Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие закономерности для твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий...
Збережено в:
| Дата: | 2016 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112609 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений / А. Д. Погребняк, А. А. Гончаров // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 9. — С. 1145-1166. — Бібліогр.: 52 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие закономерности для твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий, состоящие в наличии столбчатой структуры и текстуры роста. Показано, что для карбидных и нитридных покрытий переходных металлов имеют место два возможных направления роста <111> и <100>, для диборидов переходных металлов таковым является <0001>. Проведён анализ влияния структурного состояния на изменение физико-механических характеристик нанокристаллических покрытий на основе нитридов, боридов и карбидов переходных металлов. |
|---|