Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
Разработана экспериментальная электронно-лучевая установка для нанесения противоэрозионных и противокорозионных покрытий на лопатки паровых турбин тепловых и атомных электростанций. Защитные покрытия наносятся методом атомно-ионного распыления с высокочастотной ионизацией паровой фазы. Проведены исс...
Saved in:
| Published in: | Наука та інновації |
|---|---|
| Date: | 2012 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/114213 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, Г.В. Кирик, В.И. Мирошниченко, А.Г. Нагорный, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, В.А. Нагорный // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 3. — С. 5-11. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859679567555330048 |
|---|---|
| author | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Кирик, Г.В. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Нагорный, В.А. |
| author_facet | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Кирик, Г.В. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Нагорный, В.А. |
| citation_txt | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, Г.В. Кирик, В.И. Мирошниченко, А.Г. Нагорный, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, В.А. Нагорный // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 3. — С. 5-11. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наука та інновації |
| description | Разработана экспериментальная электронно-лучевая установка для нанесения противоэрозионных и противокорозионных покрытий на лопатки паровых турбин тепловых и атомных электростанций. Защитные покрытия наносятся методом атомно-ионного распыления с высокочастотной ионизацией паровой фазы. Проведены исследования свойств покрытий, в том числе и ядерно-физическими методами.
Розроблена експериментальна установка для нанесення протиерозійних та протикорозійних покриттів на лопатки парових турбін теплових та атомних електростанцій. Захисні покриття наносятся методом атомно-іонного
розпилення з високочастотною іонізацією парової фази.
Проведено дослідження властивостей нанесених покриттів з використанням ядерно-фізичних методів.
Experimental equipment for application of erosion and corrosion protective coatings on the blades of steam turbines of thermal and nuclear power plants was designed. Protective coatings are applied by atomic-ion sputtering with the RF-ionization of the vapor phase. Investigations of coating properties including nuclear-physical methods were carried out.
|
| first_indexed | 2025-11-30T17:35:35Z |
| format | Article |
| fulltext |
5
Наука та інновації. 2012. Т. 8. № 3. С. 5—11.
© В.А. БАТУРИН, А.Ю. КАРПЕНКО, Г.В. КИРИК,
В.И. МИРОШНИЧЕНКО, А.Г. НАГОРНЫЙ,
С.А. ЕРЕМИН, С.А. ПУСТОВОЙТОВ,
В.А. НАГОРНЫЙ, 2012
В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, Г.В. Кирик, В.И. Мирошниченко,
А.Г. Нагорный, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, В.А. Нагорный
Институт прикладной физики НАН Украины, Сумы
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
МЕТОДОМ АТОМНО-ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ
Разработана экспериментальная электронно-лучевая установка для нанесения противоэрозионных и противо-
корозионных покрытий на лопатки паровых турбин тепловых и атомных электростанций. Защитные покрытия нано-
сятся методом атомно-ионного распыления с высокочастотной ионизацией паровой фазы. Проведены исследова-
ния свойств покрытий, в том числе и ядерно-физическими методами.
К л ю ч е в ы е с л о в а: вакуумная камера, электронная пушка, атомно-ионное распыление, ВЧ-ионизация, защит-
ные покрытия.
Требования, предъявляемые к современным
высокотехнологическим материалам, обуслав-
ливают необходимость создания на их поверх-
ности слоев с особыми характеристиками. Од-
ним из широко применяемых методов для из-
менения поверхностных свойств является на-
пыление покрытий с управляемым составом и
структурой. Использование электронно-луче-
вого испарения материалов позволяет получать
большие удельные мощности и дает возмож-
ность испарять различные вещества, в том чис-
ле и тугоплавкие металлы, с большой скоро-
стью. Получаемая при этом высокая плотность
пара даёт возможность возбуждать разряды
различного типа и ионизировать испаренное
вещество без дополнительного введения плаз-
мообразующего газа, а также реализовывать
высокие скорости нанесения покрытия. Фор-
мирование покрытий в высоком вакууме су-
щественно улучшает их качество. Кроме того,
такое преимущество электронно-лучевых уста-
новок, как получение пучков с большой уде ль-
ной мощностью при сравнительно низких энер-
гозатратах, позволяет использовать их для мо-
дификации приповерхностных слоев широкого
спектра деталей и узлов различного назначения
с целью улучшения их свойств. Прове дение
локальной обработки поверхности из бавляет
изделие от деформации, а кратковременный
электронно-лучевой нагрев дает возможность
закаливать поверхность, в том числе и из жид-
кого состояния. В последние годы активно
развивается модификация поверхности ком-
бинированными методами, когда нанесенное
на детали покрытие модифицируют электрон-
ным пучком. При этом возможна рекристал-
лизация покрытия, изменениие его пористос-
ти, улучшение однородности и адгезии, увели-
чение твердости и износостойкости.
Одной из проблем энергетики является уве-
личение ресурса работы паровых турбин теп-
ловых и атомных электростанций. На сегод-
няшний день нет надежных технологий защи-
ты рабочих лопаток турбин от эрозионного и
6 ISSN 1815-2066. Science and Innovation. T. 8, № 3, 2012
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
коррозионного разрушения. Известно, что эро-
зионный износ лопаток снижает экономич-
ность, мощность и вибрационную надежность
последних ступеней турбин. Потому задача соз-
дания экспериментальной установки для на-
не сения упрочняющих защитных покрытий
на лопатки паровых турбин и разработка тех-
нологий получения таких покрытий весьма
актуальна.
Среди новых технологий упрочнения лопа-
ток паровых турбин перспективной является
технология атомно-ионного распыления [1, 2].
В связи с вышеизложенным в Институте
прик ладной физики (ИПФ) НАН Украины в
рамках научно-технического проекта была раз-
работана экспериментальная установка для
электронно-лучевого испарения рабочих ве-
ществ (в том числе и тугоплавких) с ВЧ-иони-
зацией паровой фазы. Оборудование предна-
значено для нанесения защитных покрытий
на различные образцы с возможностью даль-
нейшей модификации полученных покрытий
сканирующим электронным пучком. Установ-
ка позволяет наносить противоэрозионные и
противокорозионные защитные покрытия на
длинномерные лопатки паровых турбин.
ОПИСАНИЕ УСТАНОВКИ
При создании установки использованы ре-
зультаты физических исследований и научно-
технических разработок ИПФ НАН Украины,
а также передовые технологии ионно-плазмен-
ного нанесения защитных покрытий, разрабо-
танные в ННЦ ХФТИ [3].
Схематическое изображение вакуумной ка-
меры электронно-лучевой установки для нане-
сения защитных покрытий показано на рис. 1.
На рис. 2 показана её фотография.
Вакуумная камера и система откачки
Вакуумная система должна обеспечивать оп-
ределенное давление в отдельных частях уста-
новки. Так, в электронной пушке в процессе
работы необходимо поддерживать высокий ва-
куум на уровне 10–4—10–5 Па, в то время как ва-
куумные условия в физической камере изме-
няются в широких пределах, что обусловлено
большим газовыделением в процессе нанесения
покрытий и требует высоких скоростей откачки.
Физическая камера установки состоит из
двух цилиндрических водоохлаждаемых час-
тей диаметром 500 мм и длиной 800 мм. Для
упрощения монтажно-демонтажных работ внут-
ри камеры боковые фланцы выполнены откат-
ными, а на раме предусмотрены специальные
ре льсы. Общая длина вакуумной камеры сос-
тав ляет 1600 мм, что позволяет наносить покры-
тие на образцы (в том числе и лопатки паро-
вых турбин), длина которых достигает 1000 мм.
На боковых фланцах основной камеры разме-
щены токовводы, система напуска газа, смотро-
вые окна и другие технологические устройства.
Один из фланцев содержит часть элементов
механизма крепления и перемещения образ-
цов. На нижнем фланце физической камеры
смонтировано устройство для испарения рас-
пыляемого материала (тигель-испаритель). Ра-
бочий вакуум в камере обеспечивается двумя
паромасляными насосами, каждый из которых
имеет скорость откачки 2500 л/с, что позволя-
ет работать в условиях сильного газовыделе-
ния в процессе нанесения покрытий. В качест-
ве рабочей жидкости в насосах используется
полифиниловый эфир 5Ф4Э, обладающий низ-
ким давлением насыщенных паров.
Электронно-лучевая пушка
В установке используется электронно-луче-
вая пушка ЭЛА-60Б (разработка ИЭС им. Па-
тона). Она позволяет осуществлять плавную
регулировку мощности электронного пучка с
током от 1 мА до 1 А при ускоряющем напря-
жении 60 кВ. Высокое анодное напряжение в
электронной пушке обуславливает необходи-
мость поддержания соответствующих вакуум-
ных условий для исключения электрических
пробоев. Поэтому для автономной откачки элек-
т ронной пушки применяется турбомолекуляр-
ный насос TPU-310 фирмы Balzers, со скоро-
стью откачки ~300 л/с. Это позволяет подде-
7ISSN 1815-2066. Наука та інновації. T. 8, № 3, 2012
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
рживать в электронной пушке вакуум на два
порядка выше, чем в основной камере уста-
новки, что особенно важно в процессе нанесе-
ния покрытий.
Тигель-испаритель
Для реализации схемы атомно-ионного рас-
пыления с электронно-лучевым испарителем
источник испаряемого вещества был изготов-
лен в форме стрежня, торец которого нагрева-
ется электронным пучком до температуры
плавления. Испаряемый стержень располага-
ется в охлаждаемом водой медном тигле. По-
дача материала в зону расплава происходит
снизу вверх через отверстие в кожухе (рис. 3).
Стенки испаряемого стрежня охлаждаются
при контакте с медью. Устройство охлаждения
спроектировано таким образом, чтобы расплав
рабочего вещества удерживался в его верхней
части, формируя объем испаряемой жидкости.
Интенсивное охлаждение медного кожуха пре-
дотвращает стекание расплава по стрежню. Че-
рез отверстие в нижней части тигля вводится
шток, который может перемещать рабочий стре-
жень по мере его испарения. Вся конструкция
тигля-испарителя крепится на нижнем флан-
це установки. Механизм подачи образца уп-
равляется двигателем через вакуумное уплот-
нение во фланце. Изменение общей скорости
вращения двигателя, а значит и скорости по-
дачи рабочего вещества осуществляется конт-
роллером двигателя.
Крепление образца
Механизм крепления образца для напыле-
ния, показанный на рис. 1, обеспечивает раз-
мещение образца в зоне испарения рабочего
вещества и предусматривает возможность его
продольного перемещения и вращения вокруг
оси. В зависимости от вида напыляемого ве-
щества возможно регулирование скорости пе-
ремещения и вращения. В конструкции меха-
низма предусмотрена тепловая и электричес-
кая развязка между закрепляемым образцом и
самим механизмом.
Высокочастотный индуктор
С целью улучшения качества осаждаемых
пок рытий в установке предусмотрено вы пол не-
ние таких функций, как нагрев напыляемого
образца и ионизация паровой фазы. Для ре а ли-
Рис. 1. Схематическое изображение продольного сечения
вакуумной камеры установки: 1 — вакуумный объем; 2 —
электронно-лучевая пушка; 3 — индуктор; 4 — упрочняе-
мая деталь (лопатка паровой турбины); 5 — механизм
крепления и подачи образца; 6 — вакуумная откачка; 7 —
вакуумный насос; 8 — тигель; 9 — окно видеонаблюдения
Рис. 2. Многофункциональная установка для получения
защитных покрытий
8 ISSN 1815-2066. Science and Innovation. T. 8, № 3, 2012
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
зации этих задач используется высокочастот-
ный индуктор. Он размещен внутри ва ку ум ной
камеры таким образом, чтобы ох ва ты вать об-
ласть покрываемой части детали. Ин дук тор че-
рез устройство согласования под сое ди ня ется
к источнику высокочастотных ко лебаний, в
качестве которого используется промышлен-
ная высокочастотная установка ВЧИ4-10В4 с
частотой колебаний 440 кГц и выходной мощ-
ностью 10 кВт.
Автоматизированная
система управления
Система автоматизации управления уста-
новкой состоит из аппаратной и программной
частей. Аппаратная часть спроектирована на
основе плат управления фирмы ICP DAS, ус-
танавливаемых в ЭВМ, через которые осу-
ществляется обмен информацией с электрон-
но-лучевой установкой.
Программное обеспечение разработано в сре-
де Delphi и занимает объем 600 Кбайт. На рис. 4
представлено рабочее окно программы.
Программа обладает следующими возмож-
ностями:
подача дискретных управляющих команд
(вкл./ выкл. ЭВМ-управления, системы ска-
нирования электронного пучка, клапана элек-
т ронной пушки, катода, системы наблюде-
ния и т. п.);
считывание состояния оборудования (сос-
тоя ние клапана электронной пушки, подог-
ревателя, катода, вакуумной камеры и т. п.);
подача аналоговых сигналов управления (ус-
тановка тока электронного пучка, его фоку-
сировка, отклонение по X и Y, ток бомбар-
дировки катода);
считывание аналоговых сигналов из обору-
дования (видеосигнал, ток электронного пуч-
ка, фокусировка, ток катушек сканирования
электронного пучка, ток бомбардировки ка-
тода и т. п.) и вывод их на график зависи-
мости от времени;
сканирование поверхности образца элект-
ронным пучком в пределах всего доступно-
го поля или заданного участка с целью по-
лучения изображения поверхности во вто-
ричных электронах;
Рис. 3. Устройство для испарения образцов: 1 — испари-
тель; 2 — охлаждение; 3 — механизм подачи образца; 4 —
фланец; 5 — двигатель
Рис. 4. Общий вид программы управления электронно-
лучевой установкой
9ISSN 1815-2066. Наука та інновації. T. 8, № 3, 2012
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
облучение поверхности образца электрон-
ным пучком по заданной программе с целью
оплавления и модификации поверхности
образца.
На рис. 5 показано изображение поверхнос-
ти облучаемого образца во вторичных элект-
ронах с разрешением 256 × 256 пикселей.
ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПОКРЫТИЙ
В ходе выполнения научно-технического про -
екта предусматривалось проведение исс ле до-
ва ний покрытий, нанесенных на установлен-
ные в турбину лопатки. С этой целью совмест-
но с сотрудниками ННЦ ХФТИ были подго-
товлены модельные образцы, изготовленные
из стали 12Х13 с защитными покрытиями, ана-
логичными тем, что наносились на лопатки
тур бин. Образцы в виде пластин заданного
раз мера были покрыты методом атомно-ион-
ного рас пыления с ВЧ-ионизацией паровой
фазы. Реализовывались следующие схе мы на-
несения покрытий:
атомно-ионное распыление хрома в присут с-
т вии углеродсодержащего газа;
совместное атомно-ионное распыление ни-
обия и углерода.
В ходе исследования структурно-физи чес-
ких характеристик полученных покрытий изу-
ча лись их физико-химическое состояние и
твер дость. Некоторые результаты, получен-
ные в ре зультате исследования, приведены в
таблице.
Анализ рентгеноструктурных исследований
металлсодержащих осажденных слоёв позво-
ляет сделать вывод, что покрытия содержат
сверхпересыщенный твёрдый раствор на ос-
Характеристики покрытий
№ образца
Микротвердость,
кг/мм2 Фаза
1 760 Cr
2 670 Cr, Cr3C2
3 830 Nb2C, Nb
4 1007 Nb2C, Nb
Рис. 5. Изображение поверхности образца во вторичных
электронах
Рис. 6. Спектр ХРИ — покрытие Cr на стали 12Х13
нове металлов (Nb, Cr) с нанокристалличес-
кими включениями их карбидных фаз. В хром-
содержащих покрытиях возможно наличие
амор фной фазы, что является следствием
фрагментации молекул углеродсодержащего
газа, в парах которого проводилось осаждение.
Микротвердость покрытий не соответствова-
ла литературным данным как для металлов,
так и для их карбидов, что подтвердило вывод
о суперпозиции состояний. Размытые рефлек-
сы рентгенограмм указывали на преимущест-
венно наноструктурное состояние покрытия с
10 ISSN 1815-2066. Science and Innovation. T. 8, № 3, 2012
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
большим количеством границ микрокристал-
лов, которое будет стойким к эрозионному
каплеударному воздействию при эксплуата-
ции этих покрытий внутри паровой турбины.
Проводились также исследования распре-
деления элементного состава покрытий на мо-
дельных образцах с помощью ядерного скани-
рующего микрозонда ИПФ НАН Украины [4].
Параметры растра — 100 × 100 пикселей, шаг
сканирования — 3 мкм, размер растра — 300 ×
× 300 мкм, энергия протонного пучка —1,4 МэВ.
Набор спектров производился при фиксиро-
ванном заряде в каждом пикселе. Исследова-
ния проводились методом μ-PIXE.
На рис. 6 показан спектр характеристичес-
кого рентгеновского излучения образца Cr на
стали 12Х13. Карта распределения элементов
на участке вблизи границы покрытия хромом
модельных образцов из стали 12Х13 показа-
на на рис. 7.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В ИПФ НАН Украины создана установка
для нанесения защитных покрытий методом
атомно-ионного распыления с высокочастот-
ной ионизацией паровой фазы. Установка име-
ет компьютерное управление и позволяет про-
водить работы по нанесению защитных пок-
рытий (в том числе и тугоплавких материалов)
на длинномерные детали и механизмы, а так-
же проводить локальную обработку материа-
лов электронным пучком в широком интерва-
ле плотности электронного пучка. Универса-
ль ность оборудования позволяет выполнять
работы по нанесению противокоррозионных и
противоэрозионных защитных покрытий на
лопатки паровых турбин тепловых и атомных
электростанций. Применение высо ко эф фек тив-
ного защитного покрытия позволяет уве ли чить
показатели надёжности и эконо мич ности ло-
паток турбин.
Результаты проекта внедрены на ОАО «Пол-
тавский турбомеханический завод» концерна
«Укрросметалл».
ЛИТЕРАТУРА
1. Ковальский А.Э., Картмазов Г.Н., Суслов Н.Н., Евич Н.Л.
Новый способ активной защиты рабочих лопаток пос-
лед них ступеней энергетических турбин от эрозион-
ного износа // Пробл. машиностроения. — 2005. — Т. 8,
№ 2. — С. 6—18.
2. Ковальский А.Э., Картмазов Г.Н., Кунченко В.В. Обос-
нование толщины и условий нанесения вакуумного
противоэрозийного покрытия для рабочих лопаток
последних ступеней мощных паровых турбин // Авиа-
ционно-космическая техника и технология. — 2006. —
№ 6(32). — С. 5—18.
3. Белоус В.А., Картмазов Г.Н., Сафонов В.И. и др. Спо-
соб нанесения покрытий в вакууме. Патент Украины
№ 47545, 15.07.2002. Бюл. №7.
4. Storizhko V.E., Miroshnichenko V.I., Ponomarev A.G. et. al. /
IAP Accelerator Based Microanalytical Facility for Ma-
te rial Science Studies // Topical Meeting on Nuclear Re-
se arch Applications and Utilization of Accelerators, Vi-
en na, 4—8 May 2009.
В.А. Батурін, О.Ю. Карпенко,
Г.В. Кирик, В.І. Мірошниченко, А.Г. Нагорний,
С.О. Єрьомін, С.О. Пустовойтов, В.А. Нагорний
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕННЯ ПОКРИТТІВ
МЕТОДОМ АТОМНО-ІОННОГО РОЗПИЛЕННЯ
МАТЕРІАЛІВ
Розроблена експериментальна установка для нане сен-
ня протиерозійних та протикорозійних покриттів на ло-
патки парових турбін теплових та атомних електростан-
цій. Захисні покриття наносятся методом атомно-іонного
розпилення з високочастотною іонізацією парової фази.
Проведено дослідження властивостей нанесених пок рит-
тів з використанням ядерно-фізичних методів.
Ключові слова: вакуумна камера, електронна гармата,
атомно-іонне розпилення, ВЧ-іонізація, захисні покриття.
Рис. 7. Карта распределения элементов участка вблизи
границы напыления — покрытие Cr на стали 12Х13
11ISSN 1815-2066. Наука та інновації. T. 8, № 3, 2012
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
V.A. Baturin, A.Yu. Karpenko, G.V. Kyryk,
V.I. Miroshnichenko, A.G. Nagornyi, S.A. Eremin,
S.A. Pustovoitov, V.A. Nagornyi
DEVICE FOR PRODUCING COATINGS BY MEANS
OF ATOMIC-ION SPUTTERING METHOD
Experimental equipment for application of erosion and
cor rosion protective coatings on the blades of steam turbines
of thermal and nuclear power plants was designed. Protective
coatings are applied by atomic-ion sputtering with the RF-
ionization of the vapor phase. Investigations of coating prop-
erties including nuclear-physical methods were carried out.
Key words: vacuum chamber, electron gun, atomic-ion
sputtering, RF ionization, protective coatings.
Стаття надійшла до редакції 21.04.11
В августе 2011 года в Крыму открыли солнечную электростанцию. Она
построена в рамках проекта снижения зависимости Украины от им-
портных энергоносителей. Солнечная электростанция в Крыму —
это часть национальной программы, согласно которой уже к 2015
году Украина планирует сократить импорт энергоресурсов на 30 %.
Проект реализовала австрийская компания Activ Solar GmbH. «Проект
такого масштаба знаменует собой поворотный момент в развитии
солнечной энергетики в Европе и должен подтвердить позицию Ук-
раины как поставщика энергии из возобновляемых источников», —
заявил генеральный директор Activ Solar Каве Ертефай.
После завершения установки 80 МВт солнечная электростанция бу-
дет состоять из примерно 360 тыс. наземных модулей, располо жен ных
на площади в 160 га, что равняется размеру примерно 207 футболь-
ных полей. Станция будет производить 100 тыс. МВт/ч элект ро-
энергии в год. Этого достаточно, чтобы обеспечить 20 тыс. до маш-
них хозяйств «зеленой» энергией и позволит сократить до 80 тыс.
тонн выбросов углекислого газа в год.
По материалам сайта www.researchclub.com.ua
СОЛНЕЧНАЯ
ЭЛЕКТРОСТАНЦИЯ
В КРЫМУ
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments false
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 1200
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages false
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 1200
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages false
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages false
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile (None)
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <FEFF005400650020006e006100730074006100760069007400760065002000750070006f0072006100620069007400650020007a00610020007500730074007600610072006a0061006e006a006500200064006f006b0075006d0065006e0074006f0076002000410064006f006200650020005000440046002c0020006b006900200073006f0020006e0061006a007000720069006d00650072006e0065006a016100690020007a00610020006b0061006b006f0076006f00730074006e006f0020007400690073006b0061006e006a00650020007300200070007200690070007200610076006f0020006e00610020007400690073006b002e00200020005500730074007600610072006a0065006e006500200064006f006b0075006d0065006e0074006500200050004400460020006a00650020006d006f0067006f010d00650020006f0064007000720065007400690020007a0020004100630072006f00620061007400200069006e002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200069006e0020006e006f00760065006a01610069006d002e>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
/UKR <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>
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-114213 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1815-2066 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T17:35:35Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Кирик, Г.В. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Нагорный, В.А. 2017-03-04T09:06:45Z 2017-03-04T09:06:45Z 2012 Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, Г.В. Кирик, В.И. Мирошниченко, А.Г. Нагорный, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, В.А. Нагорный // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 3. — С. 5-11. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin8.03.005 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/114213 Разработана экспериментальная электронно-лучевая установка для нанесения противоэрозионных и противокорозионных покрытий на лопатки паровых турбин тепловых и атомных электростанций. Защитные покрытия наносятся методом атомно-ионного распыления с высокочастотной ионизацией паровой фазы. Проведены исследования свойств покрытий, в том числе и ядерно-физическими методами. Розроблена експериментальна установка для нанесення протиерозійних та протикорозійних покриттів на лопатки парових турбін теплових та атомних електростанцій. Захисні покриття наносятся методом атомно-іонного розпилення з високочастотною іонізацією парової фази. Проведено дослідження властивостей нанесених покриттів з використанням ядерно-фізичних методів. Experimental equipment for application of erosion and corrosion protective coatings on the blades of steam turbines of thermal and nuclear power plants was designed. Protective coatings are applied by atomic-ion sputtering with the RF-ionization of the vapor phase. Investigations of coating properties including nuclear-physical methods were carried out. ru Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов Установка для нанесення покриттів методом атомно-іонного розпилення матеріалів Device for Producing Coatings by Means of Atomic-Ion Sputtering Method Article published earlier |
| spellingShingle | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Кирик, Г.В. Мирошниченко, В.И. Нагорный, А.Г. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Нагорный, В.А. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| title | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов |
| title_alt | Установка для нанесення покриттів методом атомно-іонного розпилення матеріалів Device for Producing Coatings by Means of Atomic-Ion Sputtering Method |
| title_full | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов |
| title_fullStr | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов |
| title_full_unstemmed | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов |
| title_short | Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов |
| title_sort | установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов |
| topic | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| topic_facet | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/114213 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT karpenkoaû ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT kirikgv ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT mirošničenkovi ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT nagornyiag ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT ereminsa ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT pustovoitovsa ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT nagornyiva ustanovkadlânaneseniâpokrytiimetodomatomnoionnogoraspyleniâmaterialov AT baturinva ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT karpenkoaû ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT kirikgv ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT mirošničenkovi ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT nagornyiag ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT ereminsa ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT pustovoitovsa ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT nagornyiva ustanovkadlânanesennâpokrittívmetodomatomnoíonnogorozpilennâmateríalív AT baturinva deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod AT karpenkoaû deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod AT kirikgv deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod AT mirošničenkovi deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod AT nagornyiag deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod AT ereminsa deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod AT pustovoitovsa deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod AT nagornyiva deviceforproducingcoatingsbymeansofatomicionsputteringmethod |