Macroparticles in beam-plasma systems
The macroparticle (MP) contamination is the most important technological problem of vacuum arc deposition of
 coatings. The results of theoretical study of MP charging and dynamics in the near-substrate sheath are presented.
 The charge and dynamics of MP are governed by local parame...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115448 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Macroparticles in beam-plasma systems / A.A. Bizyukov, I.О. Girka, E.V. Romashchenko, O.D. Chibisov // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 187-190. — Бібліогр.: 24 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862684862405672960 |
|---|---|
| author | Bizyukov, A.A. Girka, I.O. Romashchenko, E.V. Chibisov, O.D. |
| author_facet | Bizyukov, A.A. Girka, I.O. Romashchenko, E.V. Chibisov, O.D. |
| citation_txt | Macroparticles in beam-plasma systems / A.A. Bizyukov, I.О. Girka, E.V. Romashchenko, O.D. Chibisov // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 187-190. — Бібліогр.: 24 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The macroparticle (MP) contamination is the most important technological problem of vacuum arc deposition of
coatings. The results of theoretical study of MP charging and dynamics in the near-substrate sheath are presented.
The charge and dynamics of MP are governed by local parameters of ion and secondary electron emission fluxes in
the sheath. It is shown that the maximum possible velocity of repelled MP increases with increasing substrate bias
voltage. The effect of substrate biasing is seen to be larger for MPs emitted at small angles to the cathode plane of
arc evaporator.
Наиболее важной технологической проблемой вакуумно-дугового осаждения покрытий является загрязне-
ние макрочастицами (МЧ). Представлены результаты теоретического исследования зарядки и динамики МЧ
в слое у подложки. Заряд и динамика МЧ определяются локальными параметрами ионных и электронных
вторично-эмиссионных потоков в слое. Показано, что максимально возможная скорость отраженной МЧ
возрастает с увеличением потенциала подложки. Эффект смещения потенциала подложки больше для МЧ,
которые эмитируют под малыми углами к плоскости катода вакуумного испарителя.
Найбільш важливою технологічною проблемою вакуумно-дугового осадження покриттів є забруднення ма-
крочастинками (МЧ). Представлено результати теоретичного дослідження зарядки та динаміки МЧ у шарі
біля підкладки. Заряд і динаміка МЧ визначаються локальними параметрами іонних та електронних вторин-
но-емісійних потоків у шарі. Показано, що максимально можлива швидкість відбитої МЧ зростає зі збіль-
шенням потенціалу підкладки. Ефект зсуву потенціалу підкладки більший для МЧ, які емітують під малими
кутами к площині катоду вакуумного випарника.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:00:04Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-115448 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T16:00:04Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Bizyukov, A.A. Girka, I.O. Romashchenko, E.V. Chibisov, O.D. 2017-04-04T20:25:13Z 2017-04-04T20:25:13Z 2016 Macroparticles in beam-plasma systems / A.A. Bizyukov, I.О. Girka, E.V. Romashchenko, O.D. Chibisov // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 187-190. — Бібліогр.: 24 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.Hf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115448 The macroparticle (MP) contamination is the most important technological problem of vacuum arc deposition of
 coatings. The results of theoretical study of MP charging and dynamics in the near-substrate sheath are presented.
 The charge and dynamics of MP are governed by local parameters of ion and secondary electron emission fluxes in
 the sheath. It is shown that the maximum possible velocity of repelled MP increases with increasing substrate bias
 voltage. The effect of substrate biasing is seen to be larger for MPs emitted at small angles to the cathode plane of
 arc evaporator. Наиболее важной технологической проблемой вакуумно-дугового осаждения покрытий является загрязне-
 ние макрочастицами (МЧ). Представлены результаты теоретического исследования зарядки и динамики МЧ
 в слое у подложки. Заряд и динамика МЧ определяются локальными параметрами ионных и электронных
 вторично-эмиссионных потоков в слое. Показано, что максимально возможная скорость отраженной МЧ
 возрастает с увеличением потенциала подложки. Эффект смещения потенциала подложки больше для МЧ,
 которые эмитируют под малыми углами к плоскости катода вакуумного испарителя. Найбільш важливою технологічною проблемою вакуумно-дугового осадження покриттів є забруднення ма-
 крочастинками (МЧ). Представлено результати теоретичного дослідження зарядки та динаміки МЧ у шарі
 біля підкладки. Заряд і динаміка МЧ визначаються локальними параметрами іонних та електронних вторин-
 но-емісійних потоків у шарі. Показано, що максимально можлива швидкість відбитої МЧ зростає зі збіль-
 шенням потенціалу підкладки. Ефект зсуву потенціалу підкладки більший для МЧ, які емітують під малими
 кутами к площині катоду вакуумного випарника. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Iter and fusion reactor aspects Macroparticles in beam-plasma systems Макрочастицы в пучково-плазменных системах Макрочастинки в пучково-плазмових системах Article published earlier |
| spellingShingle | Macroparticles in beam-plasma systems Bizyukov, A.A. Girka, I.O. Romashchenko, E.V. Chibisov, O.D. Iter and fusion reactor aspects |
| title | Macroparticles in beam-plasma systems |
| title_alt | Макрочастицы в пучково-плазменных системах Макрочастинки в пучково-плазмових системах |
| title_full | Macroparticles in beam-plasma systems |
| title_fullStr | Macroparticles in beam-plasma systems |
| title_full_unstemmed | Macroparticles in beam-plasma systems |
| title_short | Macroparticles in beam-plasma systems |
| title_sort | macroparticles in beam-plasma systems |
| topic | Iter and fusion reactor aspects |
| topic_facet | Iter and fusion reactor aspects |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115448 |
| work_keys_str_mv | AT bizyukovaa macroparticlesinbeamplasmasystems AT girkaio macroparticlesinbeamplasmasystems AT romashchenkoev macroparticlesinbeamplasmasystems AT chibisovod macroparticlesinbeamplasmasystems AT bizyukovaa makročasticyvpučkovoplazmennyhsistemah AT girkaio makročasticyvpučkovoplazmennyhsistemah AT romashchenkoev makročasticyvpučkovoplazmennyhsistemah AT chibisovod makročasticyvpučkovoplazmennyhsistemah AT bizyukovaa makročastinkivpučkovoplazmovihsistemah AT girkaio makročastinkivpučkovoplazmovihsistemah AT romashchenkoev makročastinkivpučkovoplazmovihsistemah AT chibisovod makročastinkivpučkovoplazmovihsistemah |