9. Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металлофиз. новейшие технол., 38, № 3: 329 (2016). 10. Z. Tesanovic, M. Jaric, and S. Maekawa, Phys. Rev. B, 57, No. 21: 2760 (1986). 11. Z. Tesanovic, Solid State Phys., 20, No. 6: L829 (1987). 12. N. Trivedi and N. Ashcroft, Phys. Rev. B, 38, No. 17: 12298 (1988). 13. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett., 62, No. 11: 1302 (1989). 14. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B, 43, No. 14: 11581 (1991). 15. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Металлофиз. новейшие технол., 36, № 6: 723 (2014). 16. R. I. Bihun, Z. V. Stasyuk, and O. A. Balitskii, Physica B, 487: 73 (2016). REFERENCES 1. R. I. Bihun, M. D. Buchkovska, V. M. Havryliukh, Z. V Stasiuk, and D. S. Leonov, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 13, Iss. 2: 285 (2016) (in Ukrainian). 2. A. P. Shpak, R. I. Bihun, Z. V. Stasiuk, and Yu. A. Kunytskyi, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 8, Iss. 2: 339 (2010) (in Ukrainian). 3. M. D. Buchkovska, R. I. Bihun, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Metallofiz. ВПЛИВ ПІДШАРІВ Ge НА ПЕРЕНЕСЕННЯ ЗАРЯДУ В ПЛІВКАХ Cr 1177 Noveishie Tekhnol., 35, No. 12: 1659 (2013) (in Ukrainian). 4. N. T. Gladkikh, S. V. Dukarov, A. P. Kryshtal’, V. I. Larin, V. N. Sukhov, and S. I. Bogatyrenko, Poverkhnostnye Yavleniya i Fazovye Prevrashcheniya v Kondensirovannykh Plenkakh (Ed. N. T. Gladkih) (Kharkiv: KhNU im. V. N. Karazina: 2004) (in Russian). 5. S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Problems of Atomic Science and Technology, 89, No. 1: 110 (2014). 6. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Acta Metall., 46, No. 13: 4549 (1998). 7. Z. Stasyuk, J. Phys. Stud., 3, No. 1: 102 (1999). 8. Z. V. Stasyuk and A. I. Lopatynskyi, Fizyka i Khimiya Tverdoho Tila, 2, No. 4: 521 (2001) (in Ukrainian). 9. R. I. Bigun, V. M. Gavrylyukh, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 38, No. 3: 329 (2016) (in Ukrainian). 10. Z. Tesanovic, M. Jaric, and S. Maekawa, Phys. Rev. B, 57, No. 21: 2760 (1986). 11. Z. Tesanovic, Solid State Phys., 20, No. 6: L829 (1987). 12. N. Trivedi and N. Ashcroft, Phys. Rev. B, 38, No. 17: 12298 (1988). 13. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett., 62, No. 11: 1302 (1989). 14. G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B, 43, No. 14: 11581 (1991). 15. R. I. Bihun and Z. V. Stasyuk, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 36, No. 6: 723 (2014) (in Ukrainian). 16. R. I. Bihun, Z. V. Stasyuk, and O. A. Balitskii, Physica B, 487: 73 (2016). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <FEFF004200720075006700200069006e0064007300740069006c006c0069006e006700650072006e0065002000740069006c0020006100740020006f007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400650072002c0020006400650072002000620065006400730074002000650067006e006500720020007300690067002000740069006c002000700072006500700072006500730073002d007500640073006b007200690076006e0069006e00670020006100660020006800f8006a0020006b00760061006c0069007400650074002e0020004400650020006f007000720065007400740065006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e0074006500720020006b0061006e002000e50062006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c006500720020004100630072006f006200610074002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00670020006e0079006500720065002e> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice
id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112607
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn	1024-1809
language	Ukrainian
last_indexed	2025-12-07T16:54:58Z
publishDate	2016
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
record_format	dspace
spelling	Бігун, Р.І. Гаврилюх, В.М. Коман, Б.П. Пастирський, Я.А. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С. 2017-01-23T18:35:12Z 2017-01-23T18:35:12Z 2016 Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини / Р. І. Бігун, В. М. Гаврилюх, Б. П. Коман, Я. А. Пастирський, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 9. — С. 1167-1177. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. 1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.38.09.1167 PACS: 72.10.Fk, 73.23.Ad, 73.25.+i, 73.50.Bk, 73.61.At, 73.63.Bd, 81.15.Kk, 85.40.Xx https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112607 Розмірні залежності електропровідности плівок хрому товщиною, меншою за 50 нм, сформованих в умовах надвисокого вакууму на поверхні скла та поверхні скла, попередньо покритій підшарами ґерманію, кількісно описано за допомогою теорій квазикласичного та квантового розмірних ефектів. Експериментальні дані добре узгоджуються з результатами теоретичних розрахунків, при проведенні яких враховано особливості структури плівок і морфології їхньої поверхні. Розраховано параметри перенесення заряду в досліджуваних зразках. Размерные зависимости электропроводности плёнок хрома толщиной менее 50 нм, сформированных в условиях сверхвысокого вакуума на поверхности стекла и поверхности стекла, предварительно покрытой подслоями германия, количественно описаны с помощью теорий квазиклассического и квантового размерных эффектов. Экспериментальные данные хорошо согласуются с результатами теоретических расчётов, в которых учитываются особенности строения плёнок и морфологии их поверхности. Рассчитаны параметры переноса заряда в исследованных образцах. Conductivity—size dependences of chromium films with thickness d < 50 nm fabricated under ultrahigh vacuum conditions on both the surface of glass and the surface of glass predeposited with germanium underlayers are quantitatively described by quasi-classical and quantum size effects’ theories. The experimental data are agreed with theoretical calculations taking into account the structure and surface-morphology peculiarities of thin metal films. The charge transport parameters of experimental samples are calculated. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини Влияние подслоёв германия на перенос заряда в плёнках хрома нанометровой толщины Influence of Sublayers of Germanium on Charge Transfer in Films of Chromium of Nanometre Thickness Article published earlier
spellingShingle	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини Бігун, Р.І. Гаврилюх, В.М. Коман, Б.П. Пастирський, Я.А. Стасюк, З.В. Леонов, Д.С. Металлические поверхности и плёнки
title	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини
title_alt	Влияние подслоёв германия на перенос заряда в плёнках хрома нанометровой толщины Influence of Sublayers of Germanium on Charge Transfer in Films of Chromium of Nanometre Thickness
title_full	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини
title_fullStr	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини
title_full_unstemmed	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини
title_short	Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини
title_sort	вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини
topic	Металлические поверхности и плёнки
topic_facet	Металлические поверхности и плёнки
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112607
work_keys_str_mv	AT bígunrí vplivpídšarívgermaníûnaperenesennâzarâduvplívkahhromunanometrovoítovŝini AT gavrilûhvm vplivpídšarívgermaníûnaperenesennâzarâduvplívkahhromunanometrovoítovŝini AT komanbp vplivpídšarívgermaníûnaperenesennâzarâduvplívkahhromunanometrovoítovŝini AT pastirsʹkiiâa vplivpídšarívgermaníûnaperenesennâzarâduvplívkahhromunanometrovoítovŝini AT stasûkzv vplivpídšarívgermaníûnaperenesennâzarâduvplívkahhromunanometrovoítovŝini AT leonovds vplivpídšarívgermaníûnaperenesennâzarâduvplívkahhromunanometrovoítovŝini AT bígunrí vliâniepodsloevgermaniânaperenoszarâdavplenkahhromananometrovoitolŝiny AT gavrilûhvm vliâniepodsloevgermaniânaperenoszarâdavplenkahhromananometrovoitolŝiny AT komanbp vliâniepodsloevgermaniânaperenoszarâdavplenkahhromananometrovoitolŝiny AT pastirsʹkiiâa vliâniepodsloevgermaniânaperenoszarâdavplenkahhromananometrovoitolŝiny AT stasûkzv vliâniepodsloevgermaniânaperenoszarâdavplenkahhromananometrovoitolŝiny AT leonovds vliâniepodsloevgermaniânaperenoszarâdavplenkahhromananometrovoitolŝiny AT bígunrí influenceofsublayersofgermaniumonchargetransferinfilmsofchromiumofnanometrethickness AT gavrilûhvm influenceofsublayersofgermaniumonchargetransferinfilmsofchromiumofnanometrethickness AT komanbp influenceofsublayersofgermaniumonchargetransferinfilmsofchromiumofnanometrethickness AT pastirsʹkiiâa influenceofsublayersofgermaniumonchargetransferinfilmsofchromiumofnanometrethickness AT stasûkzv influenceofsublayersofgermaniumonchargetransferinfilmsofchromiumofnanometrethickness AT leonovds influenceofsublayersofgermaniumonchargetransferinfilmsofchromiumofnanometrethickness

Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини

Репозитарії

Схожі ресурси