Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2016
• Main Authors: Аксёнов, И.И., Белоус, В.А., Стрельницкий, В.Е., Аксёнов, Д.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115406
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, В.Е. Стрельницкий, Д.С. Аксёнов // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 4. — С. 58-71. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Рассмотрены основные этапы развития вакуумно-дуговых технологий формирования функциональных покрытий на инструменты, детали машин и приборов, изделия из пластика, металла, стекла, на природные и искусственные алмазы, созданные в Харьковском физико-техническом институте. Описаны конструкторские особенности и технологические возможности установок для реализации этих технологий, плазменных генераторов для оснащения установок, примеры некоторых концептуальных разработок технологического оборудования. Розглянуто основні етапи розвитку вакуумно-дугових технологій формування функціональних покриттів на інструменти, деталі машин і приладів, вироби з пластика, металів, скла, природні та штучні алмази, створені у Харківському фізико-технічному інституті. Описані конструкторські особливості і технологічні можливості установок для реалізації цих технологій, плазмових генераторів для оснащення установок, приклади деяких концептуальних розробок технологічного обладнання. Basic development stages of vacuum-arc functional coatings formation of on tools, machine and device parts, plastic metal, glass products, natural and artificial diamonds, which have been created at Kharkiv institute of physics and technology are reviewed. Design features and technological capabilities of installations to implement these technologies, plasma generators for the installations and examples of some conceptual developments of technological equipment are also described.