Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния
Технологический процесс, разработанный с использованием высоковольтного электрического разряда как источника энергии для измельчения металлургического кремния, обеспечивает его дезинтеграцию на фракцию, необходимую для производства изделий электронной промышленности. Технологічний процес, який розро...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Наука та інновації |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2010
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115212 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния / А.Р. Ризун, В.М. Косенков, Ю.В. Голень, Т.Д. Денисюк // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 6. — С. 25—30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-115212 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Ризун, А.Р. Косенков, В.М. Голень, Ю.В. Денисюк, Т.Д. 2017-03-30T15:46:36Z 2017-03-30T15:46:36Z 2010 Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния / А.Р. Ризун, В.М. Косенков, Ю.В. Голень, Т.Д. Денисюк // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 6. — С. 25—30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin6.06.025 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115212 Технологический процесс, разработанный с использованием высоковольтного электрического разряда как источника энергии для измельчения металлургического кремния, обеспечивает его дезинтеграцию на фракцию, необходимую для производства изделий электронной промышленности. Технологічний процес, який розроблено з використанням високовольтного електричного розряду як джерела енергії для здрібнювання металургійного кремнію, забезпечує його дезінтеграцію на фракцію, необхідну для виробництва виробів електронної промисловості. The technological process developed with the use of high voltage electrical discharge as a source of energy for grinding metallurgical silicon, provides its disintegration in the fraction necessary for the production of electronic products. ru Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния Розробка і впровадження електророзрядного процесу дезінтеграції металургійного кремнію Development and Introduction of Electro-Bit Process of Metallurgical Silicon Disintegration Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния |
| spellingShingle |
Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния Ризун, А.Р. Косенков, В.М. Голень, Ю.В. Денисюк, Т.Д. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| title_short |
Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния |
| title_full |
Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния |
| title_fullStr |
Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния |
| title_full_unstemmed |
Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния |
| title_sort |
разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния |
| author |
Ризун, А.Р. Косенков, В.М. Голень, Ю.В. Денисюк, Т.Д. |
| author_facet |
Ризун, А.Р. Косенков, В.М. Голень, Ю.В. Денисюк, Т.Д. |
| topic |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| topic_facet |
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Наука та інновації |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Розробка і впровадження електророзрядного процесу дезінтеграції металургійного кремнію Development and Introduction of Electro-Bit Process of Metallurgical Silicon Disintegration |
| description |
Технологический процесс, разработанный с использованием высоковольтного электрического разряда как источника энергии для измельчения металлургического кремния, обеспечивает его дезинтеграцию на фракцию, необходимую для производства изделий электронной промышленности.
Технологічний процес, який розроблено з використанням високовольтного електричного розряду як джерела
енергії для здрібнювання металургійного кремнію, забезпечує його дезінтеграцію на фракцію, необхідну для
виробництва виробів електронної промисловості.
The technological process developed with the use of high
voltage electrical discharge as a source of energy for grinding
metallurgical silicon, provides its disintegration in the fraction
necessary for the production of electronic products.
|
| issn |
1815-2066 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115212 |
| citation_txt |
Разработка и внедрение электроразрядного процесса дезинтеграции металлургического кремния / А.Р. Ризун, В.М. Косенков, Ю.В. Голень, Т.Д. Денисюк // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 6. — С. 25—30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT rizunar razrabotkaivnedrenieélektrorazrâdnogoprocessadezintegraciimetallurgičeskogokremniâ AT kosenkovvm razrabotkaivnedrenieélektrorazrâdnogoprocessadezintegraciimetallurgičeskogokremniâ AT golenʹûv razrabotkaivnedrenieélektrorazrâdnogoprocessadezintegraciimetallurgičeskogokremniâ AT denisûktd razrabotkaivnedrenieélektrorazrâdnogoprocessadezintegraciimetallurgičeskogokremniâ AT rizunar rozrobkaívprovadžennâelektrorozrâdnogoprocesudezíntegracíímetalurgíinogokremníû AT kosenkovvm rozrobkaívprovadžennâelektrorozrâdnogoprocesudezíntegracíímetalurgíinogokremníû AT golenʹûv rozrobkaívprovadžennâelektrorozrâdnogoprocesudezíntegracíímetalurgíinogokremníû AT denisûktd rozrobkaívprovadžennâelektrorozrâdnogoprocesudezíntegracíímetalurgíinogokremníû AT rizunar developmentandintroductionofelectrobitprocessofmetallurgicalsilicondisintegration AT kosenkovvm developmentandintroductionofelectrobitprocessofmetallurgicalsilicondisintegration AT golenʹûv developmentandintroductionofelectrobitprocessofmetallurgicalsilicondisintegration AT denisûktd developmentandintroductionofelectrobitprocessofmetallurgicalsilicondisintegration |
| first_indexed |
2025-11-26T02:05:54Z |
| last_indexed |
2025-11-26T02:05:54Z |
| _version_ |
1850607714101624832 |
| fulltext |
25
Наука та інновації. 2010. Т. 6. № 6. С. 25—30.
© А.Р. РИЗУН, В.М. КОСЕНКОВ,
Ю.В. ГОЛЕНЬ, Т.Д. ДЕНИСЮК, 2010
А.Р. Ризун, В.М. Косенков, Ю.В. Голень, Т.Д. Денисюк
Институт импульсных процессов и технологий НАН Украины, Николаев
РАЗРАБОТКА И ВНЕДРЕНИЕ
ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНОГО ПРОЦЕССА ДЕЗИНТЕГРАЦИИ
МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Технологический процесс, разработанный с использованием высоковольтного электрического разряда как ис-
точника энергии для измельчения металлургического кремния, обеспечивает его дезинтеграцию на фракцию, не-
обходимую для производства изделий электронной промышленности.
К л ю ч е в ы е с л о в а: электроразрядная дезинтеграция, кремний, фракция, дисперсия.
АКТУАЛЬНОСТЬ ПРОБЛЕМЫ
Мировое увеличение потребления энергии
неминуемо ведет к росту цен на традиционные
ископаемые — нефть, газ, уголь — и к очень
быстрому истощению имеющихся запасов. В
качестве альтернативного источника энергии
в большинстве высокоразвитых стран мира зна-
чительное место отводится солнечной энер ге-
тике. Относительно высокая цена энергии, ко-
торая вырабатывается солнечными батареями,
обусловлена значительной стоимостью произ-
водства чистого кремния, спрос на который
постоянно возрастает.
Сегодня чистый и сверхчистый кремний яв-
ляется одним из видов материалов, наличие
которого определяет уровень развития высо-
ких технологий. Предприятия-производители
поли- и монокристаллического кремния тре-
буют обновления основных фондов, внедре-
ния новейших технологий, рассчитанных на
использование отечественной минерально-сы-
рьевой базы. На решение этой проблемы нап-
равлена государственная целевая научно-тех-
ническая программа «Создание химико-ме тал-
лургической отрасли производства чистого
крем ния на протяжении 2009–2012 лет».
В процессе производства кремния высокой
чистоты можно выделить три основных про-
изводственных этапа [1]:
преобразование исходного материала в по-
ликристаллический кремний;
выращивание монокристаллических крем-
ние вых слитков методом Чохральского или
зонной плавки;
изготовление кремниевых пластин из слит-
ков.
В этом сложном энергоемком технологичес-
ком процессе производства кремния его необ-
ходимо на различных переделах неоднократ-
но измельчать до определенных фракций, при
этом к дисперсии фракций предъявляются оп-
ределенные ограничения. По существующим
технологиям измельчение осуществляют в мо-
лотковых, валковых, стержневых и шаровых
мельницах, для которых характерно неуправ-
ляемое измельчение. При этом значительное
количество материала переизмельчается, за-
грязняется аппаратным металлом и становит-
ся непригодным для использования в даль-
26
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
ISSN 1815-2066. Science and Innovation. T. 6, № 6, 2010
нейших технологических процессах получе-
ния монокристаллического кремния высокой
чистоты [2].
В рамках проекта сотрудниками Института
импульсных процессов и технологий (ИИПТ)
НАН Украины выполнен в 2009 году комп-
лекс научно-технических и технологических
работ, направленных на решение проблемы
получения металлургического кремния с за-
данным фракционным составом при миними-
зации отходов и загрязненности аппаратным
металлом методом воздействия такого мощно-
го и в то же время легко управляемого источ-
ника энергии, как высоковольтный импульс-
ный разряд в жидкости. Результаты ранее про-
веденных в ИИПТ исследований по разруше-
нию, дроблению и измельчению природного и
искусственного минерального сырья показа-
ли, что импульсные электроразрядные техно-
логии имеют ряд существенных преимуществ
по сравнению с традиционными технология-
ми [3, 4]. Прежде всего — это возможности уп-
равления процессом дезинтеграции и получе-
ния заданной фракции. Для них характерно
значительное снижение энергоемкости про-
цесса и уменьшение капитальных затрат.
Целью нашей работы является обобщение
результатов исследований электроразрядной
селективной дезинтеграции металлургическо-
го кремния на фракцию, необходимую для
производства монокристаллического кремния
высокой чистоты.
РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА
Предлагаемый технологический процесс пре-
дусматривает осуществить селективное изме-
ль чение металлургического кремния как на
фракцию от 3 до 1 мм, так и на фракцию от 1 мм
до 0,4 мм за счет действия импульсных высо-
ковольтных разрядов как источника энергий
высокой плотности. Фракции эти необходи-
мы на различных этапах производства крем-
ния высокой чистоты.
При электроразрядном способе обработки
материалов плотность энергии в канале разря-
да сравнима с объемной плотностью энергии
взрывчатых веществ [5]. Энергия, выделяю-
щаяся в канале разряда, расходуется в основ-
ном на работу, совершаемую каналом при его
расширении (~ 50 %), и нагревание вещества в
канале разряда. В свою очередь, работа канала
преобразуется в энергию волн сжатия (до 20 %)
и энергию пульсации газового пузыря (до 30 %).
Распределением энергии между волной сжатия
и пульсацией газового пузыря можно управлять,
изменяя режимы электрического разряда.
В момент разряда при достаточной ампли-
туде волн сжатия происходит раздавливание
или разрыв материала в зоне, прилегающей к
каналу разряда, а также образование и разви-
тие проникающих трещин. Волна сжатия при
достижении открытой поверхности частично
Рис. 1. Диаграмма динамического сжатия металлурги-
ческого кремния
Рис. 2. Диаграмма скорости деформации металлурги-
ческого кремния
27
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
ISSN 1815-2066. Наука та інновації. T. 6, № 6, 2010
отражается, образуя в материале волну растя-
жения, которая является причиной образова-
ния откольных трещин, вспучивания поверх-
ности и ее разрушения. По объему разрушения
устанавливается радиус эффективного дейс-
твия волн сжатия, являющийся основным по-
казателем в расчете производительности элек-
троразрядных устройств. Вторая часть волны
сжатия проникает в материал, образуя систему
проникающих трещин, от количества и глу-
бины которых зависит эффективность элек-
троразрядного разрушения от последующих
раз рядов. Для установления силовых нагрузок,
требуемых для разрушения кремния, необхо-
димо установить его прочность на сжатие.
Поскольку металлургический кремний име-
ет сложную анизотропную структуру, и даже
самые близкие по расположению области име-
ют значительные расхождения по прочности,
были проведены исследования поведения при
динамическом нагружении образцов метал-
лургического кремния до и после электрораз-
рядной обработки. Результаты таких испыта-
ний представлены на рис. 1, 2. Диаграмма ди-
намического деформирования определялась с
помощью экспериментального метода разрез-
ного стержня Гопкинсона–Кольского.
После нескольких измерений была установ-
лена граница значений прочности кремния, ко-
торая составила величины от 139 до 150 МПа.
Для электрического разряда основными си-
ловыми параметрами являются давление в ка-
нале разряда (Ркр) и амплитуда давления на
фронте волны сжатия (pm). Связь давлений в
канале разряда и на фронте волны сжатия с
параметрами разряда установлена эмпиричес-
кой зависимостью в работе [5, 6]:
(1)
(2)
(3)
где Ркр — давление в канале разряда, МПа; ρв —
плотность разрядной среды, кг/м3; U — напря-
жение, кВ; L — индуктивность, мкГ; l — межэ-
лектродный промежуток, м; pm — амплитуда
давления на фронте волны сжатия, МПа; E —
энергия, выделившаяся в канале разряда, кДж;
C — емкость конденсаторов, мкФ; r — расстоя-
ние от объекта разрушения до канала разряда, м.
Согласно [7], давление в канале разряда дол-
жно быть больше предела прочности на сжа-
тие разрушаемого материала, а давление на
фронте волны сжатия не меньше прочности
разрушаемого материала на растяжение. Та-
кие условия являются достаточными для эф-
фективной работы разрядного дезинтегратора.
Механизм электроразрядного разрушения не-
металлических материалов заключается в том,
что под действием волн сжатия и растяжения,
Таблица 1
Параметры разряда и расчетное значение давления в канале разряда
ρв, кг/м3 U, кВ С, мкФ L, мГ l, м Ркр, МПа
1225 50,0 1,0 9,0 0,05 450,0
Таблица 2
Расчетные значения давлений на фронте волны сжатия
r, м 0,01 0,02 0,03 0,04 0,05 0,06 0,07 0,08 0,09 0,10 0,11 0,12 0,13 0,14 0,15
Рт, МПа 187,5 94,7 62,5 46,9 37,5 31,2 26,8 23,0 20,0 18,0 17,0 15,6 14,4 13,4 12,5
r
,
,
,
28
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
ISSN 1815-2066. Science and Innovation. T. 6, № 6, 2010
генерируемых электроразрядом в воде, в мате-
риале образуется сеть микротрещин. При воз-
действии серии импульсов, создающих дав-
ления, что превышают прочность обрабатыва-
емого материала, возникают перенапря жения
в зоне дефектности структуры и происходит
развитие трещин вплоть до их критическо -
го окончания. Происходит деление материала
на более мелкие части. При ус тановлении
определенных параметров и режимов дости-
гается измельчение кремния на требуемые
фракции.
В табл. 1 представлено расчетное давление
в канале разряда с параметрами разряда, ус-
тановленными экспериментально, достаточ-
ными для условия разрушения кремния. Рас-
четы выполнены по формуле (1). Величина
давлений в канале разряда удовлетворяет пер-
вому условию достаточности силовой нагруз-
ки электроразряда и эффективности процес-
са измельчения.
В табл. 2 представлены расчетные значения
давлений на фронте волны сжатия. Расчет
значений давлений на фронте волны выпол-
нен по формуле (2) в зависимости от расстоя-
ний до канала разряда с шагом 0,01 м для тех
же параметров разряда.
Для значений r = 0,12 м давление на фрон-
те волны сжатия удовлетворяет второму ус-
ловию достаточности эффективной работы
по разрушению. Таким образом, установлено,
что радиус эффективного действия электро-
разрядного дезинтегратора не должен превы-
шать 0,12 м. Увеличение размеров дезинтег-
ратора приводит к образованию так называе-
мых «мер твых зон» и снижению производи-
тельности.
С учетом этого разработана конструктивная
схема технологического узла с одно элек т род-
ной системой, представленная на рис. 3. Внут-
ри корпуса 1 размещена разрядная камера 2
цилиндрической формы, оснащенная плас ти н-
а б в
Рис. 4. Измельченный металлургический кремний: а — исходный кремний; б — фракция 1–3 мм; в — фракция
менее 1 мм
Рис. 3. Конструктивная схема технологического узла: 1 —
корпус разрядной камеры; 2 — щелевой классификатор;
3 — электродная система; 4 — сборник; 5 — система водо-
снабжения; 6 — загрузочное отверстие
29
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
ISSN 1815-2066. Наука та інновації. T. 6, № 6, 2010
чатым классификатором 3 с вертикальными
ребрами, имеющими возмож ность изменять
щелевой зазор и перестраиваться на заданные
фракции измельчения. При электроразрядной
дезинтеграции кремния в воде образуются
нитритные и нитратные ионы [8], способству-
ющие протеканию реакций по сни жению объ-
ема окислов железа, что является дополни-
тельным процессом очистки кремния от туго-
плавких окислов, так как основная часть кол-
лоидного железа переходит в жидкую фазу и
может удаляться в процессе промывания гото-
вогопродукта.
ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНАЯ УСТАНОВКА
Для реализации технологического процес-
са нами была разработана и изготовлена ус-
та нов ка «ЭРДК-1». Установка состоит из 2-х
основных частей: энергетического блока и
технологического узла, который предназна-
чен для обеспечения операций технологи-
ческого процесса — измельчения кремния,
его классификации и сбора готового продук-
та (см. рис. 3).
Установка работает следующим образом. Раз-
рядная камера 1 заполняется водой, включает-
ся генератор импульсных токов, металлурги-
ческий кремний подается в загрузочный бун-
кер разрядной камеры через загрузочное от-
верстие 6 в крышке разрядной камеры. В про-
цессе обработки измельченный кремний через
щелевой классификатор 2 поступает в сбор-
ник 4, который разгружается по мере его за-
полнения. Подпитка воды и удаление загряз-
ненной воды из камеры осуществляется сис-
темой водоснабжения 5.
Технические характеристики установки предс-
тавлены в табл. 3.
Производительность установки зависит от
частоты следования разрядов и мощности ге-
нератора импульсных токов. Так, например,
при мощности генератора в 5 кДж производи-
тельность можно повысить в 4 раза.
Опытная проверка установки и опытно-про-
мышленная проверка электроразрядного про-
цесса дезинтеграции металлургического крем-
ния проведены на сырье, поставленном пред-
приятием ООО «Шмид Силикон Текнолоджи
Юкрейн». Металлургический кремний разме-
рами от 20 мм до 120 мм измельчен до фрак-
ции от 3 до 1 мм и менее (рис. 4).
ВЫВОДЫ
Опытно-промышленной проверкой уста-
нов лено, что созданный электроразрядный
тех нологический процесс и оборудование для
его реализации обеспечивают дезинтеграцию
металлургического кремния на фракции, не-
обходимые для производства монокристалли-
ческого кремния высокой чистоты.
Новизна и значимость проекта состоят в
том, что в нем для измельчения металлурги-
ческого кремния впервые использован элект-
роразряд взамен механических способов.
Внедрение технологического процесса и обо-
рудования будет продолжено в 2010 году на
предприятии «Шмид Силикон Технолоджи
Юкрейн» в г. Запорожье и на других предпри-
ятиях-изготовителях высокотехнологических
изделий наноэлектроники и нанофотоники,
модулей солнечной энергетики и изделий
элект ронной техники не только в Украине, но
и за рубежом.
Таблица 3
Технические характеристики ЭГУ
Наименование параметра; ед. измерения Величина
Производительность, кг/ч, не менее 20
Количество электродов, шт. 1
Габаритные размеры установки, м 2,5 × 2 × 1,5
Габаритные размеры генератора, м 1,2 × 0,6 × 1,0
Масса, кг, не более 1 000
Номинальное рабочее напряжение, В 50 000
Полная мощность, кВА, не более 5
Среднее значение тока, потребляемое
из сети, А 12
Питание установки напряжением, В 220
Частота тока питающей сети, Гц 50
Запасаемая энергия накопителя, кДж 1,25
30
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
ISSN 1815-2066. Science and Innovation. T. 6, № 6, 2010
ЛИТЕРАТУРА
1. Фалькевич Э.С. Технология полупроводникового крем-
ния / Э.С. Фалькевич, Є.О. Пульнер, И.Ф. Червоный
и др. — М.: Металлургия, 1992. — 408 с.
2. Гринберг Е.Е. Солнечная энергетика в 2006–2010 гг.:
проблемы, риски, перспективы рынка / Е.Е. Гринберг,
А.В. Наумов, А.Н. Супоненко // Вестн. Международн.
Академии системных исследований (МАСИ). — М.,
2006. — Т. 9, Ч. 1. — С. 50–60.
3. Ризун А.Р. Электроразрядное разрушение неметалли-
ческих материалов / Ризун А.Р., Цуркин В.Н. // Элек-
тронная обработка материалов. — 2002. — № 1. —
С. 83–85.
4. Ризун А.Р. К вопросу об определении производитель-
ности электроразрядного разрушения хрупких неме-
таллических материалов / Ризун А.Р., Косенков В.М. //
Электронная обработка материалов. — 2001. — № 1. —
С. 45–50.
5. Наугольных К.А. Электрогидравлические разряды в
воде / К.А.Наугольных, Н.А Рой. — М.: Наука, 1971. —
154 с.
6. Шамарин Ю.Е. Электрогидравлический процесс фор-
мирования металлов / Ю.Е. Шамарин, В.Н. Чачин,
Ю.Е. Шариц. — К.: Наук. думка, 1971. — 24 с.
7. Ризун А. Р. Исследование и оптимизация технологии
электрогидроимпульсной выбивки стержней и очист-
ки отливок: Дис. … канд. техн. наук: 30.09.1983. — Киев,
1984. — 200 с.
8. Вишневский В.Б. Электрогидравлическое разрушение
оксидов / В.Б.Вишневский, И.Н. Годованная. — Киев:
Наук. думка, 1989. — 116 с.
А.Р. Різун, В.М. Косенков, Ю.В. Голень, Т.Д. Денисюк
РОЗРОБКА І ВПРОВАДЖЕННЯ ЕЛЕКТРОРОЗ-
РЯДНОГО ПРОЦЕСУ ДЕЗІНТЕГРАЦЇ МЕТАЛУР-
ГІЙНОГО КРЕМНІЮ
Технологічний процес, який розроблено з використан-
ням високовольтного електричного розряду як джерела
енергії для здрібнювання металургійного кремнію, за-
безпечує його дезінтеграцію на фракцію, необхідну для
виробництва виробів електронної промисловості.
К л ю ч о в і с л о в а: електророзрядна дезінтеграція,
крем ній, фракція, дисперсія.
A.R. Rizun, V.M. Kosenkov, U.V. Holen, T.D. Denisuk
DEVELOPMENT AND INTRODUCTION OF
ELECTRO-BIT PROCESS OF METALLURGICAL
SILICON DISINTEGRATION
The technological process developed with the use of high
voltage electrical discharge as a source of energy for grinding
metallurgical silicon, provides its disintegration in the frac-
tion necessary for the production of electronic products.
K e y w o r d s: electro-discharge disintegration, silicon, frac-
tion, variance.
Надійшла до редакції 13.04.10
|