Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов
Методами фізичного матеріалознавства встановлено, що формування кристалічної скутерудитної фази CoSb₃ в нанорозмірній плівковій композиції (НПК) CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) відбувається при осадженні на підкладку, нагріту вище 200 °С, і вмісті Sb більше 72% (am.), що менше, чим маєм...
Saved in:
| Published in: | Современные проблемы физического материаловедения |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2010
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/114352 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Г. Беддис, М. Даниэль, Т.И. Вербицкая, Р.А. Шкарбань, С.Е. Богданов // Современные проблемы физического материаловедения: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2010. — Вип. 19. — С. 68-75. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |