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Numerical simulation of nanoparticles coagulation in RF-discharge

This paper presents the simulation results of nanoscale dust particles coagulation in capacitive radio-frequency discharge of low pressure in argon. Simulations carried out under the self-consistent kinetic model that takes into account the stochastic nature of the process of dust...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2016
Hauptverfasser:	Kravchenko, O.Yu., Yushchyshena, Yu.V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115461
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Numerical simulation of nanoparticles coagulation in RF-discharge / O.Yu. Kravchenko, Yu.V. Yushchyshena // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 272-275. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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