Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді
Наведено результати досліджень розпаду суцільних полікристалічних плівок міді на островки під дією нагріву. Встановлено, що попереднє відпалювання плівок за температури у 150°C підвищує їх термічну стабільність. Ефект, що спостерігається, пояснюється зміною мікроструктури плівок у процесі їх відпалю...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112625 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді / С.І. Петрушенко, С.В. Дукаров, В.М. Сухов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 10. — С. 1351-1366. — Бібліогр.: 26 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112625 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Петрушенко, С.І. Дукаров, С.В. Сухов, В.М. 2017-01-24T12:39:32Z 2017-01-24T12:39:32Z 2016 Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді / С.І. Петрушенко, С.В. Дукаров, В.М. Сухов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 10. — С. 1351-1366. — Бібліогр.: 26 назв. — укр. 1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.38.10.1351 PACS: 61.43.Gt, 66.30.Fq, 66.30.Pa, 68.35.Dv, 68.55.J-, 68.60.Dv, 72.10.Fk, 73.61.At https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112625 Наведено результати досліджень розпаду суцільних полікристалічних плівок міді на островки під дією нагріву. Встановлено, що попереднє відпалювання плівок за температури у 150°C підвищує їх термічну стабільність. Ефект, що спостерігається, пояснюється зміною мікроструктури плівок у процесі їх відпалювання. За допомогою електронно-мікроскопічних досліджень кінетики зростання наскрізних пор при нагріванні визначено енергію активації поверхневої самодифузії у плівках міді. Приводятся результаты исследований распада сплошных поликристаллических плёнок меди на островки под действием нагрева. Установлено, что предварительный отжиг плёнок при температуре 150°C повышает их термическую стабильность. Наблюдаемый эффект объясняется изменением микроструктуры плёнок в процессе их отжига. С помощью электронно-микроскопических исследований кинетики роста сквозных пор при нагреве определена энергия активации поверхностной самодиффузии в плёнках меди. The results of studies of dispersion of continuous polycrystalline films of copper onto the islands under the influence of temperature are presented. As found, the previous annealing of films at the temperature of 150°C increases their thermal stability. The observed effect can be explained by the change in the microstructure of films during the annealing process. The activation energy of surface self-diffusion in copper films is determined using electron-microscopy studies of the kinetics of through-pores’ growth while heating. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді Рост сквозных пор и термическое диспергирование сплошных поликристаллических плёнок меди Growth of Through Pores and Thermal Dispersion of Continuous Polycrystalline Films of Copper Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді |
| spellingShingle |
Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді Петрушенко, С.І. Дукаров, С.В. Сухов, В.М. Металлические поверхности и плёнки |
| title_short |
Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді |
| title_full |
Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді |
| title_fullStr |
Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді |
| title_full_unstemmed |
Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді |
| title_sort |
зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді |
| author |
Петрушенко, С.І. Дукаров, С.В. Сухов, В.М. |
| author_facet |
Петрушенко, С.І. Дукаров, С.В. Сухов, В.М. |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| publishDate |
2016 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Рост сквозных пор и термическое диспергирование сплошных поликристаллических плёнок меди Growth of Through Pores and Thermal Dispersion of Continuous Polycrystalline Films of Copper |
| description |
Наведено результати досліджень розпаду суцільних полікристалічних плівок міді на островки під дією нагріву. Встановлено, що попереднє відпалювання плівок за температури у 150°C підвищує їх термічну стабільність. Ефект, що спостерігається, пояснюється зміною мікроструктури плівок у процесі їх відпалювання. За допомогою електронно-мікроскопічних досліджень кінетики зростання наскрізних пор при нагріванні визначено енергію активації поверхневої самодифузії у плівках міді.
Приводятся результаты исследований распада сплошных поликристаллических плёнок меди на островки под действием нагрева. Установлено, что предварительный отжиг плёнок при температуре 150°C повышает их термическую стабильность. Наблюдаемый эффект объясняется изменением микроструктуры плёнок в процессе их отжига. С помощью электронно-микроскопических исследований кинетики роста сквозных пор при нагреве определена энергия активации поверхностной самодиффузии в плёнках меди.
The results of studies of dispersion of continuous polycrystalline films of copper onto the islands under the influence of temperature are presented. As found, the previous annealing of films at the temperature of 150°C increases their thermal stability. The observed effect can be explained by the change in the microstructure of films during the annealing process. The activation energy of surface self-diffusion in copper films is determined using electron-microscopy studies of the kinetics of through-pores’ growth while heating.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112625 |
| citation_txt |
Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді / С.І. Петрушенко, С.В. Дукаров, В.М. Сухов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 10. — С. 1351-1366. — Бібліогр.: 26 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT petrušenkosí zrostannânaskríznihporítermíčnedisperguvannâsucílʹnihpolíkristalíčnihplívokmídí AT dukarovsv zrostannânaskríznihporítermíčnedisperguvannâsucílʹnihpolíkristalíčnihplívokmídí AT suhovvm zrostannânaskríznihporítermíčnedisperguvannâsucílʹnihpolíkristalíčnihplívokmídí AT petrušenkosí rostskvoznyhporitermičeskoedispergirovaniesplošnyhpolikristalličeskihplenokmedi AT dukarovsv rostskvoznyhporitermičeskoedispergirovaniesplošnyhpolikristalličeskihplenokmedi AT suhovvm rostskvoznyhporitermičeskoedispergirovaniesplošnyhpolikristalličeskihplenokmedi AT petrušenkosí growthofthroughporesandthermaldispersionofcontinuouspolycrystallinefilmsofcopper AT dukarovsv growthofthroughporesandthermaldispersionofcontinuouspolycrystallinefilmsofcopper AT suhovvm growthofthroughporesandthermaldispersionofcontinuouspolycrystallinefilmsofcopper |
| first_indexed |
2025-11-30T21:53:48Z |
| last_indexed |
2025-11-30T21:53:48Z |
| _version_ |
1850858588480733184 |