Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method

Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method

Cr-Al-N coatings deposited from the vacuum-arc plasma source with rectilinear macroparticle filter were investigated. Influence of the amplitude of pulsed substrate bias potential in the range of 0…2500 V on the structure and mechanical properties of the coatings was studied. It is found that in a...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2016
Автори: Vasyliev, V.V., Luchaninov, A.A., Reshetnyak, E.N., Strel’nitskij, V.E., Lorentz, B., Reichert, S., Zavaleyev, V., Walkowicz, J., Sawczak, M.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
Теми:
Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115454
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method / V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij, B. Lorentz,S. Reichert, V. Zavaleyev, J. Walkowicz, M. Sawczak // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 244-247. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-115454
record_format dspace
spelling Vasyliev, V.V.
Luchaninov, A.A.
Reshetnyak, E.N.
Strel’nitskij, V.E.
Lorentz, B.
Reichert, S.
Zavaleyev, V.
Walkowicz, J.
Sawczak, M.
2017-04-05T06:32:07Z
2017-04-05T06:32:07Z
2016
Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method / V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij, B. Lorentz,S. Reichert, V. Zavaleyev, J. Walkowicz, M. Sawczak // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 244-247. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 81.15.-z, 81.05.uj
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115454
Cr-Al-N coatings deposited from the vacuum-arc plasma source with rectilinear macroparticle filter were investigated. Influence of the amplitude of pulsed substrate bias potential in the range of 0…2500 V on the structure and mechanical properties of the coatings was studied. It is found that in all coatings formed solid solution of (Cr, Al)N with a cubic structure type NaCl. High voltage pulsed potential bias causes formation of the coatings structure with fine grains (6…7 nm) and strong axial texture [110]. Residual compressive stress varies nonmonotonously from 2 to 7 GPa when the amplitude of the pulses increases. The coatings are characterized by high hardness 30…36 GPa, the surface roughness at the level of 40…50 nm and a low friction coefficient, which allows their use as protective coatings for tools and friction units
Исследованы Cr-Al-N-покрытия, осаждённые из источника вакуумно-дуговой плазмы с прямолинейным фильтром. Изучено влияние амплитуды импульсного потенциала подложки в диапазоне 0…2500 В на структуру и механические характеристики покрытий. Установлено, что во всех покрытиях формируется твёрдый раствор (Cr, Al)N с кубической структурой типа NaCl. Подача высоковольтного импульсного по- тенциала смещения вызывает формирование структуры покрытий с мелкими зёрнами 6…7 нм и сильной аксиальной текстурой [110]. С ростом амплитуды импульсов остаточные напряжения сжатия немонотонно изменяются в пределах от 2 до 7 ГПа. Покрытия характеризуются высокой твёрдостью 30…36 ГПа, шерохо- ватостью поверхности на уровне 40…50 нм и низким коэффициентом трения, что позволяет использовать их в качестве защитных покрытий для инструмента и узлов трения.
Досліджено Cr-Al-N-покриття, осаджені з джерела вакуумно-дугової плазми з прямолінійним фільтром. Вивчено вплив амплітуди імпульсного потенціалу підкладки в діапазоні 0…2500 В на структуру та механіч- ні характеристики покриттів. Встановлено, що в усіх покриттях формується твердий розчин (Cr, Al)N з кубі- чної структурою типу NaCl. Подача високовольтного імпульсного потенціалу зміщення викликає форму- вання структури покриттів з дрібними зернами 6…7 нм і сильною аксиальной текстурою [110]. З ростом амплітуди імпульсів залишкові напруження стиску немонотонно змінюються в межах від 2 до 7 ГПа. Пок- риття характеризуються високою твердістю 30…36 ГПа, шорсткістю поверхні на рівні 40…50 нм і низьким коефіцієнтом тертя, що дозволяє використовувати їх в якості захисних покриттів для інструменту і вузлів тертя.
This work was supported by IMBeing-FP7- PEOPLE-2013-IRSES-612593 Project.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Low temperature plasma and plasma technologies
Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
Структура и свойства покрытий (Cr, Al)N, осажденных PIII и D-методом
Структура та властивості покриттів (Cr, Al)N, осаджених PIII i D -методом
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
spellingShingle Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
Vasyliev, V.V.
Luchaninov, A.A.
Reshetnyak, E.N.
Strel’nitskij, V.E.
Lorentz, B.
Reichert, S.
Zavaleyev, V.
Walkowicz, J.
Sawczak, M.
Low temperature plasma and plasma technologies
title_short Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
title_full Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
title_fullStr Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
title_full_unstemmed Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method
title_sort structure and properties of the (cr, al)n coatings deposited by piii&d method
author Vasyliev, V.V.
Luchaninov, A.A.
Reshetnyak, E.N.
Strel’nitskij, V.E.
Lorentz, B.
Reichert, S.
Zavaleyev, V.
Walkowicz, J.
Sawczak, M.
author_facet Vasyliev, V.V.
Luchaninov, A.A.
Reshetnyak, E.N.
Strel’nitskij, V.E.
Lorentz, B.
Reichert, S.
Zavaleyev, V.
Walkowicz, J.
Sawczak, M.
topic Low temperature plasma and plasma technologies
topic_facet Low temperature plasma and plasma technologies
publishDate 2016
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Структура и свойства покрытий (Cr, Al)N, осажденных PIII и D-методом
Структура та властивості покриттів (Cr, Al)N, осаджених PIII i D -методом
description Cr-Al-N coatings deposited from the vacuum-arc plasma source with rectilinear macroparticle filter were investigated. Influence of the amplitude of pulsed substrate bias potential in the range of 0…2500 V on the structure and mechanical properties of the coatings was studied. It is found that in all coatings formed solid solution of (Cr, Al)N with a cubic structure type NaCl. High voltage pulsed potential bias causes formation of the coatings structure with fine grains (6…7 nm) and strong axial texture [110]. Residual compressive stress varies nonmonotonously from 2 to 7 GPa when the amplitude of the pulses increases. The coatings are characterized by high hardness 30…36 GPa, the surface roughness at the level of 40…50 nm and a low friction coefficient, which allows their use as protective coatings for tools and friction units Исследованы Cr-Al-N-покрытия, осаждённые из источника вакуумно-дуговой плазмы с прямолинейным фильтром. Изучено влияние амплитуды импульсного потенциала подложки в диапазоне 0…2500 В на структуру и механические характеристики покрытий. Установлено, что во всех покрытиях формируется твёрдый раствор (Cr, Al)N с кубической структурой типа NaCl. Подача высоковольтного импульсного по- тенциала смещения вызывает формирование структуры покрытий с мелкими зёрнами 6…7 нм и сильной аксиальной текстурой [110]. С ростом амплитуды импульсов остаточные напряжения сжатия немонотонно изменяются в пределах от 2 до 7 ГПа. Покрытия характеризуются высокой твёрдостью 30…36 ГПа, шерохо- ватостью поверхности на уровне 40…50 нм и низким коэффициентом трения, что позволяет использовать их в качестве защитных покрытий для инструмента и узлов трения. Досліджено Cr-Al-N-покриття, осаджені з джерела вакуумно-дугової плазми з прямолінійним фільтром. Вивчено вплив амплітуди імпульсного потенціалу підкладки в діапазоні 0…2500 В на структуру та механіч- ні характеристики покриттів. Встановлено, що в усіх покриттях формується твердий розчин (Cr, Al)N з кубі- чної структурою типу NaCl. Подача високовольтного імпульсного потенціалу зміщення викликає форму- вання структури покриттів з дрібними зернами 6…7 нм і сильною аксиальной текстурою [110]. З ростом амплітуди імпульсів залишкові напруження стиску немонотонно змінюються в межах від 2 до 7 ГПа. Пок- риття характеризуються високою твердістю 30…36 ГПа, шорсткістю поверхні на рівні 40…50 нм і низьким коефіцієнтом тертя, що дозволяє використовувати їх в якості захисних покриттів для інструменту і вузлів тертя.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115454
citation_txt Structure and properties of the (Cr, Al)N coatings deposited by PIII&D method / V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij, B. Lorentz,S. Reichert, V. Zavaleyev, J. Walkowicz, M. Sawczak // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 244-247. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT vasylievvv structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT luchaninovaa structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT reshetnyaken structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT strelnitskijve structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT lorentzb structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT reicherts structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT zavaleyevv structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT walkowiczj structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT sawczakm structureandpropertiesofthecralncoatingsdepositedbypiiidmethod
AT vasylievvv strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT luchaninovaa strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT reshetnyaken strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT strelnitskijve strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT lorentzb strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT reicherts strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT zavaleyevv strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT walkowiczj strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT sawczakm strukturaisvoistvapokrytiicralnosaždennyhpiiiidmetodom
AT vasylievvv strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT luchaninovaa strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT reshetnyaken strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT strelnitskijve strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT lorentzb strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT reicherts strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT zavaleyevv strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT walkowiczj strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
AT sawczakm strukturatavlastivostípokrittívcralnosadženihpiiiidmetodom
first_indexed 2025-12-02T07:30:05Z
last_indexed 2025-12-02T07:30:05Z
_version_ 1850861893883789312

Схожі ресурси