Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe
В работе исследовано влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела в слоистых плёночных композициях [Pt/Fe]n (n = 1, 2, 4, 8) толщиной 30 нм, осаждённых на подложки SiO₂(100 нм)/Si(001) магнетронным методом, на формирование их структуры и фазового состава при отжигах в вакууме в интервале температ...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2016 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112647 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe / М.Ю. Вербицкая, Е.А. Холина, Т.И. Вербицкая, Ю.Н. Макогон // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 12. — С. 1587-1598. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860193286340214784 |
|---|---|
| author | Вербицкая, М.Ю. Холина, Е.А. Вербицкая, Т.И. Макогон, Ю.Н. |
| author_facet | Вербицкая, М.Ю. Холина, Е.А. Вербицкая, Т.И. Макогон, Ю.Н. |
| citation_txt | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe / М.Ю. Вербицкая, Е.А. Холина, Т.И. Вербицкая, Ю.Н. Макогон // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 12. — С. 1587-1598. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | В работе исследовано влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела в слоистых плёночных композициях [Pt/Fe]n (n = 1, 2, 4, 8) толщиной 30 нм, осаждённых на подложки SiO₂(100 нм)/Si(001) магнетронным методом, на формирование их структуры и фазового состава при отжигах в вакууме в интервале температур 400—900°C. Показано, что увеличение количества границ при уменьшении толщины слоя способствует активации диффузионных процессов на границах раздела и формированию неупорядоченной фазы A1-FePt в композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ и частично упорядоченных областей с тетрагональными искажениями в композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈ уже при осаждении. Фазовое превращение A1-FePt → L1₀-FePt в плёночных композициях проходит во время отжига при температуре 700°C. В плёночной композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ образуется большее количество зёрен, ориентированных в направлении [001], перпендикулярном к подложке. Для плёночной композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈ характерна меньшая степень упорядочения. Дополнительное количество границ раздела сдерживает рост зёрен упорядоченной фазы L1₀-FePt при термической обработке в температурном интервале 700—800°C.
В роботі досліджено вплив товщин окремих шарів і роздільчих меж у шаруватих плівкових композиціях [Pt/Fe]n (n = 1, 2, 4, 8) товщиною у 30 нм, осаджених на підложжя SiO₂(100 нм)/Si(001) магнетронною методою, на формування їхніх структури та фазового складу при відпалах у вакуумі в інтервалі температур 400—900°C. Показано що, збільшення кількости меж при зменшенні товщини шару сприяє активації дифузійних процесів на роздільчих межах і формуванню невпорядкованої фази A1-FePt у композиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ та початку формування частково упорядкованих областей із тетрагональними спотвореннями у композиції [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈ вже при осадженні. Фазове перетворення A1-FePt → L1₀-FePt у плівкових композиціях починається під час відпалення за температури у 700°C. У плівковій композиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ утворюється більша кількість зерен, орієнтованих у напрямку [001], перпендикулярному до підложжя. Менший ступінь впорядкування є характерним для плівкової композиції [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈. Додаткова кількість роздільчих меж стримує ріст зерен впорядкованої фази L1₀-FePt при термічному обробленні в температурному інтервалі 700—800°C.
Influence of separate-layers’ thicknesses and interfaces in layer [Pt/Fe]n film compositions with thickness of 30 nm (n = 1, 2, 4, 8) deposited by magnetron sputtering on SiO₂(100nm)/Si(001) substrate on the formation of their structure and phase composition at annealing in a vacuum in the temperature range of 400—900°C is investigated. As shown, the increase in amount of interfaces at reducing layer thickness promotes in activation of diffusion processes on the interfaces and the formation of disordered A1-FePt phase in [Pt(4.2 nm)/Fe(3.2 nm)]₄ composition and partly ordered regions with tetragonal distortions in [Pt(2.1 nm)/Fe(1.6 nm)]₈ composition already at deposition. The A1-FePt → L1₀-FePt phase transformation in film compositions take place during annealing at 700°C. The greater amount of grains oriented in [001] direction perpendicular to substrate is formed in [Pt(4.2 nm)/Fe(3.2 nm)]₄ film compositions. The less degree of ordering is typical for [Pt(2.1 nm)/Fe(1.6nm)]₈ film composition. Additional amount of interfaces restrains grain growth of ordered L1₀-FePt phase at heat treatment in temperature range of 700—800°C.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:07:12Z |
| format | Article |
| fulltext |
1587
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ И ПЛЁНКИ
PACS numbers:64.70.Nd, 66.30.Pa,68.55.-a,75.50.Ss,75.50.Vv,75.70.Cn,81.40.Ef, 81.40.Rs
Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела
на фазовый состав и магнитные свойства
многослойных плёночных композиций Pt/Fe
М. Ю. Вербицкая, Е. А. Холина, Т. И. Вербицкая, Ю. Н. Макогон
Национальный технический университет Украины «КПИ»,
просп. Победы, 37,
03056 Киев, Украина
В работе исследовано влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела
в слоистых плёночных композициях [Pt/Fe]n (n 1, 2, 4, 8) толщиной
30 нм, осаждённых на подложки SiO2(100 нм)/Si(001) магнетронным ме-
тодом, на формирование их структуры и фазового состава при отжигах в
вакууме в интервале температур 400—900C. Показано, что увеличение
количества границ при уменьшении толщины слоя способствует актива-
ции диффузионных процессов на границах раздела и формированию
неупорядоченной фазы А1-FePt в композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 и
частично упорядоченных областей с тетрагональными искажениями в
композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 уже при осаждении. Фазовое пре-
вращение А1-FePt L10-FePt в плёночных композициях проходит во
время отжига при температуре 700C. В плёночной композиции [Pt(4,2
нм)/Fe(3,2 нм)]4 образуется большее количество зёрен, ориентированных
в направлении [001], перпендикулярном к подложке. Для плёночной
композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 характерна меньшая степень упоря-
дочения. Дополнительное количество границ раздела сдерживает рост
зёрен упорядоченной фазы L10-FePt при термической обработке в темпе-
ратурном интервале 700—800C.
Corresponding author: Iurii Mykolayovych Makogon
E-mail: y.makogon@kpi.ua
National Technical University of Ukraine ‘KPI’,
37 Peremohy Ave., 03056 Kyiv, Ukraine
Please cite this article as: M. Yu. Verbytska, Ye. A. Kholina, T. I. Verbytska, and
Iu. M. Makogon, Influence of Separate-Layers’ Thicknesses and Interfaces on the
Phase Composition and Magnetic Properties of Multilayer Pt/Fe Film Compositions,
Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 38, No. 12: 1587—1598 (2016) (in Russian),
DOI: 10.15407/mfint.38.12.1587.
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2016, т. 38, № 12, сс. 1587—1598 / DOI: 10.15407/mfint.38.12.1587
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2016 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
1588 М. Ю. ВЕРБИЦКАЯ, Е. А. ХОЛИНА, Т. И. ВЕРБИЦКАЯ, Ю. Н. МАКОГОН
Ключевые слова: наноразмерная плёнка, упорядоченная фаза L10-FePt,
граница раздела, коэрцитивная сила.
В роботі досліджено вплив товщин окремих шарів і роздільчих меж у ша-
руватих плівкових композиціях [Pt/Fe]n (n 1, 2, 4, 8) товщиною у 30 нм,
осаджених на підложжя SiO2(100 нм)/Si(001) магнетронною методою, на
формування їхніх структури та фазового складу при відпалах у вакуумі в
інтервалі температур 400—900C. Показано що, збільшення кількости
меж при зменшенні товщини шару сприяє активації дифузійних процесів
на роздільчих межах і формуванню невпорядкованої фази А1-FePt у ком-
позиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 та початку формування частково упоряд-
кованих областей із тетрагональними спотвореннями у композиції [Pt(2,1
нм)/Fe(1,6 нм)]8 вже при осадженні. Фазове перетворення А1-FePt L10-
FePt у плівкових композиціях починається під час відпалення за темпе-
ратури у 700C. У плівковій композиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 утворю-
ється більша кількість зерен, орієнтованих у напрямку [001], перпенди-
кулярному до підложжя. Менший ступінь впорядкування є характерним
для плівкової композиції [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8. Додаткова кількість
роздільчих меж стримує ріст зерен впорядкованої фази L10-FePt при тер-
мічному обробленні в температурному інтервалі 700—800C.
Ключові слова: нанорозмірна плівка, впорядкована фаза L10-FePt, розді-
льча межа, коерцитивна сила.
Influence of separate-layers’ thicknesses and interfaces in layer [Pt/Fe]n film
compositions with thickness of 30 nm (n 1, 2, 4, 8) deposited by magnetron
sputtering on SiO2(100 nm)/Si(001) substrate on the formation of their
structure and phase composition at annealing in a vacuum in the temperature
range of 400—900C is investigated. As shown, the increase in amount of in-
terfaces at reducing layer thickness promotes in activation of diffusion pro-
cesses on the interfaces and the formation of disordered А1-FePt phase in
[Pt(4.2 nm)/Fe(3.2 nm)]4 composition and partly ordered regions with te-
tragonal distortions in [Pt(2.1 nm)/Fe(1.6 nm)]8 composition already at dep-
osition. The А1-FePt L10-FePt phase transformation in film compositions
take place during annealing at 700C. The greater amount of grains oriented
in [001] direction perpendicular to substrate is formed in [Pt(4.2 nm)/Fe(3.2
nm)]4 film compositions. The less degree of ordering is typical for [Pt(2.1
nm)/Fe(1.6 nm)]8 film composition. Additional amount of interfaces re-
strains grain growth of ordered L10-FePt phase at heat treatment in tempera-
ture range of 700—800C.
Key words: nanosize film, ordered L10-FePt phase, interface, coercivity.
(Получено 27 сентября 2016 г.)
1. ВВЕДЕНИЕ
Актуальной задачей современной науки и техники является созда-
ние термически стабильных магнитных накопителей информации
ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИН СЛОЁВ И ГРАНИЦ РАЗДЕЛА НА СОСТАВ И СВОЙСТВА Pt/Fe 1589
со сверхвысокой плотностью записи [1—6]. Одними из наиболее пер-
спективных материалов являются наноразмерные плёночные ком-
позиции на основе FePt с упорядоченной фазой L10-FePt, которой
присущи высокие значения коэрцитивной силы (Hc 1600 кА/м) и
энергии магнитокристаллической анизотропии (Ku 7106
Дж/м3)
[3—10]. Они способны обеспечить термическую стабильность носи-
теля записи даже при малых размерах его зёрен ( 3 нм), что увели-
чит максимально возможную плотность магнитной записи до
7 Тбит/см
2
[11—18]. Для формирования магнитотвёрдой фазы L10-
FePt необходимо проведение высокотемпературной термической
обработки, что приводит к увеличению размера зёрен и шерохова-
тости поверхности, что, в свою очередь, оказывает негативное вли-
яние на повышение плотности записи.
При осаждении многослойных плёнок в соседних слоях на гра-
нице их раздела происходит взаимная диффузия атомов Fe и Pt.
Дополнительное количество границ раздела в многослойных струк-
турах [Fe/Pt]n способствует увеличению количества мест для обра-
зования зародышей фазы L10 и этим обеспечивает экстра-движу-
щую силу для упорядочения, что позволяет снизить температуру
формирования фазы L10 и управлять магнитной анизотропией [7—
17].
Температура упорядочения может быть значительно понижена, а
коэрцитивная сила Hc может быть повышена изменением напря-
жённого состояния между плёнкой FePt и соответствующей под-
ложкой или за счёт диффузии примесей с более низкой поверхност-
ной энергией [10, 15].
Несмотря на большое количество экспериментальных и теорети-
ческих работ, посвящённых изучению диффузионного формирова-
ния магнитотвёрдых плёнок FePt, в опубликованных статьях со-
держится много противоречивых результатов, что связано со слож-
ностью экспериментального исследования и необходимостью учёта
большого количества факторов при получении и отжиге, влияющих
на формирование фазового состава и структуры плёнок.
В связи с этим актуальным является исследование в данной рабо-
те влияния границ раздела в слоистых плёночных композициях
[Pt/Fe]n при n 1, 2, 4, 8 и сохранении постоянной общей толщины
слоёв на формирование структуры, фазового состава и магнитных
свойств при отжиге.
2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Наноразмерные многослойные плёночные композиции Pt(15
нм)/Fe(15 нм), [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2, [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 и
[Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 с общей толщиной 30 нм были осаждены
магнетронным методом на подложки SiO2(100 нм)/Si(001) при ком-
1590 М. Ю. ВЕРБИЦКАЯ, Е. А. ХОЛИНА, Т. И. ВЕРБИЦКАЯ, Ю. Н. МАКОГОН
натной температуре. Определение толщины осаждённого слоя осу-
ществлялось с помощью кварцевого резонатора, а также методами
рентгеновской рефлектометрии и резерфордовского обратного рас-
сеивания. Погрешность определения толщины плёнки составляла
1 нм. Концентрационный состав плёнок сплава после отжига ме-
нялся от 55,4 до 50 ат.% Fe, и от 44,6 до 50 ат.% Pt. Отжиг образцов
проводился в высоком вакууме 1,310
3
Па в интервале температур
300—900C со скоростью нагрева 5C/с и с выдержкой 30 с при каж-
дой температуре. Структуру и фазовый состав плёночных компози-
ций после осаждения и термической обработки изучено методом
рентгеноструктурного фазового анализа с помощью дифрактометра
Ultima IV Rigaku в излучении CuK. Резистометрические измере-
ния выполнены четырёхзондовым методом при комнатной темпе-
ратуре. Морфологию поверхности исследовано методом атомно-
силовой микроскопии с использованием прибора DI Dimention
3000. Магнитные свойства плёнок определены методом SQUID маг-
нитометрии. Степень упорядочения фазы L10-FePt и объёмная доля
упорядоченной фазы оценивались по отношению параметров ре-
шётки с/а и интенсивностей дифракционных рефлексов
I(001)/I(002) [15, 16]. Степень ориентации оси с лёгкого намагни-
чивания по отношению к нормали к поверхности плёнки определя-
лась по отношению I(001)/I(111). Оценку размера зерна после от-
жигов проведено по формуле Дебая—Шеррера: d k/(cos), где
– длина волны излучения, – ширина пика на половине высо-
ты, – угол дифракционного максимума, k 0,9.
3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
После осаждения в плёнках Pt(15 нм)/Fe(15 нм) и [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5
нм)]2 наблюдаются рефлексы от слоёв отдельных металлов Fe и Pt
(рис. 1, а). При уменьшении толщины отдельных слоёв Pt и Fe при
сохранении общей толщины плёночной композиции увеличивается
количество границ раздела Pt/Fe и в процессе осаждения активи-
зируются диффузионные процессы между слоями Pt и Fe. Это вы-
ражено в изменении вида спектров резерфордовского обратного
рассеяния и говорит о том, что на границах раздела присутствуют
зоны, где произошла взаимная диффузия между слоями (рис. 1, б).
Результаты рентгеновской рефлектометрии показывают, что непо-
средственно после осаждения плёнки представляли собой слоистую
структуру (рис. 1, в).
На дифрактограмме плёночной композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2
нм)]4 после осаждения наблюдаются два рефлекса: на углах 2 39
и 2 40,44 (рис. 1, а). Структурный рефлекс 2 39, который не
соответствует положению рефлекса (111) Pt, является сателлитом
[11, 13, 14], что указывает на многослойную структуру плёночной
ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИН СЛОЁВ И ГРАНИЦ РАЗДЕЛА НА СОСТАВ И СВОЙСТВА Pt/Fe 1591
композиции. В то же время, второй рефлекс 2 40,44 соответ-
ствует положению структурного рефлекса (111) фазы А1-FePt и
означает, что на границах раздела слоёв Pt/Fe, во время осаждения
уже сформировались зоны с неупорядоченной ГЦК-структурой
(рис. 1, а).
При увеличении количества границ раздела возрастает доля пе-
ремешанных областей во время осаждения плёночных композиций:
в плёнке [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 положение сателлита на дифрак-
тограмме смещается в сторону меньших углов к 2 38,48, а поло-
жение второго рефлекса сдвигается в сторону больших углов до
2 41,2 и совпадает с положением рефлекса (111) от L10-FePt. Это
означает образование тетрагональных искажений кристаллической
решётки и формирование областей ближнего порядка с ГЦТ-
структурой FexPt1x. Авторы работы [17] также наблюдали анало-
гичную активизацию диффузных процессов в многослойных струк-
Рис. 1. Дифрактограммы (а), спектры резерфордовского обратного рассеи-
вания (б) и результаты рентгеновской рефлектометрии (в) плёночных
композиций [Pt/Fe]n (n 1, 2, 4, 8) после осаждения. Излучение CuK.
Fig. 1. XRD patterns (а), RBS spectrums (б), and X-ray reflectivity results (в)
of as-deposited [Pt/Fe]n film compositions (n 1, 2, 4, 8); CuK radiation.
1592 М. Ю. ВЕРБИЦКАЯ, Е. А. ХОЛИНА, Т. И. ВЕРБИЦКАЯ, Ю. Н. МАКОГОН
турах [Pt/Co]n при осаждении.
После отжигов при температурах 400 и 500C в течение 30 с фазо-
вых и структурных изменений в плёночных композициях не про-
исходит.
О начале процессов диффузионного фазообразования при повы-
шении температуры отжига может свидетельствовать постепенное
смещение положения рефлекса (111) от Pt в сторону больших углов,
что указывает на взаимную диффузию атомов Fe в Pt. При этом бо-
лее активным диффузантом является Fe [18].
После отжига при температуре 600C на дифрактограммах плё-
нок Pt(15 нм)/Fe(15 нм) и [Pt(7,5 нм)/Fe (7,5 нм)]2 исчезают ре-
флексы от слоёв металлов, и появляется рефлекс (111) от неупоря-
доченной фазы A1-FePt (рис. 2, а, б). Кроме того, в композиции
[Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 начинает формироваться фаза L10-FePt
(рис. 2, б) [16]. Аналогичное, но более выраженное изменение фазо-
вого состава наблюдается в плёнке [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 (рис. 2,
в). В то же время, отжиг при 600C плёночной композиции
[Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 не приводит к изменению дифракционной
картины по сравнению с дифрактограммой этой композиции после
осаждения, поскольку рефлекс 2 41,2, который соответствует
положению структурного рефлекса (111) фазы L10-FePt, и сателлит
на угле 2 38,48 остаются на тех же местах (рис. 2, г). Это означа-
ет, что образование дополнительных областей ближнего порядка с
ГЦТ-структурой FePt не произошло, и плёнка остаётся многослой-
ной. Таким образом, можно утверждать, что количество границ
раздела влияет на температуру начала процесса упорядочения в
многослойных плёночных композициях уже при осаждении.
После осаждения плёночным композициям присущи магнито-
мягкие свойства. После отжига при 600C коэрцитивная сила в
плёнке [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 почти вдвое выше коэрцитивной си-
лы в плёнке Pt(15 нм)/Fe(15 нм) (рис. 3).
При увеличении количества границ раздела в плёнке [Pt(2,1
нм)/Fe(1,6 нм)]8 происходит уменьшение коэрцитивной силы, что
связано с меньшей степенью упорядочения плёнок (рис. 3, а). При
дальнейшем увеличении температуры отжига до 700C активизи-
руется фазовое превращение А1 L10 с образованием магнитотвёр-
дой упорядоченной фазы L10-FePt, о чём свидетельствует появление
на дифрактограммах плёночных композиций сверхструктурного
рефлекса (001) и расщепление структурного рефлекса (200) на (200)
и (002). Отношение интенсивностей дифракционных максимумов
I(001)/I(002) в плёнках с n 1, 2 практически не меняется, так как
основной процесс упорядочения прошёл при температуре отжига
700C (рис. 3, а).
Многослойная структура плёночных композиций влияет на их
магнитные свойства при отжиге до температуры 700C (рис. 3, б).
ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИН СЛОЁВ И ГРАНИЦ РАЗДЕЛА НА СОСТАВ И СВОЙСТВА Pt/Fe 1593
Как видно из рисунка 4, на котором приведены кривые намагни-
чивания M(H), после отжига при 700C коэрцитивная сила плёнки
[Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 больше, чем в композиции [Pt(4,2
нм)/Fe(3,2 нм)]4 (рис. 4, в, г).
При повышении температуры отжига до 900C интенсивности
рефлексов (001) и (002) фазы L10-FePt растут, что связано с даль-
Рис. 2. Дифрактограммы плёночных композиций Pt(15 нм)/Fe(15 нм) (а),
[Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 (б), [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 (в) и [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6
нм)]8 (г) после термической обработки в интервале температур 600—900C.
Излучение CuK.
Fig. 2. XRD patterns of Pt(15 nm)/Fe(15 nm) (а), [Pt(7.5 nm)/Fe(7.5 nm)]2
(б), [Pt(4.2 nm)/Fe(3.2 nm)]4 (в), and [Pt(2.1 nm)/Fe(1.6 nm)]8 (г) film compo-
sitions after heat treatment in temperature range of 600—900C; CuK radia-
tion.
1594 М. Ю. ВЕРБИЦКАЯ, Е. А. ХОЛИНА, Т. И. ВЕРБИЦКАЯ, Ю. Н. МАКОГОН
нейшим ходом фазового превращения A1-FePt L10-FePt. Интен-
сивность сверхструктурного рефлекса (001) в плёночных компози-
циях [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 при отжиге в интервале температур
800—900C выше, чем в композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8, что
соответствует большей степени упорядочения композиций с четы-
рёхкратным повторением слоёв.
После отжига плёнок [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 и [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6
нм)]8 в интервале температур 700—900C отношение I(001)/I(002)
возрастает, что указывает на увеличение количества магнитотвёр-
дой фазы L10-FePt в многослойных плёнках (рис. 5, а).
При повышении температуры отжига в результате формирова-
ния магнитотвёрдой фазы L10-FePt наблюдается резкий рост коэр-
цитивной силы. После отжига при 800C плёнки Pt(15 нм)/Fe(15
нм) имеют наибольшую, по сравнению с другими, коэрцитивную
силу (рис. 3, б).
С повышением температуры отжига в интервале 700—900C от-
ношение интенсивностей дифракционных рефлексов (001) и (111)
возрастает, причём в плёнках [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 количество
зёрен, ориентированных перпендикулярно плоскости подложки,
больше, чем в плёночных композициях с восьмикратным повторе-
нием слоёв (рис. 5, б), т.е. введение дополнительных границ раздела
в плёночные композиции [Pt/Fe]n сдерживает процесс формирова-
ния текстуры в материале при термической обработке.
После отжига при температуре 800C степень тетрагональности
Рис. 3. Зависимости коэрцитивной силы плёночных композиций [Pt/Fe]n
(n 1, 2, 4, 8) в перпендикулярно приложенном к плоскости плёнки маг-
нитном поле, и отношения интенсивностей рефлексов (001) и (002) фазы
L10-FePt после отжига при 600C от количества бислоёв (а) и коэрцитив-
ной силы плёночных композиций [Pt/Fe]n от температуры отжига (б).
Fig. 3. Dependences of coercivity of [Pt/Fe]n film compositions (n 1, 2, 4, 8)
in out-of-plane applied magnetic field and the (001) and (002) intensity reflec-
tions ratio of L10-FePt phase on quantity of bilayers (а) and coercivity of
[Pt/Fe]n film compositions on annealing temperature (б).
ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИН СЛОЁВ И ГРАНИЦ РАЗДЕЛА НА СОСТАВ И СВОЙСТВА Pt/Fe 1595
фазы L10-FePt в композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 наибольшая,
однако, при 900C она практически одинакова во всех плёночных
композициях (рис. 6, а).
Протекание диффузионных процессов в плёнках сопровождается
изменением электросопротивления (рис. 6, б). Присутствие одно-
временно двух фаз в плёнке [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 приводит к бо-
лее значительному увеличению электросопротивления образца по
сравнению с плёнкой Pt(15 нм)/Fe(15 нм), что связано с более
неравновесным состоянием. Процесс упорядочения и формирова-
ние магнитотвёрдой фазы во всех композициях подтверждается
уменьшением электросопротивления после отжига выше 700C
(рис. 6, б).
Размер зёрен (областей когерентного рассеяния) фазы L10-FePt
плёночной композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 увеличивается с
Рис. 4. Кривые намагничивания M(H) плёночных композиций [Pt/Fe]n,
где n 1 (а), 2 (б), 4 (в), 8 (г), после отжига при температуре 700C.
Fig. 4. Magnetization curves M(H) of [Pt/Fe]n film compositions, where n 1
(а), 2 (б), 4 (в), 8 (г), after annealing at 700C in in-plane and out-of-plane ap-
plied magnetic field.
1596 М. Ю. ВЕРБИЦКАЯ, Е. А. ХОЛИНА, Т. И. ВЕРБИЦКАЯ, Ю. Н. МАКОГОН
температурой отжига в большей степени, чем в плёночной компо-
зиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8. Это свидетельствует, что введение
дополнительных границ раздела способствует подавлению роста
зёрен при отжиге (рис. 7, а).
Зависимость средней шероховатости поверхности плёночных
композиций [Pt/Fe]n (n 1, 2, 4) от температуры отжига представ-
лена на рис. 7, б. После осаждения и термической обработки при
температуре 700C шероховатость практически не меняется. По-
Рис. 5. Зависимости отношений интенсивностей рефлексов I(001)/I(002)
(а) и I(001)/I(111) (б) фазы L10-FePt в плёночных композициях [Pt/Fe]n
(n 1, 2, 4, 8) от температуры отжига.
Fig. 5. Dependences of І(001)/І(002) (а) and І(001)/І(111) (б) intensity re-
flexes’ ratios of L10-FePt phase in [Pt/Fe]n film compositions (n 1, 2, 4, 8) on
annealing temperature.
Рис. 6. Зависимости степени тетрагональности кристаллической решётки
фазы L10-FePt (а) и относительного электросопротивления (б) плёночных
композиций [Pt/Fe]n (n 1, 2, 4, 8) от температуры отжига.
Fig. 6. Dependences of degree of tetragonality of crystal lattice of L10-FePt
phase (а) and relative electrical resistance (б) of [Pt/Fe]n film compositions
(n 1, 2, 4, 8) on annealing temperature.
ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИН СЛОЁВ И ГРАНИЦ РАЗДЕЛА НА СОСТАВ И СВОЙСТВА Pt/Fe 1597
вышение температуры отжига приводит к росту шероховатости
только в композиции Pt(15 нм)/Fe(15 нм), что коррелирует с ростом
зёрен фазы L10-FePt (рис. 7, а).
4. ВЫВОДЫ
При уменьшении толщины слоёв Fe и Pt в плёночных композициях
[Pt/Fe]n (n 1, 2, 4, 8) при условии сохранения общей толщины
плёнки постоянной (30 нм) возрастает доля перемешанных обла-
стей во время осаждения, что приводит к формированию неупоря-
доченной фазы А1-FePt в композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]4 и ча-
стично упорядоченных областей с тетрагональными искажениями в
композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]8 уже при осаждении. Термиче-
ская обработка плёночных композиций при температуре 700C
приводит к формированию магнитотвёрдой упорядоченной фазы
L10-FePt. Границы раздела в плёночных композициях влияют на
степень упорядочения и магнитные свойства формирующейся фазы
L10-FePt. Увеличение количества границ раздела в композиции
[Fe/Pt]8 приводит к уменьшению степени упорядочения, степени
ориентации зёрен в направлении [001], перпендикулярном к под-
ложке, а также сдерживанию их роста при отжиге в интервале тем-
ператур 700—800C.
Работа выполнена при финансовой поддержке немецкой органи-
зации по научному обмену (DAAD) грантами № 57094397
(2014/2015), № 57198300 (2015/2016) в рамках программы им.
Леонарда Эйлера. Авторы выражают благодарность сотрудникам
кафедры экспериментальной физики-4 университета г. Аугсбург
Рис. 7. Зависимости размера зёрен фазы L10-FePt (а) и средней шерохова-
тости поверхности (б) плёночных композиций [Pt/Fe]n от температуры от-
жига.
Fig. 7. Dependences of grain size of L10-FePt phase (а) and average surface
roughness (б) of [Pt/Fe]n film compositions on annealing temperature.
1598 М. Ю. ВЕРБИЦКАЯ, Е. А. ХОЛИНА, Т. И. ВЕРБИЦКАЯ, Ю. Н. МАКОГОН
(Германия), заведующему кафедрой профессору М. Альбрехту и
доктору Г. Беддису за изготовление образцов, помощь в проведении
исследований и обсуждение результатов.
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА–REFERENCES
1. M. H. Kryder, Proc of Symp. ‘Computerworld’s Storage Networking World
Conference’ (April 3—6, 2006) (San Diego, California: 2006), p. 350.
2. M. Albrecht and C. Brombacher, phys. status solidi (a), 210: 1272 (2013).
3. C. S. Esener, M. H. Kryder, D. D. William, M. Keshner, M. Mansuripur, and
D. A. Thompson, WTEC Panel on the Future of Data Storage Technologies
(Baltimore, Maryland: Loyola College: 1999); ISBN 1-883712-53-x.
4. O. P. Pavlova, T. I. Verbitska, I. A. Vladymyrskyi et al., Applied Surface
Science, 266: 100 (2013).
5. I. A. Vladymyrskyi, M. V. Karpets, G. L. Katona et al., J. Appl. Phys., 116: 4
(2014).
6. G. L. Katona, I. A. Vladymyrskyi, I. M. Makogon et al., Appl. Physics A:
Materials Science and Processing, 115, No. 1: 203 (2013).
7. Y. Ding, D. H. Wei, and Y. D. Yao, J. Appl. Phys., 103, Iss. 7: 07E145 (2008).
8. B. Yao and R. Coffey, J. Appl. Phys., 103: 118 (2007).
9. K. Dong, X. I. Yang, J. Yan et al., Acta Metallurgica Sinica, No. 1: 22 (2009).
10. Y. Endo, K. Oikawa, T. Miyazaky et al., J. Appl. Phys., 94: 7222 (2003).
11. N. Zotov, J. Feydt, and A. Ludwig, Thin Solid Films, 517: 531 (2008).
12. Dan Phuong Nguyen, Se-Young O, Chan-Woo Park, Keesam Shin, Chan-Gyu
Lee, Toshitada Shimozaki, and Takahisa Okino, J. Magnetism and Magnetic
Materials, 320, Iss. 14: e264 (2008).
13. A. Ludwig, N. Zotov, A. Savan, and S. Groudeva-Zotova, Appl. Surf. Sci., 252:
2518 (2006).
14. N. Zotov, J.Feydt, A. Savan, and A. Ludwig, J. Appl. Phys., 100: 073517
(2006).
15. Chun Feng, Bao-He Li, Yang Liu, Jiao Teng et al., J. Appl. Phys., 103: 023916
(2008).
16. Iu. M. Makogon, O. P. Pavlova, S. I. Sidorenko, T. I. Verbytska,
I. A. Vladymyrskyi, O. V. Figurna, and I. O. Kruglov, Metallofiz. Noveishie
Tekhnol., 36, No. 10: 1359 (2014) (in Russian).
17. V. W. Guo, B. Lu, X. Wu, G. Ju, B. Valcu, and D. Weller, J. Appl. Phys., 99,
Iss. 8: 08E918 (2006).
18. I. A. Vladymyrskyi, A. E. Gafarov, A. P. Burmak et al., J. Phys. D: Appl. Phys.,
49: 035003 (2016).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <FEFF03a703c103b703c303b903bc03bf03c003bf03b903ae03c303c403b5002003b103c503c403ad03c2002003c403b903c2002003c103c503b803bc03af03c303b503b903c2002003b303b903b1002003bd03b1002003b403b703bc03b903bf03c503c103b303ae03c303b503c403b5002003ad03b303b303c103b103c603b1002000410064006f006200650020005000440046002003c003bf03c5002003b503af03bd03b103b9002003ba03b103c42019002003b503be03bf03c703ae03bd002003ba03b103c403ac03bb03bb03b703bb03b1002003b303b903b1002003c003c103bf002d03b503ba03c403c503c003c903c403b903ba03ad03c2002003b503c103b303b103c303af03b503c2002003c503c803b703bb03ae03c2002003c003bf03b903cc03c403b703c403b103c2002e0020002003a403b10020005000440046002003ad03b303b303c103b103c603b1002003c003bf03c5002003ad03c703b503c403b5002003b403b703bc03b903bf03c503c103b303ae03c303b503b9002003bc03c003bf03c103bf03cd03bd002003bd03b1002003b103bd03bf03b903c703c403bf03cd03bd002003bc03b5002003c403bf0020004100630072006f006200610074002c002003c403bf002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002003ba03b103b9002003bc03b503c403b103b303b503bd03ad03c303c403b503c103b503c2002003b503ba03b403cc03c303b503b903c2002e>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <FEFF004b0069007600e1006c00f30020006d0069006e0151007300e9006701710020006e0079006f006d00640061006900200065006c0151006b00e90073007a00ed007401510020006e0079006f006d00740061007400e100730068006f007a0020006c006500670069006e006b00e1006200620020006d0065006700660065006c0065006c0151002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b0061007400200065007a0065006b006b0065006c0020006100200062006500e1006c006c00ed007400e10073006f006b006b0061006c0020006b00e90073007a00ed0074006800650074002e0020002000410020006c00e90074007200650068006f007a006f00740074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b00200061007a0020004100630072006f006200610074002000e9007300200061007a002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020007600610067007900200061007a002000610074007400f3006c0020006b00e9007301510062006200690020007600650072007a006900f3006b006b0061006c0020006e00790069007400680061007400f3006b0020006d00650067002e>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <FEFF0055007300740061007700690065006e0069006100200064006f002000740077006f0072007a0065006e0069006100200064006f006b0075006d0065006e007400f300770020005000440046002000700072007a0065007a006e00610063007a006f006e00790063006800200064006f002000770079006400720075006b00f30077002000770020007700790073006f006b00690065006a0020006a0061006b006f015b00630069002e002000200044006f006b0075006d0065006e0074007900200050004400460020006d006f017c006e00610020006f007400770069006500720061010700200077002000700072006f006700720061006d006900650020004100630072006f00620061007400200069002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000690020006e006f00770073007a0079006d002e>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <FEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006f006d002000640075002000760069006c006c00200073006b006100700061002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400200073006f006d002000e400720020006c00e4006d0070006c0069006700610020006600f60072002000700072006500700072006500730073002d007500740073006b00720069006600740020006d006500640020006800f600670020006b00760061006c0069007400650074002e002000200053006b006100700061006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006b0061006e002000f600700070006e00610073002000690020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00630068002000730065006e006100720065002e>
/TUR <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>
/UKR <FEFF04120438043a043e0440043804410442043e043204430439044204350020044604560020043f043004400430043c043504420440043800200434043b044f0020044104420432043e04400435043d043d044f00200434043e043a0443043c0435043d044204560432002000410064006f006200650020005000440046002c0020044f043a04560020043d04300439043a04400430044904350020043f045604340445043e0434044f0442044c00200434043b044f0020043204380441043e043a043e044f043a04560441043d043e0433043e0020043f0435044004350434043404400443043a043e0432043e0433043e0020043404400443043a0443002e00200020042104420432043e04400435043d045600200434043e043a0443043c0435043d0442043800200050004400460020043c043e0436043d04300020043204560434043a0440043804420438002004430020004100630072006f006200610074002004420430002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002004300431043e0020043f04560437043d04560448043e04570020043204350440044104560457002e>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112647 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:07:12Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Вербицкая, М.Ю. Холина, Е.А. Вербицкая, Т.И. Макогон, Ю.Н. 2017-01-24T21:08:07Z 2017-01-24T21:08:07Z 2016 Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe / М.Ю. Вербицкая, Е.А. Холина, Т.И. Вербицкая, Ю.Н. Макогон // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 12. — С. 1587-1598. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.38.12.1587 PACS: 64.70.Nd,66.30.Pa,68.55.-a,75.50.Ss,75.50.Vv,75.70.Cn,81.40.Ef,81.40.Rs https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112647 В работе исследовано влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела в слоистых плёночных композициях [Pt/Fe]n (n = 1, 2, 4, 8) толщиной 30 нм, осаждённых на подложки SiO₂(100 нм)/Si(001) магнетронным методом, на формирование их структуры и фазового состава при отжигах в вакууме в интервале температур 400—900°C. Показано, что увеличение количества границ при уменьшении толщины слоя способствует активации диффузионных процессов на границах раздела и формированию неупорядоченной фазы A1-FePt в композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ и частично упорядоченных областей с тетрагональными искажениями в композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈ уже при осаждении. Фазовое превращение A1-FePt → L1₀-FePt в плёночных композициях проходит во время отжига при температуре 700°C. В плёночной композиции [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ образуется большее количество зёрен, ориентированных в направлении [001], перпендикулярном к подложке. Для плёночной композиции [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈ характерна меньшая степень упорядочения. Дополнительное количество границ раздела сдерживает рост зёрен упорядоченной фазы L1₀-FePt при термической обработке в температурном интервале 700—800°C. В роботі досліджено вплив товщин окремих шарів і роздільчих меж у шаруватих плівкових композиціях [Pt/Fe]n (n = 1, 2, 4, 8) товщиною у 30 нм, осаджених на підложжя SiO₂(100 нм)/Si(001) магнетронною методою, на формування їхніх структури та фазового складу при відпалах у вакуумі в інтервалі температур 400—900°C. Показано що, збільшення кількости меж при зменшенні товщини шару сприяє активації дифузійних процесів на роздільчих межах і формуванню невпорядкованої фази A1-FePt у композиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ та початку формування частково упорядкованих областей із тетрагональними спотвореннями у композиції [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈ вже при осадженні. Фазове перетворення A1-FePt → L1₀-FePt у плівкових композиціях починається під час відпалення за температури у 700°C. У плівковій композиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]₄ утворюється більша кількість зерен, орієнтованих у напрямку [001], перпендикулярному до підложжя. Менший ступінь впорядкування є характерним для плівкової композиції [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]₈. Додаткова кількість роздільчих меж стримує ріст зерен впорядкованої фази L1₀-FePt при термічному обробленні в температурному інтервалі 700—800°C. Influence of separate-layers’ thicknesses and interfaces in layer [Pt/Fe]n film compositions with thickness of 30 nm (n = 1, 2, 4, 8) deposited by magnetron sputtering on SiO₂(100nm)/Si(001) substrate on the formation of their structure and phase composition at annealing in a vacuum in the temperature range of 400—900°C is investigated. As shown, the increase in amount of interfaces at reducing layer thickness promotes in activation of diffusion processes on the interfaces and the formation of disordered A1-FePt phase in [Pt(4.2 nm)/Fe(3.2 nm)]₄ composition and partly ordered regions with tetragonal distortions in [Pt(2.1 nm)/Fe(1.6 nm)]₈ composition already at deposition. The A1-FePt → L1₀-FePt phase transformation in film compositions take place during annealing at 700°C. The greater amount of grains oriented in [001] direction perpendicular to substrate is formed in [Pt(4.2 nm)/Fe(3.2 nm)]₄ film compositions. The less degree of ordering is typical for [Pt(2.1 nm)/Fe(1.6nm)]₈ film composition. Additional amount of interfaces restrains grain growth of ordered L1₀-FePt phase at heat treatment in temperature range of 700—800°C. Работа выполнена при финансовой поддержке немецкой организации по научному обмену (DAAD) грантами № 57094397(2014/2015), № 57198300 (2015/2016) в рамках программы им. Леонарда Эйлера. Авторы выражают благодарность сотрудникам кафедры экспериментальной физики-4 университета г. Аугсбург(Германия), заведующему кафедрой профессору М. Альбрехту и доктору Г. Беддису за изготовление образцов, помощь в проведении
 исследований и обсуждение результатов. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe Вплив товщин окремих шарів та роздільчих меж на фазовий склад і магнетні властивості багатошарових плівкових композицій Pt/Fe Influence of Separate-Layers’ Thicknesses and Interfaces on the Phase Composition and Magnetic Properties of Multilayer Pt/Fe Film Compositions Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe Вербицкая, М.Ю. Холина, Е.А. Вербицкая, Т.И. Макогон, Ю.Н. Металлические поверхности и плёнки |
| title | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe |
| title_alt | Вплив товщин окремих шарів та роздільчих меж на фазовий склад і магнетні властивості багатошарових плівкових композицій Pt/Fe Influence of Separate-Layers’ Thicknesses and Interfaces on the Phase Composition and Magnetic Properties of Multilayer Pt/Fe Film Compositions |
| title_full | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe |
| title_fullStr | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe |
| title_full_unstemmed | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe |
| title_short | Влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций Pt/Fe |
| title_sort | влияние толщин отдельных слоёв и границ раздела на фазовый состав и магнитные свойства многослойных плёночных композиций pt/fe |
| topic | Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet | Металлические поверхности и плёнки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112647 |
| work_keys_str_mv | AT verbickaâmû vliânietolŝinotdelʹnyhsloevigranicrazdelanafazovyisostavimagnitnyesvoistvamnogosloinyhplenočnyhkompoziciiptfe AT holinaea vliânietolŝinotdelʹnyhsloevigranicrazdelanafazovyisostavimagnitnyesvoistvamnogosloinyhplenočnyhkompoziciiptfe AT verbickaâti vliânietolŝinotdelʹnyhsloevigranicrazdelanafazovyisostavimagnitnyesvoistvamnogosloinyhplenočnyhkompoziciiptfe AT makogonûn vliânietolŝinotdelʹnyhsloevigranicrazdelanafazovyisostavimagnitnyesvoistvamnogosloinyhplenočnyhkompoziciiptfe AT verbickaâmû vplivtovŝinokremihšarívtarozdílʹčihmežnafazoviiskladímagnetnívlastivostíbagatošarovihplívkovihkompozicíiptfe AT holinaea vplivtovŝinokremihšarívtarozdílʹčihmežnafazoviiskladímagnetnívlastivostíbagatošarovihplívkovihkompozicíiptfe AT verbickaâti vplivtovŝinokremihšarívtarozdílʹčihmežnafazoviiskladímagnetnívlastivostíbagatošarovihplívkovihkompozicíiptfe AT makogonûn vplivtovŝinokremihšarívtarozdílʹčihmežnafazoviiskladímagnetnívlastivostíbagatošarovihplívkovihkompozicíiptfe AT verbickaâmû influenceofseparatelayersthicknessesandinterfacesonthephasecompositionandmagneticpropertiesofmultilayerptfefilmcompositions AT holinaea influenceofseparatelayersthicknessesandinterfacesonthephasecompositionandmagneticpropertiesofmultilayerptfefilmcompositions AT verbickaâti influenceofseparatelayersthicknessesandinterfacesonthephasecompositionandmagneticpropertiesofmultilayerptfefilmcompositions AT makogonûn influenceofseparatelayersthicknessesandinterfacesonthephasecompositionandmagneticpropertiesofmultilayerptfefilmcompositions |