Forming a unipolar pulsed discharge in nitrogen

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2016
• Автори: Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
• Теми: Low temperature plasma and plasma technologies
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115437
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Forming a unipolar pulsed discharge in nitrogen / V.A. Lisovskiy, P.A. Ogloblina, S.V. Dudin, V.D. Yegorenkov, A.N. Dakhov // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 227-230. — Бібліогр.: 23 назв. — англ.

This paper reports the current and voltage oscillograms of the pulsed discharge in the wide frequency range (from 20 to 300 kHz) with the duty cycle from 15 to 85 % for two values of the nitrogen pressure 0.1 and 1 Torr. It has been demonstrated that the current oscillograms of the pulsed glow discharge possess a plasma phase and an afterglow phase. The following stages of the plasma phase have been observed: 1. A pulse of the capacitive current of about 0.5…1 s in duration; 2. A stage of current growth which duration has depended on gas pressure; 3. Current decrease occurring during tens of microseconds down to the level corresponding to the constant voltage discharge. Были измерены осциллограммы тока и напряжения импульсного разряда в широком диапазоне частот (от 20 до 300 кГц), коэффициентов заполнения от 15 до 85 % для двух значений давлений азота  0,1 и 1 Tорр. Было получено, что осциллограммы тока тлеющего импульсного разряда имеют плазменную фазу и фазу послесвечения. Наблюдались следующие этапы плазменной фазы: 1. Импульс емкостного тока длительностью примерно 0,5…1 мкс; 2. Этап роста тока, длительность которого зависела от давления газа; 3. Уменьшение тока, длившееся десятки микросекунд, до уровня, соответствующего разряду с постоянным напряжением. Були виміряні осцилограми струму і напруги імпульсного розряду в широкому діапазоні частот (від 20 до 300 кГц), коефіцієнтів заповнення від 15 до 85 % для двох значень тиску азоту  0,1 та 1 Toрр. Було отримано, що осцилограми струму тліючого імпульсного розряду мають плазмову фазу і фазу післясвітіння. Спостерігалися наступні етапи плазмової фази: 1. Імпульс ємнісного струму тривалістю приблизно 0,5…1 мкс; 2. Етап зростання струму, тривалість якого залежала від тиску газу; 3. Зменшення струму, що тривало десятки мікросекунд, до рівня, відповідного розряду з постійною напругою.