Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов

• Published in: Современные проблемы физического материаловедения
• Date: 2010
• Main Authors: Макогон, Ю.Н., Павлова, Е.П., Сидоренко, С.И., Беддис, Г., Даниэль, М., Вербицкая, Т.И., Шкарбань, Р.А., Богданов, С.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2010
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/114352
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Г. Беддис, М. Даниэль, Т.И. Вербицкая, Р.А. Шкарбань, С.Е. Богданов // Современные проблемы физического материаловедения: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2010. — Вип. 19. — С. 68-75. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Методами фізичного матеріалознавства встановлено, що формування кристалічної скутерудитної фази CoSb₃ в нанорозмірній плівковій композиції (НПК) CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) відбувається при осадженні на підкладку, нагріту вище 200 °С, і вмісті Sb більше 72% (am.), що менше, чим маєм...